大気圧非平衡プラズマの液中閉じ込めを利用した製膜法の開発と色素感太陽電池への応用

• 研究課題/領域番号: 25K08327
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分26050:材料加工および組織制御関連
• 研究機関: 静岡大学
• 研究代表者: 奥谷 昌之 静岡大学, 工学部, 教授 (00293605)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2025年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2027年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2026年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円); 2025年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
• キーワード: 非平衡平面プラズマ / 薄膜 / 透明導電膜 / 色素増感太陽電池

研究開始時の研究の概要

本研究では、液相中の微小空洞内に誘電体バリア放電により発生させる大気圧非平衡平面プラズマを独自の製膜法へと展開させる。これまで、電極の面内へバイアス印加する放電方式を採用してきたが、本研究では表裏にバイアス印加して高エネルギープラズマを発生させる新方式を提案する。また製膜の際、プラズマが閉じ込められた微小空洞を一定の周期・軌道で基板上を走査させ、液中空洞内の気相プラズマの安定性を確保する。さらに、この微小空洞を利用したプラズマ処理をダイレクトパターニング製膜へと展開するとともに、クリーンエネルギー源として期待の高い色素増感太陽電池のモジュール化への実用的技術へと進展させる。