| 研究課題/領域番号 |
25K08478
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
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| 研究機関 | 工学院大学 |
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研究代表者 |
相川 慎也 工学院大学, 工学部, 教授 (40637899)
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| 研究期間 (年度) |
2025-04-01 – 2028-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2025年度)
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| 配分額 *注記 |
6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
2027年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2026年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2025年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
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| キーワード | 薄膜トランジスタ / 酸化物半導体 / ガスセンサー / 極性表面 / 計算機シミュレーション |
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| 研究開始時の研究の概要 |
極薄の酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタで，温室効果ガスを室温で検知するガスセンサーを開発する．これまでの研究で，In2O3極性表面に吸着させた大気中H2O由来の分子を介して，還元活性の低いCO2を低温で検知することに成功してきた．しかし，分散配置可能なIoTセンサーとして適用するためには，さらなる動作温度低減などの課題が残る．そこで本研究では，これまでに得たCO2検知に関する知見に，新たに計算機シミュレーションを組み合わせて，室温でのCO2検知を実証する．さらに，検知対象ガスをCH4およびN2Oまで拡張する．最終的に，各ガス種での検知パターンを解析し，混合雰囲気下での識別を目指す．
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