超微細ナノ空洞の形成に向けたレーザーナノアニールとナノプロセスモニタリング

• 研究課題/領域番号: 25K17971
• 研究種目: 若手研究
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 小区分30020:光工学および光量子科学関連
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 寺澤 英知 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員 (00993015)
• 研究期間 (年度): 2025-04-01 – 2028-03-31
• 研究課題ステータス: 採択 (2025年度)
• 配分額: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円); 2027年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円); 2026年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2025年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)