RTR式原子状酸素支援MBE法によるフレキシブル酸化物半導体集積技術の開発

• 研究課題/領域番号: 25K07863
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
• 研究機関: 山梨大学
• 研究代表者: 村中 司 山梨大学, 大学院総合研究部, 教授 (20374788)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 採択 (2025年度)
• 配分額: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円); 2027年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円); 2026年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2025年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)