AI音響診断の拡張に向けたワンチップ型光音響マイクロホンの開発

• 研究課題/領域番号: 25K07772
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21030:計測工学関連
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 森田 伸友 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究グループ付 (90807554)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2025年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2027年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2026年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2025年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
• キーワード: 音響計測 / 光集積 / 3次元実装

研究開始時の研究の概要

音波や表面波を用いた音響情報による各種機器の診断, 製造モニタリングは近年のAI活用によってさらなる広がりを見せている. 本研究ではMicro-Electro-Mecanical Systems (MEMS) 製造技術を基盤としたデザイン検討とプロセス開発により、従来大型かつ高価で利用に制約のあった光波マイクロホンの超小型化とそれによる高い量産性・超低コスト化を実現する微小集積化光学系の確立を目指す。