実空間結晶成長その場X線観察技術の開発

• 研究課題/領域番号: 25K08498
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分30010:結晶工学関連
• 研究機関: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
• 研究代表者: 佐々木 拓生 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光量子科学研究所 放射光科学研究センター, 上席研究員 (90586190)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2025年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2027年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2026年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2025年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
• キーワード: 放射光 / その場観察 / 結晶成長 / コヒーレントX線

研究開始時の研究の概要

半導体結晶成長のその場観察は、高品質な結晶を生み出したり、デザイン通りの構造を作製したりするために必要な技術であり、近年注目されている次世代半導体の研究開発にも期待されている。しかし、従来のその場観察は、X線が照射されたマクロな領域の回折強度パターンから実空間の結晶状態を推測したもので、いわゆる逆空間のその場観察であった。本研究は、放射光X線の特徴であるコヒーレンスを活かした計測手法をその場観察に応用することで、結晶の状態を逆空間ではなく、ナノメートルスケールの実空間で直接可視化する技術の開発を目指す。