研究課題
基盤研究(C)
振動型圧電MEMSデバイスのエネルギー変換効率向上のため,振動体に静的座屈を導入する新たな設計手法を提案する。電界ポーリングによる圧電性能の向上と,静的座屈による構造的変換効率向上メカニズムを両立させるデバイス構造を実現するため,座屈状態における静的および動的な力学的挙動を理論的に定式化し,これに基づくデバイスの試作と評価により,変換効率を向上するデバイスの最適な設計方法の確立を目指す。