高性能光感応性ゲルの開発とセラミックスナノパターンの作製

• 研究課題/領域番号: 25K07827
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21050:電気電子材料工学関連
• 研究機関: 近畿大学
• 研究代表者: 野間 直樹 近畿大学, 共同利用センター, 講師 (70208388)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2025年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2027年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2026年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2025年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
• キーワード: 微細加工 / セラミックス / 光感応性 / 高解像度 / 金属アルコキシド

研究開始時の研究の概要

申請者は、光感能性ゲルを用いた微細パターニングに関する一連の研究を行っている。本研究では、光感能性ゲルの原料である化学修飾剤に着目し、π共役系の広がりや電子吸引性置換基の有無など電子状態の異なる化学修飾剤を用いて光感能性ゲルを作製し、パターニング特性の制御を行うとともに、パターンの高解像度化を検討する。更に、焼成により得られるセラミックスの諸物性を検討し、高性能セラミックスパターンの作製を行う。