白金酸化物薄膜の熱処理による還元と結晶化の物性評価および制御に関する基礎研究

• 研究課題/領域番号: 25K07840
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21050:電気電子材料工学関連
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 島 隆之 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (10371048)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2025年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2027年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2026年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円); 2025年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
• キーワード: 白金酸化物 / 還元 / 粒子化 / 赤外光検出

研究開始時の研究の概要

白金酸化物(PtOx)は、成膜後の熱処理により還元で金属、結晶化で半導体を作り分け可能な物質である。熱処理後の構造と光学特性を明らかにする。金属では、PtOx還元後に白金が膜状や粒子状になる機構を解明する。PtOxは組成比xにより白金割合を調整でき、粒子化は容易である。粒子の形状制御により触媒性能を向上させ、省エネルギーに寄与する。半導体では、結晶性の高いα-PtO2を得る条件を見出す。α-PtO2は近赤外波長域に直接遷移型のバンドギャップ(Eg)を持つとされるが、詳細は明らかでない。α-PtO2の吸収スペクトルからEgと吸収係数を評価する。無害かつ高感度な近赤外光検出への応用が期待される。