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マイクロサンプリング法を用いた局所領域応力特性の可視化

研究課題

研究課題/領域番号 25K08710
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分34020:分析化学関連
研究機関東京理科大学

研究代表者

野島 雅  東京理科大学, 研究推進機構総合研究院, 講師 (50366449)

研究期間 (年度) 2025-04-01 – 2028-03-31
研究課題ステータス 交付 (2025年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2027年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2026年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2025年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワード集束イオンビーム / マイクロサンプリング法 / 応力破壊 / アトムプローブ / 局所領域
研究開始時の研究の概要

集束イオンビーム(FIB)マイクロサンプリング法の特徴は、局所(一部分)を削り出してピースとして摘出できるところにあります。炭素繊維複合材料を代表とする破壊過程は、驚くほど局所的に進展します。これまでに申請者らは、半導体を構成する異種界面における故障現象も局所的に進展することを明らかにしてきました。
本研究では、不良個所を単離して評価する基準が存在しなかった応力故障現象に対して新しい物差しを提供することを目的としています。

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公開日: 2025-04-17   更新日: 2025-06-20  

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