研究課題
基盤研究(B)
粒径10 nm以下のダイヤ微結晶からなるコンポジット膜(UNCD膜)を、同軸型アークプラズマ堆積法により、水素フリーで成長できることを示し、独自に開発した負の疑似直流バイアス印加装置を適用することで、多結晶ダイヤと同等の硬度90 GPaの膜を室温プロセスで成長できることを実証してきた。ダイヤモンドのナノコンポジット構造は、バルクとバルクの明確な粒界のような明確な境界はなく、C原子の配列の変調となっている。この状況下で、電気特性(スピン注入および伝搬を含む)、機械特性、熱伝導特性を評価し、それらの特性のナノコンポジット構造との相関を明らかにする。