超多層分極反転AlN系膜/音響反射膜を用いた超高周波動作・高次モードBAW共振子の創成

• 研究課題/領域番号: 25K07832
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21050:電気電子材料工学関連
• 研究機関: 山梨大学
• 研究代表者: 鈴木 雅視 山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授 (60763852)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2025年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2027年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2026年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2025年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
• キーワード: AlN薄膜 / 弾性波フィルタ / 分極反転構造 / BAW共振子 / 高周波

研究開始時の研究の概要

バルク弾性波(BAW)共振子はスマホ等に内蔵される高周波数フィルタとして実用化されている。一方で大容量・高速通信を実現する次世代通信規格に対応するために，BAWフィルタには「高周波動作」「広い通過帯域幅」「高い急峻性」「良好な温度安定性」「高耐久性」の両立が求められる。しかし，従来の構造（電極/AlN単層膜/電極）では実現が困難である。そこで本研究では「膜厚を維持しつつ高周波化が可能な高次モード共振」と「圧電膜へのBAWエネルギー閉じ込め効果の増幅による性能改善」を特徴とする超多層分極反転AlN系膜/音響反射多層膜/基板構造を用いたBAW共振子・フィルタの開発に挑戦する。