高アスペクト比規則的凹凸構造を有する異種複合酸化物膜の創製

• 研究課題/領域番号: 25K08335
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分26050:材料加工および組織制御関連
• 研究機関: 近畿大学
• 研究代表者: 岩崎 光伸 近畿大学, 理工学部, 教授 (20278740)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2025年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2027年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2026年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2025年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
• キーワード: 誘電体膜 / パターニング / 凹凸構造 / アスペクト比 / 表面電位

研究開始時の研究の概要

申請者らはアノード酸化のみで BaTiO3などの複合酸化物膜を作製することにはじめて成功し，すでにさまざまな複合酸化物膜を作製していることから,世界の研究をけん引し、世界的な研究に大きく貢献している。さらに，「光感応法と火花放電パルスアノード酸化を併用した規則的ミクロ構造を有する異種金属酸化物の作製」は申請者のみが有する独自の技術であり，アノード酸化による酸化物膜の作製に関する国内外の最先端研究と比較しても先導的で，新規誘電特性を発現する可能性があるという点で革新的であり，普遍性の高い価値を創出する研究である。