シングルナノ微細加工材料・プロセス創成のための学術基盤の確立

• 研究課題/領域番号: 25K01553
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分26050:材料加工および組織制御関連
• 研究機関: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
• 研究代表者: 山本 洋揮 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子技術基盤研究所 量子機能創製研究センター, 主幹研究員 (00516958)
• 研究分担者: 濱田 崇 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子技術基盤研究所 量子機能創製研究センター, 主任研究員 (30600019)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2025年度)
• 配分額: 18,590千円 (直接経費: 14,300千円、間接経費: 4,290千円); 2027年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2026年度: 7,280千円 (直接経費: 5,600千円、間接経費: 1,680千円); 2025年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
• キーワード: 材料・加工 / 半導体微細化 / ナノ加工 / ナノ材料 / ブロック共重合体

研究開始時の研究の概要

人工知能など情報技術を支えるコンピュータ性能の更なる向上のため、シングルナノパターンを1 nm未満の精度で加工することが求められているがシングルナノ微細加材料はない。本研究では、シングルナノ加工が可能なブロック共重合体のミクロ相分離を取り上げ、独自に開発したブロック共重合体の誘導体を合成し、シングルナノパターンの加工、およびそのラフネスを調べる。また、量子ビームによるブロック共重合体の高度配向制御を行うともに、ブロック共重合体へのトリメチルアルミニウム（TMA）を含侵させた後のエッチング耐性を調べる。以上によりシングルナノ微細加工材料・プロセス創成のための学術基盤を確立する。