非線形光学フィルタリング共焦点プローブによる次世代ピコメートル級走査式形状計測

• 研究課題/領域番号: 25K17517
• 研究種目: 若手研究
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 小区分18020:加工学および生産工学関連
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 佐藤 遼 東北大学, 工学研究科, 助教 (20993421)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2025年度)
• 配分額: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円); 2027年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2026年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2025年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
• キーワード: ピコメートル / 走査式形状計測 / 加工機上計測 / 光応用計測 / 超精密計測

研究開始時の研究の概要

次世代の「加工機上非接触」表面形状計測達成に必須となる「角度」・「位置」の「単一」光プローブ計測を目的として，1) 2倍波発生強度の複屈折結晶中への光波入射状態依存性を理論的に確立すること，2) 集束光スポットを測定プローブとする複屈折結晶を用いた「非線形光学フィルタリング共焦点プローブ」の提案によるワーク表面の「傾斜角」および「位置」を高分解能検出する信号処理アルゴリズムを創出することによって，これまでにない集束光プローブによる「角度」・「位置」計測新学理を構築し，自由曲面形状を加工機上で非接触計測し，その結果を加工工程へフィードバック可能な次世代ピコメートル級走査式形状計測システムを従来より2桁高い測定分解能で実現する．