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金属塩の分解反応を利用した次世代3D半導体パッケージ向け異材直接接合

研究課題

研究課題/領域番号 25K07844
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関群馬大学

研究代表者

小山 真司  群馬大学, 大学院理工学府, 准教授 (70414109)

研究分担者 荘司 郁夫  群馬大学, 大学院理工学府, 教授 (00323329)
西田 進一  群馬大学, 大学院理工学府, 助教 (80434299)
研究期間 (年度) 2025-04-01 – 2029-03-31
研究課題ステータス 交付 (2025年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2028年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2027年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2026年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2025年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
キーワード固相接合 / 液相拡散接合 / 金属塩生成接合法 / 低温接合
研究開始時の研究の概要

電子実装分野においては,研究の主体が実装技術の開発やはんだ材料自身(高温強度や疲労特性)にあり,はんだと基板配線間の接合界面についての報告例は,その重要性に対してあまりにも少ない.本研究では,接合界面の微細構造と接合強度の関係を明らかにすることで,これからの接続部に対して有益な知見を得ることを目的としている.またフラックスは,被接合金属面の酸化物を化学的に除去し,はんだと被接合面の親和性を高めると一般的に考えられているが,その改善機構は明解ではなく,所望の効果が得られない実例が多数報告されている.本研究では,有機酸による表面改質効果を化学的に検証・証明することで,その改善機構を解明する.

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公開日: 2025-04-17   更新日: 2025-06-20  

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