| 研究課題/領域番号 |
25K07642
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
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| 研究機関 | 鶴岡工業高等専門学校 |
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研究代表者 |
田中 勝 鶴岡工業高等専門学校, その他部局等, 准教授 (30795357)
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| 研究分担者 |
峯田 貴 山形大学, 大学院理工学研究科, 教授 (50374814)
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| 研究期間 (年度) |
2025-04-01 – 2028-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2025年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2027年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2026年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2025年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
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| キーワード | ＡＦＭ / カンチレバー / 薄膜 / 塑性変形 / たわみ調整 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
近年、半導体デバイス製造工程等では、試料表面の微小領域をナノオーダーで「その場観察しながら極微小量の不純物分析が必要」となってきている。試料表面観察に多用される原子間力顕微鏡（AFM）においては、シングルAFMプローブでの長時間の表面観察と加工による摩耗や汚染によって正確な観察や分析が出来ない事が問題となっていた。本研究では、先鋭なプローブの「多段化（サメの歯構造）」と塑性変形を起こし折り曲げて次段のプローブが使用可能となる様な「塑性変形型構造」等の形状検討により、汚染や消耗などの影響があっても、プローブ交換頻度を低減させ持続可能な観察・分析等の連続したサンプリングの実現を目的とする。
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