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プラズマを用いたナノ粒子精密配置制御の学術基盤創成

研究課題

研究課題/領域番号 26246036
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 プラズマエレクトロニクス
研究機関九州大学

研究代表者

白谷 正治  九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90206293)

研究分担者 古閑 一憲  九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90315127)
内田 儀一郎  大阪大学, 接合科学研究所, 准教授 (90422435)
鎌滝 晋礼  九州大学, システム情報科学研究院, 助教 (60582658)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
41,340千円 (直接経費: 31,800千円、間接経費: 9,540千円)
2018年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2017年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
2016年度: 8,320千円 (直接経費: 6,400千円、間接経費: 1,920千円)
2015年度: 8,450千円 (直接経費: 6,500千円、間接経費: 1,950千円)
2014年度: 12,350千円 (直接経費: 9,500千円、間接経費: 2,850千円)
キーワードプラズマ / ゆらぎ / ナノ粒子 / 電気・電子材料 / 3Dプリンティング / 電子・電気材料 / 第3世代太陽電池 / 3Dプリンティング
研究成果の概要

プラズマナノ粒子プリンティングの学術基盤を確立することを目的として、以下の成果を得た。
(1)プラズマ中ナノ粒子のサイズ分布の単分散化と凝集制御を目指して、プラズマとナノ粒子の相互作用とそのゆらぎ機構を明らかにした。(2)ガス流下におけるナノ粒子の輸送機構を検討し、ガス流によるナノ粒子の選択堆積が可能であることを明らかにした。(3)ナノ粒子付着について、粒子のサイズ・構造と付着機構・付着後の膜物性の相関を明らかにした。(4)ナノ粒子その場計測法として、プラズマ中微粒子の光捕捉に世界で始めて成功し、微粒子の振る舞いからプラズマポテンシャルゆらぎの超高感度計測に成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究の成果は、プラズマを用いたナノ粒子の生成から輸送、堆積までを精密に制御するために欠かせない学術基盤を構築するものであり、ナノ構造体作製のボトムアッププロセスの実現に資するものである。プラズマ分野としては、プラズマゆらぎに関する新しい計測・解析法を提供した。加えて、応用面においては、プラズマを用いた、次世代太陽電池やCO2メタン化などエネルギー・環境関連技術の発達に貢献する成果を得ている。

報告書

(6件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 2015 実績報告書
  • 2014 実績報告書
  • 研究成果

    (210件)

すべて 2019 2018 2017 2016 2015 2014 その他

すべて 国際共同研究 (4件) 雑誌論文 (23件) (うち国際共著 13件、 査読あり 15件、 謝辞記載あり 4件) 学会発表 (180件) (うち国際学会 88件、 招待講演 22件) 備考 (2件) 産業財産権 (1件)

  • [国際共同研究] Kiel University(ドイツ)

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [国際共同研究] Pusan National University(韓国)

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [国際共同研究] Chulalongkorn University(Thailand)

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [国際共同研究] Pusan National University(韓国)

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [雑誌論文] Effects of Gas Pressure on Size Distribution and Structure of Carbon Nanoparticles Using Ar + CH4 Multi-Hollow Discharged Plasma Chemical Vapor Deposition2019

    • 著者名/発表者名
      Sung Hwa Hwang, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga and Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Plasma and Fusion Research

      巻: -

    • NAID

      130007723652

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dependence of CO2 Conversion to CH4 on the CO2 Flow Rate in a Helicon Discharge Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Susumu Toko, Ryu Katayama, Kaunori Koga, Edbertho Leal-Quiros, Masaharu Shiratani
    • 雑誌名

      Science of Advanced Materials

      巻: 10 号: 5 ページ: 655-659

    • DOI

      10.1166/sam.2018.3141

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Cross-Correlation Analysis of Fluctuations of Interactions between Nanoparticles and Low Pressure Reactive Plasmas2018

    • 著者名/発表者名
      Zhou Ren、Mori Kento、Ohtomo Hiroshi、Yamashita Daisuke、Seo Hyun Woong、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 941 ページ: 2104-2108

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.941.2104

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hysteresis in volume fraction of clusters incorporated into a-Si:H films deposited by SiH4 plasma chemical vapor deposition2017

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, T. Kojima, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Surface and Coating Technology

      巻: 印刷中 ページ: 388-394

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2017.01.034

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Performance enhancement of quantum dot-sensitized solar cells based on polymer nano-composite catalyst2017

    • 著者名/発表者名
      Seo Hyunwoong、Gopi Chandu V.V.M.、Kim Hee-Je、Itagaki Naho、Koga Kazunori、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      Electrochimica Acta

      巻: 249 ページ: 337-342

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2017.08.030

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] 低温プラズマによるナノ粒子の合成と太陽電池への応用2017

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 雑誌名

      信学技報 (IEICE Technical Report)

      巻: 117 ページ: 5-9

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [雑誌論文] 色素増感太陽電池のポリマー対向電極における触媒反応の活性化2017

    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 雑誌名

      信学技報 (IEICE Technical Report)

      巻: 117 ページ: 27-29

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [雑誌論文] Synthesis of Nanoparticles Using Low Temperature Plasmas and Its Application to Solar Cells and Tracers in Living Body2017

    • 著者名/発表者名
      Koga Kazunori、Seo Hyunwoong、Tanaka Akiyo、Itagaki Naho、Shiratani Masaharu
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 77 号: 3 ページ: 17-24

    • DOI

      10.1149/07703.0017ecst

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Catalytic Improvement on Counter Electrode of Dye-Sensitized Solar Cells Using Electrospun Pt Nano-Fibers2016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, M. Shiratani, K. Seneekatima, R. Pornprasertsuk
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 16 号: 4 ページ: 3332-3337

    • DOI

      10.1166/jnn.2016.12294

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Improvement of Charge Transportation in Si Quantum Dot-Sensitized Solar Cells Using Vanadium Doped TiO22016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Ichida, S. Hashimoto, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, S. H. Nam and J. H. Boo
    • 雑誌名

      J. Nanosci. Nanotechnol.

      巻: 16 号: 5 ページ: 4875-4879

    • DOI

      10.1166/jnn.2016.12210

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Surface Modification of Polymer Counter Electrode for Low Cost Dye-sensitized Solar Cells2016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, M. K. Son, S. Hashimoto, T. Takasaki, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Electrochimica Acta

      巻: 210 ページ: 880-887

    • DOI

      10.1016/j.electacta.2016.06.020

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Fluctuation of Position and Energy of a Fine Particle in Plasma Nanofabrication2016

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, M. Soejima, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 879 ページ: 1772-1777

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.879.1772

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effects of Gas Flow Rate on Deposition Rate and Amount of Si Clusters Incorporated into a-Si:H Films2015

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55 号: 1S ページ: 01AA19-01AA19

    • DOI

      10.7567/jjap.55.01aa19

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Cross correlation analysis of plasma perturbation in amplitude modulated reactive dusty plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Kobayashi, S. Inagaki
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際共著
  • [雑誌論文] Cluster Incorporation into A-Si:H Films Deposited Using H 2 +SiH 4 Discharge Plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際共著
  • [雑誌論文] Deposition rate and etching rate due to neutral radicals and dust particles measured using QCMs together with a dust eliminating filter2015

    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, K. Koga, D. Yamashita, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, N. Ashikawa, M. Tokitani, S. Masuzaki, K. Nishimura, A. Sagara, LHD Experimental Group
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際共著
  • [雑誌論文] Laser trapped single fine particle as a probe of plasma parameters2015

    • 著者名/発表者名
      D. Yamashita, M. Soejima, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際共著
  • [雑誌論文] Effects of electrode structure on characteristics of multi-hollow discharges2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Torigoe, K. Keya, S. Toko, H. Seo, N. Itagaki, K. Kamataki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際共著
  • [雑誌論文] Raman spectroscopy of PIN hydrogenated amorphous silicon solar cells2015

    • 著者名/発表者名
      K. Keya, Y. Torigoe, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 雑誌名

      Proc. 68th GEC/9th ICRP/33rd SPP

      巻: 60

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際共著
  • [雑誌論文] Effects of cluster incorporation into hydrogenated amorphous silicon films in initial discharge phase on film stability2015

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, W. Chen, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 587 ページ: 126-131

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2015.02.052

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Photovoltaic application of Si nanoparticles fabricated by multihollow plasma discharge CVD: Dye and Si co-sensitized solar cells2015

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Ichida, S. Hashimoto, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 54 号: 1S ページ: 01AD02-01AD02

    • DOI

      10.7567/jjap.54.01ad02

    • NAID

      210000144740

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dust Hour Glass in a Capacitive RF Discharge2014

    • 著者名/発表者名
      S. Iwashita, E. Schungel, J. Schulze, P. Hartmann, Z. Donko, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani, U. Czarnetzki
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Plasma Science

      巻: 42 号: 10 ページ: 2672-2673

    • DOI

      10.1109/tps.2014.2343975

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Performance enhancement of dye and Si quantum dot hybrid nanostructured solar cell with TiO2 barrier2014

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Ichida, S. Hashimoto, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 雑誌名

      Trans. Mater. Res. Soc. Jpn.

      巻: 39 ページ: 321-324

    • NAID

      130005004352

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Deposition Control of Carbon Nanoparticles Synthesized by Using Ar + CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma CVD Method2019

    • 著者名/発表者名
      S. H Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] A deep insight of plasma-nanoparticle interaction2018

    • 著者名/発表者名
      Kazunori Koga, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki and Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      19th International Congress on Plasma Physics
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Effect of gas flow rate on plasma-catalytic methanation reaction2018

    • 著者名/発表者名
      A. Yamamoto, S. Tanida, S. Toko, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      29th Symposium on Plasma Physics and Technology (SPPT)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Methanation of CO2 using low temperature and catalyst2018

    • 著者名/発表者名
      A. Yamamoto, S. Tanida, S. Toko, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Workshop "Plasma surface interaction for technological applications"
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Cross correlation analysis of fluctuation of interactions between nanoparticles and low pressure reactive plasmas2018

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      10th International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications (THERMEC 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Density modulation of nanoparticles in amplitude modulated discharge plasmas2018

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, R. Zhou, H. Ohtomo, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      24th Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Analysis of Inter-particle Interactions of Two Fine Particles in Ar Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Ohtomo, Ren Zhou, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      JP-KO dust workshop 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 反応性プラズマにおけるプラズマ揺らぎとナノ粒子揺らぎの関係2018

    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼
    • 学会等名
      第45回 西日本放電懇談会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Effects of CH4 Concentration on Size of Carbon Nano-Particles Formed in Multi-hollow Discharge Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      6th UK-Japan Engineering Education League Workshop 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] CH4+Arマルチホロー放電プラズマで生成したカーボンナノ粒子の基板堆積に対するガス流量の影響2018

    • 著者名/発表者名
      H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 銅電極を用いた低圧放電によるCO2のメタン変換2018

    • 著者名/発表者名
      谷田知史,山本瑛久,古閑一憲,白谷正治
    • 学会等名
      放電/プラズマ・パルスパワー合同研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Motion analysis of inter-particle interactions of three fine particles in Ar plasma2018

    • 著者名/発表者名
      H.Ohtomo, R.Zhou, D.Yamashita, K.Kamataki, N.Itagaki, K.Koga, and M.Shiratani
    • 学会等名
      40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Spatial-Structure of Density Fluctuation of Nanoparticles in Amplitude Modulated Capactively Coupled Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Ren Zhou, Kunihiro Kamataki, Hiroshi Ohtomo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      2st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Impact of Amplitude Modulation of RF Discharge Voltage on the Spatial Profile of Nanoparticle Characteristics in Reactive Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      Kunihiro Kamataki, Ren Zhou, Hiroshi Ohtomo, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga and Masaharu ShirataniKazunori Koga, Masaharu Shiratani
    • 学会等名
      2st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of Gas Pressure on Size of Carbon Nanoparticles Prepared by Methane Plasma Process2018

    • 著者名/発表者名
      H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      2st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 反応性プラズマ中のナノ粒子量揺らぎの構造解析2018

    • 著者名/発表者名
      周靭,鎌滝晋礼,大友洋,山下大輔,板垣奈穂,古閑一憲,白谷正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 反応性プラズマにおけるプラズマ揺らぎとラジカルとナノ粒子成長の関係2018

    • 著者名/発表者名
      鎌滝晋礼, 周靭, 大友洋,山下大輔,板垣奈穂,古閑一憲,白谷正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Arプラズマ中微粒子の相互作用の評価2018

    • 著者名/発表者名
      大友 洋,周 靭,山下 大輔,鎌滝 晋礼,板垣 奈穂,古閑 一憲,白谷 正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] CO2のCH4化のための低圧高周波プラズマの分光計測2018

    • 著者名/発表者名
      谷田知史,山本瑛久, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Growth Kinetics of Carbon Nano Particles Generated in an Ar/CH4 Multi-Hollow Discharge Plasmas2018

    • 著者名/発表者名
      H. Sung Hwa, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] プラズマCVDによるSiN製膜時のクラスターの混入が膜物性へ与える影響2018

    • 著者名/発表者名
      永石翔大, 佐々木勇輔, 田中和真, 原尚志, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Effects of DC Bias Voltage on Deposition of Carbon Nano Particles Synthesized by Ar + CH4 Multi-Hollow Discharge Plasma2018

    • 著者名/発表者名
      S. H Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 3rd Asian Applied Physics Conference
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Approaches to increase throuput of Plasma- Catalytic CO2 methanation2018

    • 著者名/発表者名
      S. Tanida, A. Yamamoto, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] CO2 hydrogenation by plasma catalytic method: pressure dependence2018

    • 著者名/発表者名
      A. Yamamoto, S. Tanida, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Size and Structure Control of Carbon Nano-particles Synthesized by Multi-hollow Discharge Plasma CVD Method2018

    • 著者名/発表者名
      S. H Hwang, K. Kamataki, N. Itagaki, K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      28th Annual Meeting of MRS-Japan 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] プラズマ-触媒併用型二酸化炭素メタン変換における律速段階2018

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 山本瑛久, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 任意電圧波形を用いたC7H8+Ar+H2プラズマ生成2018

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 山木健司, 方トウジュン, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      平成30年電気学会全国大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Analysis of Coupling of Interaction Fluctuation between Reactive Plasmas and Nanoparticles2018

    • 著者名/発表者名
      R. Zhou, K. Mori, H. Ohtomo, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] A tailored voltage waveform plasma CVD method for carbon film deposition2018

    • 著者名/発表者名
      K. Yamaki, T. Fang, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] IoT-oriented solar cells fabricated using plasma-based nanotechnology (Invited)2018

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      ISPlasma2018/IC-PLANTS2018
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Thin film deposition using low temperature plasmas: past, present, and future (Plenary)2018

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, H. Seo, N. Itagaki
    • 学会等名
      4th International Workshop on Advanced Plasma Technology and Applications (The 4th IWAPTA workshop)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Strategy for the commercialization of dye-sensitized solar cells2018

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Sakamoto, B. Zhang, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Reduction of activation energy of CO2 methanation reaction using plasma-catalytic method2018

    • 著者名/発表者名
      A. Yamamoto, S. Toko, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Enhancement on photovoltaic performance of dye-sensitized solar cells by applying up-conversion Y2O3:Er3 + nanoparticles2018

    • 著者名/発表者名
      D. Sakamoto, B. Zhang, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] SiH4 gas flow rate dependence of Si-H2 bond density at P/I interface in aSi:H solar cells fabricated by plasma CVD2018

    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka, H. Hara, S. Toko, T. Kojima, S. Nagaishi, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Utilizing cluster cloud as a selective filter of deposition precursors of aSi:H films2018

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, T. Kojima, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th Korea-Japan Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018, 2nd International Symposium on Energy Research and Application
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 非平衡プラズマを用いたカーボンリサイクルによるエネルギー貯蔵2018

    • 著者名/発表者名
      谷田知史, 都甲将, 山本瑛久, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      九州大学エネルギーウィーク2018
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Towards ultra-high capacity batteries2018

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, G. Uchida, M. Shiratani
    • 学会等名
      Joint workshop btw SKKU and Kyushu University Emerging materials and devices
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎのモード間相関2017

    • 著者名/発表者名
      森研人, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      日本物理学会第72回年次大会(2017年)
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2017-03-18
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] プラズマを用いたCO2 のメタン化反応の考察2017

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 色素増感太陽電池の触媒としてのポリマーナノコンポジット2017

    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 坂本大輔, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVD下流におけるラジカル製膜速度と膜中クラスター混入量の動的振る舞い2017

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 小島尚, 毛屋公孝, 田中和真, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Time evolution of CH4 yield in methanation of CO2 using helicon discharge plasma2017

    • 著者名/発表者名
      S. Tanida, S. Toko, R. Katayama, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
    • 発表場所
      Chubu University
    • 年月日
      2017-03-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Corrational study of fluctuation of coupling between plasmas and nanoparticles2017

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, K. Mori, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
    • 発表場所
      Chubu University
    • 年月日
      2017-03-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Theoretical Consideration on Methane Production Using Plasma on Mars2017

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      34th Symposium on Plasma Processing (SPP34) / The 29th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM29)
    • 発表場所
      Hokkaido University
    • 年月日
      2017-01-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Si Nanoparticles Fabricated by Multi-hollow Discharge Plasma Chemical Vapor Deposition and their Photovoltaic Application2017

    • 著者名/発表者名
      D. Sakamoto, H. Chou, S. Tanami, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      34th Symposium on Plasma Processing (SPP34) / The 29th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM29)
    • 発表場所
      Hokkaido University
    • 年月日
      2017-01-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] A new insight into nanoparticle-plasma interactions (Invited)2017

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, K. Mori, R. Zhou, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      JP-KO dust workshop
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] プラズマ CVD で作製した a-Si:H 薄膜の Si ネットワーク秩序性向上2017

    • 著者名/発表者名
      田中和真, 原尚志, 小島尚, 永石翔大, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Ar プラズマ中で光捕捉した微粒子を用いたプラズマ揺動の評価2017

    • 著者名/発表者名
      大友洋, 森研人, 周靭, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ CVD で作製した a-Si:H 積層膜の P/I 界面 SiH2結合量の基板温度依存性2017

    • 著者名/発表者名
      原尚志, 田中和真, 小島尚, 永石翔大, 都甲将, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] SiH4+N2マルチホロー放電プラズマ CVD による SiN 系膜の作製2017

    • 著者名/発表者名
      永石翔大, 小島尚, 田中和真, 原尚志, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第21回支部大会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Cross-spectrum Analysis of Interaction Fluctuation between Plasma and Nanoparticles in Capacitively-Coupled RF Discharge Reactive Plasmas2017

    • 著者名/発表者名
      K. Mori, R. Zhou, H. Ohtomo, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Cloud of a-Si:H Clusters as Selective Filter in SiH4 Multi-Hollow Discharge Plasma2017

    • 著者名/発表者名
      T. Kojima, K. Tanaka, S. Nagaishi, H. Hara, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Evaluation of coupling among interaction fluctuations in nanoparticle growth in reactive plasmas2017

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, K. Mori, R. Zhou, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Analysis of Inter-particle Fluctuation in Capacitively Coupled Low Pressure Ar Plasma Using Optical Tweezers2017

    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, K. Mori, R. Zhou, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fine Particle Plasma and Plasma Process (Invited)2017

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      18th Workshop on Fine Particle Plasmas
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fluctuation Analysis of An Optical Trapped Fine Particle in Ar Plasma2017

    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      27th annual meeting of MRS-J
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Deposition of High Quality Silicon Thin Films Utilizing Nanoparticles Trapped in Plasmas2017

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Kojima, S. Toko, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      27th annual meeting of MRS-J
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 低圧プラズマを用いた CO2 のメタン化反応の活性化エネルギー2017

    • 著者名/発表者名
      山本瑛久, 都甲将, 谷田知史, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      2017年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Correlation analysis between high energy electrons and nanoparticles in AM CCP2017

    • 著者名/発表者名
      R. Zhou, K. Mori, H. Ohtomo, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 2nd Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of electrode material on low pressure plasma-catalytic CO2 methanation2017

    • 著者名/発表者名
      S. Tanida, S. Toko, A. Yamamoto, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 2nd Asian Applied Physics Conference (Asian-APC)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 色素増感太陽電池のポリマー対向電極における触媒反応の活性化(招待講演)2017

    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 光ピンセットを用いたArプラズマと単一微粒子との相互作用解析2017

    • 著者名/発表者名
      大友洋, 森研人, 周靭, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 基板温度制御によるa-Si:H薄膜のSiネットワーク秩序性の向上2017

    • 著者名/発表者名
      田中和真, 小島尚, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎのクロスコリレーション解析区間の比較2017

    • 著者名/発表者名
      周靭, 森研人, 大友洋, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Development of a fine particle transport analyzer for processing plasmas2017

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 39th International Symposium on Dry Process (DPS 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 反応性プラズマを用いた物質機能の初期階層形成2017

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲
    • 学会等名
      第33回九州・山口プラズマ研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Carbon Recycling using Low Temperature Plasma with Activated Catalysts2017

    • 著者名/発表者名
      S. Tanida, S. Toko, K. Koga, A. Yamamoto, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Hybrid Materials and Processing (HyMaP 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] An Analysis on a Kinetic Motion of Optical Trapped Single Fine Particle in Ar Plasma2017

    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, K. Mori, Z. Ren, D. Yamashita H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Hybrid Materials and Processing (HyMaP 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Nanoparticle Composite Films: Fabrication and Functions (Invited)2017

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, H. Seo, N. Itagaki
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Hybrid Materials and Processing (HyMaP 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Surface-driven CH4 generation from CO2 in Low-pressure Non-thermal Plasma2017

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, S. Toko, S. Tanida, M. Shiratani
    • 学会等名
      American Vacuum Society 64th International Symposium and Exhibition (AVS64)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Spatiotemporal Non-uniformity of CVD Plasmas and Film Qualities (Invited)2017

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani
    • 学会等名
      American Vacuum Society 64th International Symposium and Exhibition (AVS64)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 火星上CO2のCH4資源化のための低温低圧プラズマ触媒プロセス2017

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 都甲将, 谷田知史, 白谷正治, 細田聡史, 星野健
    • 学会等名
      第61回宇宙科学技術連合講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Novel Fabrication Methods of Thin Films using Low Temperature Plasmas (Invited)2017

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga, H. Seo, N. Itagaki
    • 学会等名
      Taiwan Association for Coating and Thin Film Technology (TACT) 2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 微粒子プラズマの揺動解析(招待講演)2017

    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      H29年度東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会 微粒子-流体混成系がもたらす多様な機能性 ~ 基礎物理から、メタマテリアル効果、熱応答性、種々の新現象 ~
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Local Fluctuations of Plasma Detected with an Optically Trapped Fine Particle2017

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, H. Ohtomo, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Spatial Structure of Interactions between Nanoparticles and Low Pressure Plasmas (Invited)2017

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga
    • 学会等名
      11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] P/I界面のSi-H2結合形成に対する基板温度の効果2017

    • 著者名/発表者名
      田中和真, 原尚志, 小島尚, 永石翔大, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Arプラズマ中で光捕捉された単一微粒子の運動解析2017

    • 著者名/発表者名
      大友洋, 森研人, 周靭, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 結晶Geナノ粒子膜の堆積とそのLiイオン電池への応用2017

    • 著者名/発表者名
      内田儀一郎, 古閑一憲, 白谷正治, 神原淳
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの相関関係解析2017

    • 著者名/発表者名
      周靭, 森研人, 大友洋, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 反応性プラズマ中ナノ粒子とプラズマの相互作用ゆらぎの起因解明2017

    • 著者名/発表者名
      森研人, 周靭, 大友洋, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 容量結合型プラズマを用いたCO2メタン化におけるCO2変換率のガス流量依存性2017

    • 著者名/発表者名
      谷田知史, 都甲将, 山本瑛久, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 高圧マルチホロー放電プラズマCVD下流におけるラジカル成膜速度の時間変化2017

    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 田中和真, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] プラズマを用いた二酸化炭素のメタン化における電極表面の影響2017

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 色素増感太陽電池におけるポリマー対向電極へのシリコンナノ粒子添加効果2017

    • 著者名/発表者名
      坂本大輔, 張博辰, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] ポリマーナノコンポジットを用いた量子ドット増感太陽電池の対向電極2017

    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 坂本大輔, 張博辰, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Effects of H2 flow rate on methanation of CO2 using low pressure nonthermal plasma2017

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Next Generation Photovoltaics Based on Si Nano-particles Fabricated by Advanced Plasma Process2017

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Spatiotemporal structure of fluctuation of interactions between plasmas and nanoparticles in capacitively-coupled rf discharge reactive plasmas2017

    • 著者名/発表者名
      K. Mori, H. Ohtomo, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Optical Trapping Process of Single Fine Particle in Ar Plasma2017

    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] A Theoretical Model for Time Evolution of Radical Deposition Rate in Silane Plasma CVD2017

    • 著者名/発表者名
      T. Kojima, S. Toko, K. Keya, K. Tanaka, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Film thickness dependence of structure of a-Si:H thin films measured by Raman spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      K. Tanaka, S. Toko, K. Keya, T. Kojima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Catalytic Enhancement of Polymer Counter Electrode of Photochemical Photovoltaics based on Nano-particle Application2017

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Sakamoto, H. Chou, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies - The 15th International Conference on Advanced Materials (IUMRS-ICAM 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Rise time of Sabatier process using low pressure and low temperature plasma2017

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Suppression of Si-H2 bond formation at P/I interface in a-Si:H solar cells deposited by multi-hollow discharge plasma CVD2017

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, K. Tanaka, K. Keya, T. Kojima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG 2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Carbon recycling using Cu catalyst together with low pressure capacitively-coupled plasma2017

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, S. Toko, S. Tanida, K. Koga
    • 学会等名
      2017 International Forum on Functional Materials (IFFM2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] a‐Si:H 薄膜中の Si ネットワーク秩序性のラマン分光法を_いた評価2017

    • 著者名/発表者名
      田中和真, 小島尚, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成29年度九州表面・真空研究会2017(兼第22回九州薄膜表面研究会)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 色素増感太陽電池におけるナノ粒子を用いた表面改質によるポリマー触媒の反応活性化2017

    • 著者名/発表者名
      坂本大輔, 張博辰, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成29年度九州表面・真空研究会2017(兼第22回九州薄膜表面研究会)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Synthesis of Nanoparticles Using Low Temperature Plasmas and Its Application to Solar Cells and Tracers in Living Body (Invited)2017

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, H. Seo, A. Tanaka, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      231st Meeting of Electrochemical Society (ECS)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 低温プラズマによるナノ粒子の合成と太陽電池への応用2017

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Time evolution of cross-correlation between two fluctuations of couplings between plasmas and nanoparticles in amplitude modulated discharges2016

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      17th Workshop on Fine Particle Plasmas and JAPAN-KOREA Workshop on Dust Particles 2016
    • 発表場所
      National Institute of Fusion Science, Gifu
    • 年月日
      2016-12-21
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characteristic length of position fluctuation of a single fine particle optically trapped in Ar plasma2016

    • 著者名/発表者名
      H. Ohtomo, M. Soejima, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Interaction potential fluctuation between binary collisions of fine particles suspended in low pressure Ar rf plasmas2016

    • 著者名/発表者名
      M. Soejima, H. Ohtomo, K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of modulation frequency on interaction fluctuation between plasma and nanoparticles2016

    • 著者名/発表者名
      K. Mori, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of electrostatic field direction on dust accumulation to mirror in a plasma reactor2016

    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, T. Fang, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Masuzaki, N. Ashikawa, M. Tokitani, K. Nishimura, A. Sagara
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Discharge power dependence of methanation of CO2 under low pressure2016

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, R. Katayama, S. Tanida, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th annual meeting of MRS-J
    • 発表場所
      Yokohama Port Opening Plaza
    • 年月日
      2016-12-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] DC bias voltage dependence of dust transport in a compact dust trajectory analyzer2016

    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, T. Fang, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani, S. Masuzaki, N. Ashikawa, M. Tokitani, K. Nishimura, A. Sagara
    • 学会等名
      17th Workshop on Fine Particle Plasmas and JAPAN-KOREA Workshop on Dust Particles 2016
    • 発表場所
      National Institute of Fusion Science, Gifu
    • 年月日
      2016-12-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] プラズマを用いたサバティエ反応によるCH4生成速度の理論的検討2016

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-18
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ中微粒子の光捕捉2016

    • 著者名/発表者名
      大友洋, 添島雅大, 森研人, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVD下流領域におけるクラスター輸送量と膜中クラスター混入量の関係2016

    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 毛屋公孝, 田中和真, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ中微粒子の相互作用計測2016

    • 著者名/発表者名
      添島雅大, 大友洋, 森研人, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 容量結合RFプラズマを用いた低温低圧下におけるCO2のメタン化2016

    • 著者名/発表者名
      谷田知史, 都甲将, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] プラズマプロセスによって作成されたSiナノ粒子の光電変換特性2016

    • 著者名/発表者名
      張博辰, 坂本大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの時空間構造2016

    • 著者名/発表者名
      森研人, 添島雅大, 大友洋, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第20回支部大会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-12-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマ中のクラスターサイズ・密度の放電時間依存性2016

    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 毛屋公孝, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成28年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      対馬市交流センター, 長崎
    • 年月日
      2016-12-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 低圧プラズマによるCO2変換への放電電力・ガス滞在時間の効果2016

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成28年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      対馬市交流センター, 長崎
    • 年月日
      2016-12-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 小型ダスト飛跡分析装置を用いたミラー上ダスト堆積抑制の検討2016

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 片山龍, 方韜鈞, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男
    • 学会等名
      第33回プラズマ・核融合学会年会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2016-12-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの2次元空間構造の時間発展2016

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 森研人, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      第33回プラズマ・核融合学会年会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2016-11-30
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Effects of particle size on catalytic characteristics of polymer counter electrode containing Si nanoparticles in dye-sensitized solar cells2016

    • 著者名/発表者名
      D. Sakamoto, Y. Oide, S. Tanami, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26)
    • 発表場所
      Sands Expo and Convention Centre
    • 年月日
      2016-10-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Low cost dye-sensitized solar cells based on polymer composite catalyst2016

    • 著者名/発表者名
      D. Sakamoto, H. Seo, S. Tanami, Y. Oide, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26)
    • 発表場所
      Sands Expo and Convention Centre
    • 年月日
      2016-10-26
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Catalytic enhancement on polymer composite counter electrode for low cost quantum dot-sensitized solar cells2016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, D. Sakamoto, C. V. V. M. Gopi, M. Kim, H. J. Kim, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP 2016)
    • 発表場所
      Dream Center, Gyeongju
    • 年月日
      2016-09-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ヘリコンプラズマを用いた低温低圧下におけるCO2からのCH4生成2016

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 片山龍, 谷田知史, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ, 新潟
    • 年月日
      2016-09-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマ下流における電場とクラスター輸送の関係2016

    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 毛屋公孝, 田中和真, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ, 新潟
    • 年月日
      2016-09-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 反応性プラズマとナノ粒子の相互作用ゆらぎの時空間構造解析2016

    • 著者名/発表者名
      森研人, 添島雅大, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ, 新潟
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVD法によって作成されたSiナノ粒子の量子測定と太陽電池への応用2016

    • 著者名/発表者名
      張博辰, 坂本大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2016-09-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] ナノ粒子制御による高光安定なa-Si:H太陽電池セルの作成2016

    • 著者名/発表者名
      田中和真, 毛屋公孝, 鳥越祥宏, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2016-09-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 低圧ヘリコン放電プラズマを用いたCO2のメタン化2016

    • 著者名/発表者名
      谷田知史, 都甲将, 片山龍, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2016-09-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ中でレーザートラップされた微粒子を用いたプラズマのその場計測2016

    • 著者名/発表者名
      大友洋, 添島雅大, 森研人, 山下大輔, 徐鉉雄, 古閑一憲, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      第10回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2016-09-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Methanation of CO2 by low pressure helicon plasma discharge2016

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, R. Katayama, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress (IVC-20)
    • 発表場所
      Busan Exhibition Convention Center
    • 年月日
      2016-08-24
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Inter-Particle Potential Fluctuation of Two Fine Particles Suspended in Ar Plasmas2016

    • 著者名/発表者名
      M. Soejima, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      16th International Conference On Nanotechnology (IEEE NANO 2016)
    • 発表場所
      Sendai International Center
    • 年月日
      2016-08-24
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Catalytic Activation of Polymer Composite Catalyst for Photochemical Solar Cells2016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, M. Son, S. Tanami, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 67th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry
    • 発表場所
      The Hague, Netherland
    • 年月日
      2016-08-23
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Surface modification of polymeric catalyst for the catalytic enhancement of dye and quantum dot sensitized solar cells2016

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, M. K. Son, S. Tanami, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress (IVC-20)
    • 発表場所
      Busan Exhibition Convention Center
    • 年月日
      2016-08-23
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Time evolution of radical deposition rate and cluster amount (Invited)2016

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, T. Kojima, H. Seo, N. Itagaki and K. Koga
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress (IVC-20)
    • 発表場所
      Busan Exhibition Convention Center
    • 年月日
      2016-08-22
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Envelope analysis and cross correlation analysis of plasma perturbation in amplitude modulated reactive dusty plasmas2016

    • 著者名/発表者名
      K. Mori, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani and S. Inagaki
    • 学会等名
      Workshop on Plasma surface interaction for technological applications
    • 発表場所
      University of Kiel, Germany
    • 年月日
      2016-07-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of clusters transport on hydrogenated amorphous silicon solar cells2016

    • 著者名/発表者名
      T. Kojima, S. Toko, K. Keya, K. Tanaka, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani
    • 学会等名
      Workshop on Plasma surface interaction for technological applications
    • 発表場所
      University of Kiel, Germany
    • 年月日
      2016-07-18
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] コンパクトドリフトチューブへのダスト入射角度に対する印加バイアス電圧の影響2016

    • 著者名/発表者名
      片山龍, 方韜鈞, 古閑一憲, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男
    • 学会等名
      第11回核融合エネルギー連合講演会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-07-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] コンパクトドリフトチューブを用いたArプラズマとグラファイト壁の相互作用により発生したダストの捕集実験2016

    • 著者名/発表者名
      方韜鈞, 片山龍, 古閑一憲, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男
    • 学会等名
      第11回核融合エネルギー連合講演会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-07-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] QCMを用いたLHD内ダスト堆積量のその場測定2016

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 片山龍, 方韜鈞, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 増崎貴, 芦川直子, 時谷政行, 西村清彦, 相良明男, LHD実験グループ
    • 学会等名
      第11回核融合エネルギー連合講演会
    • 発表場所
      九州大学
    • 年月日
      2016-07-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Modulation level dependence of fluctuation of interactions between plasmas and nanoparticles grown in amplitude modulated discharges2016

    • 著者名/発表者名
      K. Mori, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      23rd Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG)
    • 発表場所
      Bratislava, Slovekia
    • 年月日
      2016-07-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fluctuation of position and energy of a fine particle in plasma nanofabrication (Invited)2016

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      Intl’ Conf. on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC’2016)
    • 発表場所
      Graz, Austria
    • 年月日
      2016-05-31
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] DC biased parallel plates for reduction of dust accumulation on first mirror2016

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, R. Katayama, K. Koga, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, S. Masuzaki, N. Ashikawa, M. Tokitani, K. Nishimura, A. Sagara
    • 学会等名
      International Conference on Plasma Surface Interactions in Controlled Fusion Devices (22nd PSI)
    • 発表場所
      Pontifical Urbaniana University, Roma
    • 年月日
      2016-05-31
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] プラズマ中微粒子を用いたプラズマポテンシャルゆらぎの評価2016

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 添島雅大, 伊藤鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      日本物理学会第71回年次大会
    • 発表場所
      東北学院大学
    • 年月日
      2016-03-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] プラズマによるクラスター捕捉を利用した低クラスター混入 a-Si:H 薄膜の作製2016

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 毛屋公孝, 小島尚, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第7回薄膜太陽電池セミナー
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2016-03-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Fluctuation in interaction potential between binary colliding fine particles suspended in plasmas2016

    • 著者名/発表者名
      M. Soejima, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      5th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-5)
    • 発表場所
      Rogla, Slovenia
    • 年月日
      2016-03-01
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] シランマルチホロー放電プラズマ下流領域におけるクラスタ量の時間変化2015

    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 鳥越祥宏, 毛屋公孝, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第19回支部大会
    • 発表場所
      熊本大学
    • 年月日
      2015-12-20
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 反応性プラズマ中で形成されたナノ粒子によるレーザー散乱光強度のエンベロープ解析:変調周波数依存性2015

    • 著者名/発表者名
      森研人, 伊東鉄平, 添島雅大, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 小林達哉, 稲垣滋
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 第19回支部大会
    • 発表場所
      熊本大学
    • 年月日
      2015-12-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Analysis of Spatiotemporal Development of Interaction Fluctuation between Nanoparticles and Radicals in Reactive Plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Ito, T. Kobayashi, M. Shiratani, S. Inagaki
    • 学会等名
      9th APSPT/28th SPSM
    • 発表場所
      Nagasaki Univ., Japan
    • 年月日
      2015-12-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Potential fluctuation evaluation using binary collision of fine particles suspended in plasmas (Invited)2015

    • 著者名/発表者名
      K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      第16回微粒子プラズマ研究会
    • 発表場所
      核融合科学研究所
    • 年月日
      2015-12-11
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Arプラズマ中の2つのダスト粒子間のポテンシャル2015

    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 添島雅大, 伊東鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館
    • 年月日
      2015-12-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] クラスタ及びSiH3ラジカルのSiH2結合形成への寄与2015

    • 著者名/発表者名
      毛屋公孝, 鳥越祥宏, 都甲将, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館
    • 年月日
      2015-12-08
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Attraction during binary collision of fine particles in Ar plasma2015

    • 著者名/発表者名
      M. Soejima, T. Ito, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Cross correlation analysis of plasma perturbation in amplitude modulated reactive dusty plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani, T. Kobayashi, S. Inagaki
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Cluster Incorporation into A-Si:H Films Deposited Using H 2 +SiH 4 Discharge Plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      S. Toko, Y. Torigoe, K. Keya, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      ICRP9/GEC68/SPP33
    • 発表場所
      Hawaii Convention Center, USA
    • 年月日
      2015-10-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] In-situ laser Raman spectroscopy of an optically trapped fine particle2015

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, M. Soejima, K. Tomita, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, M. Shiratani
    • 学会等名
      17th International Symposium on Laser-Aided Plasma Diagnostics (LAPD17)
    • 発表場所
      Chateraise Gateaux Kingdom Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] プラズマ中微粒子運動の2次元顕微解析2015

    • 著者名/発表者名
      添島雅大, 伊東鉄平, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 野口将之, 内田誠一
    • 学会等名
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 反応性プラズマ中ナノ粒子量揺らぎのクロスコリレーション解析2015

    • 著者名/発表者名
      伊東鉄平, 添島雅大, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治, 小林達哉, 稲垣滋
    • 学会等名
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVD法におけるシランガス流速のクラスターに対するラジカル損失への影響2015

    • 著者名/発表者名
      都甲将, 鳥越祥宏, 毛屋公孝, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成27年度(第68回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 年月日
      2015-09-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Control Of Nanoprticle Transport And Their Deposition For Porous Low-k Films By Using Plasma Pertubation (Invited)2015

    • 著者名/発表者名
      K. Koga and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
    • 年月日
      2015-09-22
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fabrication Of Ge Nanoparticle Composite Films By Reactive Dusty Plasma Process For Next Generation Energy Devices (Invited)2015

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)
    • 発表場所
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Korea
    • 年月日
      2015-09-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] アルゴンプラズマ中微粒子運動の画像解析によるプラズマパラメータ評価2015

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 添島雅大, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治, 内田誠一
    • 学会等名
      日本物理学会 2015年秋季大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 年月日
      2015-09-17
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 反応性プラズマ中ナノ粒子とラジカルの非線形結合成分の時空間解析2015

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 伊東鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      日本物理学会 2015年秋季大会
    • 発表場所
      関西大学
    • 年月日
      2015-09-17
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] AM変調を用いた反応性プラズマ中のナノ粒子揺らぎの時空間解析2015

    • 著者名/発表者名
      森研人, 伊東鉄平, 古閑一憲, 添島雅大, 山下大輔, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治,小林達哉, 稲垣滋
    • 学会等名
      第9回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2015-09-02
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 膜中クラスター体積分率の水素ガス流量依存性2015

    • 著者名/発表者名
      小島尚, 都甲将, 鳥越祥宏, 毛屋公孝, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      第9回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 発表場所
      国立中央青少年交流の家, 静岡
    • 年月日
      2015-09-02
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ中2体衝突ダスト間引力・斥力の検出2015

    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      平成27年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会「微粒子プラズマ物理に基づいた新規ナノ材料創成」
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2015-09-01
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Position fluctuation of a fine particle optically trapped in Ar plasma2015

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, M. Soejima, T. Ito, D. Yamashita, N. Itagaki, H. Seo, K. Koga
    • 学会等名
      The XXXII edition of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2015)
    • 発表場所
      Iasi, Romania
    • 年月日
      2015-07-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Bispectrum analysis of fluctuation of nanoparticle amount in amplitude modulated capacitively-coupled discharge plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, T. Ito, K. Koga, M. Soejima, D. Yamashita, H. Seo, N. Itagaki, T. Kobayashi, S. Inagaki
    • 学会等名
      The XXXII edition of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG2015)
    • 発表場所
      Iasi, Romania
    • 年月日
      2015-07-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] プラズマによるナノ粒子の合成と凝集・輸送制御2015

    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-12
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] プロセシングプラズマを用いたIV族半導体ナノ粒子の作製と太陽電池への応用2015

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 内田儀一郎, 徐鉉雄, 白谷正治
    • 学会等名
      平成26年度 東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会「プラズマナノバイオ・医療の基礎研究」
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2015-02-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Temporal development of nonlinear coupling between radicals and nanoparticles in reactive plasmas2015

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Ito, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      The 75th IUVSTA Workshop on Sheath Phenomena in Plasma Processing of Advanced Materials
    • 発表場所
      Hotel Raj, Cerkljena Gorenjskem
    • 年月日
      2015-01-20
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] プラズマナノプロセシングにおける揺らぎ抑制のための戦略2014

    • 著者名/発表者名
      白谷正治, 古閑一憲, 徐鉉雄, 板垣奈穂
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館、横浜情報文化センター
    • 年月日
      2014-12-11
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] ラジカル密度摂動によるナノ粒子とラジカルのカップリング解析2014

    • 著者名/発表者名
      古閑一憲, 伊東鉄平, 徐鉉雄, 板垣奈穂, 白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      朱鷹メッセ, 新潟
    • 年月日
      2014-11-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] プロセスプラズマにおけるナノ粒子の成長とその制御2014

    • 著者名/発表者名
      白谷正治
    • 学会等名
      Plasma Conference 2014
    • 発表場所
      朱鷹メッセ, 新潟
    • 年月日
      2014-11-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Quantum characterization of Si nano-particles fabricated by multi-hollow discharge plasma chemical vapor deposition2014

    • 著者名/発表者名
      H. Seo, G. Uchida, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      Global Photovoltaic Conference 2014
    • 発表場所
      BEXCO Convention center, Busan
    • 年月日
      2014-11-11
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Modulation frequency dependence of bispectrum of laser light scattering intensity from nanoparticles formed in reactive plasmas2014

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, D. Yamashita, H. Seo, K. KamatakiI, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani
    • 学会等名
      67th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 発表場所
      Raleigh Convention Center, North Carolina
    • 年月日
      2014-11-05
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Effects of amplitude modulated VHF discharge on coupling between plasmas and nanoparticles2014

    • 著者名/発表者名
      K. Koga, T. Ito, K. Kamataki, H. Seo, N. Itagaki, and M. Shiratani
    • 学会等名
      24th International Toki Conference
    • 発表場所
      Ceratopia Toki, Toki-city, Gifu
    • 年月日
      2014-11-05
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Nanopartilce Composite Plasma CVD Films and Some Applications2014

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, K. Koga
    • 学会等名
      2014 ECS and SMEQ Joint International Meeting
    • 発表場所
      Moon Palace Resort, Cancun
    • 年月日
      2014-10-07
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] マルチホロー放電プラズマCVDによるSi量子ドットの作製と新太陽電池への応用研究2014

    • 著者名/発表者名
      徐鉉雄, 橋本慎史, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成26年度(第67回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      鹿児島大学
    • 年月日
      2014-09-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Si量子ドットを用いたハイブリッド型太陽電池の研究2014

    • 著者名/発表者名
      橋本慎史, 市田大樹, 徐鉉雄, 内田儀一郎, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治
    • 学会等名
      平成26年度(第67回)電気・情報関係学会九州支部連合大会
    • 発表場所
      鹿児島大学
    • 年月日
      2014-09-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] In-situ Measurements of Volume Fraction of clusters in Films During Plasma CVD2014

    • 著者名/発表者名
      M. Shiratani, S. Toko, K. Koga, N. Itagaki, H. Seo
    • 学会等名
      International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films(ICMCTF 2014)
    • 発表場所
      Town & Country Resort Hotel, San Diego
    • 年月日
      2014-05-01
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [備考] プラズマ工学研究室

    • URL

      http://plasma.ed.kyushu-u.ac.jp/index.html

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書 2017 実績報告書
  • [備考] プラズマ工学研究室

    • URL

      http://plasma.ed.kyushu-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書 2015 実績報告書 2014 実績報告書
  • [産業財産権] カーボンナノ粒子の製造方法2018

    • 発明者名
      古閑一憲、他8名
    • 権利者名
      古閑一憲、他8名
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2018-158138
    • 出願年月日
      2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2022-02-01  

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