| 研究課題/領域番号 |
25K08484
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
熊谷 和博 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究グループ付 (20582042)
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| 研究分担者 |
関口 隆史 筑波大学, 数理物質系, 教授 (00179334)
姚 遠昭 筑波大学, 数理物質系, 助教 (31004393)
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| 研究期間 (年度) |
2025-04-01 – 2028-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2025年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2027年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円)
2026年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2025年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | 走査電子顕微鏡 / 検出器 / 電子分光 / マルチチャンネルプレート |
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| 研究開始時の研究の概要 |
走査電子顕微鏡(SEM)では信号電子のエネルギー弁別検出が進み，複数検出器を搭載することで多様な試料情報を得ることができるようになった．しかし，SEMの検出系は装置間差が大きく，しばしば像解釈に支障をきたす．そこで，本研究では，他に例を見ない(1)エネルギー・角度分解二次電子検出器を開発し，(2)二次電子がもたらす情報をエネルギーおよび放出角度について整理することで，多次元SEMイメージングの基礎を確立する．本検出器は広範なエネルギー・角度検出範囲を持ち，且つ任意の信号電子を高効率で検出可能であり，本研究で得られるSEM像は，定量的な像解釈や像形成の学術的議論を加速させる土台となり得る．
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