データ駆動多次元顕微分光による原子層デバイスの寄生抵抗の解明と制御

• 研究課題/領域番号: 25K01628
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分28030:ナノ材料科学関連
• 研究機関: 国立研究開発法人物質・材料研究機構
• 研究代表者: 永村 直佳 国立研究開発法人物質・材料研究機構, マテリアル基盤研究センター, 主任研究員 (40708799)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 採択 (2025年度)
• 配分額: 18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円); 2027年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2026年度: 7,150千円 (直接経費: 5,500千円、間接経費: 1,650千円); 2025年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円)