| 研究課題/領域番号 |
25K07513
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
中澤 謙太 静岡大学, 工学部, 准教授 (50824520)
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| 研究分担者 |
關根 惟敏 静岡大学, 工学部, 准教授 (00765993)
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| 研究期間 (年度) |
2025-04-01 – 2028-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2025年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2027年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2026年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2025年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | 微細加工 / 大気圧プラズマ / 機械学習 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
標準的な半導体プロセスでは製作困難である自由曲面形状を創成可能な微細加工法の確立は，マイクロマシンや微小光学デバイスにおいて重要な課題である．本研究では，機械学習を用いて加工レートと3次元加工形状を推定し，加工条件を制御・補正することで，大気圧プラズマジェット微細加工の加工誤差を低減することを目的とする．さらに，推定した加工誤差を低減するために最適化手法を用いて，数値制御プログラムを補正する手法を開発する．
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