次世代三次元形状の高精度化のための三次元計測における不確かさ推定手法の実用化

• 研究課題/領域番号: 26249006
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 高増 潔 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (70154896)
• 研究分担者: 高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
• 研究期間 (年度): 2014-04-01 – 2019-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2018年度)
• 配分額: 29,900千円 (直接経費: 23,000千円、間接経費: 6,900千円); 2018年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円); 2017年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円); 2016年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円); 2015年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円); 2014年度: 6,890千円 (直接経費: 5,300千円、間接経費: 1,590千円)
• キーワード: 座標計測 / ナノメートル計測 / 光計測 / 三次元形状測定 / 不確かさ推定

研究成果の概要

次世代ものづくりにおいて，製作する部品の形状精度を向上するためには，ナノスケールでの三次元形状測定が不可欠となる．
本研究では，誤差分離や自己校正を利用した不確かさ推定理論の体系化を行った．これを三次元測定機および半導体計測装置の不確かさ解析へ適用し，実験的な実証により有効性を確認した．さらに，光学的三次元測定システムに不確かさ推定手法を適用し，自己校正によりサブナノメートルの不確かさで形状測定が可能なことを実験的に実証した．
以上のように，精密計測における次世代三次元形状の高精度化のために，不確かさ推定手法を実用化できた．

研究成果の学術的意義や社会的意義

ナノスケールの精度を持つ三次元形状計測における測定の不確かさの評価は，次世代のものづくりの高度化に不可欠である．学術的には，本研究で開発した形状測定装置，自己校正手法，不確かさ推定手法は，他の測定システムへの適用が可能で波及効果が大きい．社会的には，日本のものづくりの優位性を活かしながら製作する部品の形状精度をナノスケール化することで，機械部品，半導体，光素子に高付加価値な機能を付与するナノスケールものづくりへの展開が可能となった．

研究成果

• [雑誌論文] A new measurement method to simultaneously determine group refractive index and thickness of a sample using low-coherence tandem interferometry (2019)
  • 著者名/発表者名: Winarno Agustinus、Takahashi Satoru、Matsumoto Hirokazu、Takamasu Kiyoshi
  • 雑誌名: Precision Engineering 巻: 55 ページ: 254-259
  • DOI: 10.1016/j.precisioneng.2018.09.013
  • 査読あり
• [雑誌論文] Comparative evaluation of estimation of step gauge measurement uncertainty via Monte Carlo simulation (2019)
  • 著者名/発表者名: Miura Yuka、Nakanishi Shoichi、Higuchi Eiichi、Takamasu Kiyoshi、Abe Makoto、Sato Osamu
  • 雑誌名: Precision Engineering 巻: 55 ページ: 390-396
  • DOI: 10.1016/j.precisioneng.2018.10.007
  • 査読あり
• [雑誌論文] Comparative evaluation of estimation of hole plate measurement uncertainty via Monte Carlo simulation (2019)
  • 著者名/発表者名: Miura Yuka、Nakanishi Shoichi、Higuchi Eiichi、Takamasu Kiyoshi、Abe Makoto、Sato Osamu
  • 雑誌名: Precision Engineering 巻: 56 ページ: 496-505
  • DOI: 10.1016/j.precisioneng.2019.02.007
  • 査読あり
• [雑誌論文] 組み替えおよび分解可能な超音波検査ロボットの開発と校正手法の提案 (2018)
  • 著者名/発表者名: Matsuno Shigeru、Numata Takashi、Iwahashi Toshihide、Takamasu Kiyoshi、Kotani Kiyoshi、Jimbo Yasuhiko
  • 雑誌名: 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 巻: 138 号: 9 ページ: 1133-1140
  • DOI: 10.1541/ieejeiss.138.1133
  • NAID: 130007479917
  • ISSN: 0385-4221, 1348-8155
  • 年月日: 2018-09-01
  • 査読あり
• [雑誌論文] Whispering Gallery Mode共振を用いたマイクロ球の直径計測 (2018)
  • 著者名/発表者名: MICHIHATA Masaki、CHU Bohuai、ZHAO Zheng、HAYASHI Kohei、TAKAMASU Kiyoshi、TAKAHASHI Satoru
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 84 号: 1 ページ: 77-84
  • DOI: 10.2493/jjspe.84.77
  • NAID: 130006301970
  • ISSN: 0912-0289, 1882-675X
  • 年月日: 2018-01-05
  • 査読あり
• [雑誌論文] In-Process Measurement of Thickness of Cured Resin in Evanescent-Wave-Based Nano-stereolithography Using Critical Angle Reflection (2018)
  • 著者名/発表者名: Kong Deqing、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
  • 雑誌名: Nanomanufacturing and Metrology 巻: 1 号: 2 ページ: 112-124
  • DOI: 10.1007/s41871-018-0013-z
  • 査読あり
• [雑誌論文] Modified Linnik microscopic interferometry for quantitative depth evaluation of diffraction-limited microgroove (2018)
  • 著者名/発表者名: Ye Shiwei、Takahashi Satoru、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi
  • 雑誌名: Measurement Science and Technology 巻: 29 号: 5 ページ: 054011-054011
  • DOI: 10.1088/1361-6501/aab008
  • 査読あり
• [雑誌論文] Linewidth roughness of advanced semiconductor features using focused ion beam and planar-transmission electron microscope as reference metrology (2018)
  • 著者名/発表者名: Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru、Kawada Hiroki、Ikota Masami
  • 雑誌名: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 巻: 17 号: 04 ページ: 1-1
  • DOI: 10.1117/1.jmm.17.4.041010
  • 査読あり
• [雑誌論文] One-shot stereolithography for biomimetic micro hemisphere covered with relief structure (2018)
  • 著者名/発表者名: Suzuki Yuki、Suzuki Kunikazu、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
  • 雑誌名: Precision Engineering 巻: 54 ページ: 353-360
  • DOI: 10.1016/j.precisioneng.2018.07.004
  • 査読あり
• [雑誌論文] Surface Imaging Technique by an Optically Trapped Microsphere in Air Condition (2018)
  • 著者名/発表者名: Michihata Masaki、Kim Jonggang、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Mizutani Yasuhiro、Takaya Yasuhiro
  • 雑誌名: Nanomanufacturing and Metrology 巻: 1 号: 1 ページ: 32-38
  • DOI: 10.1007/s41871-018-0004-0
  • 査読あり
• [雑誌論文] 温度環境を考慮した三次元測定機の高度化 (2018)
  • 著者名/発表者名: 大西 徹、高増 潔
  • 雑誌名: 設計工学 巻: 53 号: 4 ページ: 313-322
  • DOI: 10.14953/jjsde.2017.2749
  • NAID: 130006639076
  • ISSN: 0919-2948, 2188-9023
  • 査読あり
• [雑誌論文] Noncontact method of point-to-point absolute distance measurement using tandem low-coherence interferometry (2018)
  • 著者名/発表者名: Winarno Agustinus、Masuda Shusei、Takahashi Satoru、Matsumoto Hirokazu、Takamasu Kiyoshi
  • 雑誌名: Measurement Science and Technology 巻: 29 号: 2 ページ: 025006-025006
  • DOI: 10.1088/1361-6501/aaa16e
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-Precision Aspheric Surface Measurement Using Scanning Deflectometry: Three-Dimensional Error Analysis and Experiments (2017)
  • 著者名/発表者名: Hu Tingzhi、Xiao Muzheng、Wang Xicheng、Wang Chao、Zhang Zhijing、Takamasu Kiyoshi
  • 雑誌名: International Journal of Automation Technology 巻: 11 号: 5 ページ: 728-735
  • DOI: 10.20965/ijat.2017.p0728
  • NAID: 130007505964
  • ISSN: 1881-7629, 1883-8022
  • 年月日: 2017-09-05
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] A Simulation Study of Plasmonic Substrate for In-Process Measurement of Refractive Index in Nano-Stereolithography (2017)
  • 著者名/発表者名: Michihata Masaki、Kong Deqing、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
  • 雑誌名: International Journal of Automation Technology 巻: 11 号: 5 ページ: 772-780
  • DOI: 10.20965/ijat.2017.p0772
  • NAID: 130007505873
  • ISSN: 1881-7629, 1883-8022
  • 年月日: 2017-09-05
  • 査読あり
• [雑誌論文] Scanning dimensional measurement using laser-trapped microsphere with optical standing-wave scale (2017)
  • 著者名/発表者名: Michihata Masaki、Ueda Shin-ichi、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Takaya Yasuhiro
  • 雑誌名: Optical Engineering 巻: 56 号: 06 ページ: 064103-064103
  • DOI: 10.1117/1.oe.56.6.064103
  • 査読あり
• [雑誌論文] Theoretical analyses of in-process depth measurements of fine microgrooves based on near-field optical response (2017)
  • 著者名/発表者名: Takahashi S.、Jin C.、Ye S.、Michihata M.、Takamasu K.
  • 雑誌名: CIRP Annals 巻: 66 号: 1 ページ: 503-506
  • DOI: 10.1016/j.cirp.2017.04.064
  • 査読あり
• [雑誌論文] Calibration for the sensitivity of multi-beam angle sensor using cylindrical plano-convex lens (2016)
  • 著者名/発表者名: Chen Meiyun、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi
  • 雑誌名: Precision Engineering 巻: 46 ページ: 254-262
  • DOI: 10.1016/j.precisioneng.2016.05.004
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Is the Two-Color Method Superior to Empirical Equations in Refractive Index Compensation? (2016)
  • 著者名/発表者名: Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
  • 雑誌名: Optics and Photonics Journal 巻: 2016 (6) 号: 08 ページ: 8-13
  • DOI: 10.4236/opj.2016.68b002
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Multi-beam angle sensor for flatness measurement of mirror using circumferential scan technology (2016)
  • 著者名/発表者名: Chen Meiyun、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi
  • 雑誌名: International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 巻: 17 号: 9 ページ: 1093-1099
  • DOI: 10.1007/s12541-016-0133-6
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Non-contact precision profile measurement to rough-surface objects with optical frequency combs (2016)
  • 著者名/発表者名: Onoe Taro、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Matsumoto Hirokazu
  • 雑誌名: Measurement Science Technology 巻: 27 号: 12 ページ: 124002-124002
  • DOI: 10.1088/0957-0233/27/12/124002
  • 査読あり
• [雑誌論文] Non-contact measurement technique for dimensional metrology using optical comb (2016)
  • 著者名/発表者名: Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 雑誌名: Measurement 巻: 78 ページ: 381-387
  • DOI: 10.1016/j.measurement.2015.07.053
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Automatic Recording Absolute Length-Measuring System with Fast Optical-Comb Fiber Interferometer (2015)
  • 著者名/発表者名: Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
  • 雑誌名: International Journal of Automation Technology 巻: 9 号: 5 ページ: 482-486
  • DOI: 10.20965/ijat.2015.p0482
  • NAID: 130007674121
  • ISSN: 1881-7629, 1883-8022
  • 年月日: 2015-09-05
  • 査読あり
• [雑誌論文] Verification of the positioning accuracy of industrial coordinate measuring machine using optical-comb pulsed interferometer with a rough metal ball targetOriginal Research Article (2015)
  • 著者名/発表者名: Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 雑誌名: Precision Engineering 41 巻: 41 ページ: 63-67
  • DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.01.007
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Concept for laser-assisted nano removal beyond the diffraction limit using photocatalyst nanoparticles (2015)
  • 著者名/発表者名: S. Takahashi, Y. Horita, F. Kaji, Y. Yamaguchi, M. Michihata, K. Takamasu
  • 雑誌名: CIRP Annals - Manufacturing Technology 巻: 未定 号: 1 ページ: 201-204
  • DOI: 10.1016/j.cirp.2015.04.041
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究 (第3報) (2015)
  • 著者名/発表者名: 工藤良太, 高橋哲, 高増潔
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 81 号: 6 ページ: 562-569
  • DOI: 10.2493/jjspe.81.562
  • NAID: 130005074035
  • ISSN: 0912-0289, 1882-675X
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] レーザー集光点近傍における光触媒反応を利用した三次元微細構造創製に関する研究 (2015)
  • 著者名/発表者名: 堀田陽亮，吉越久倫，松田恵介，道畑正岐，高増潔，高橋哲
  • 雑誌名: 日本機械学会論文集 巻: 81 号: 832 ページ: 15-00309-15-00309
  • DOI: 10.1299/transjsme.15-00309
  • NAID: 130005118095
  • ISSN: 2187-9761
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Development of high-precision micro-roundness measuring machine using a high-sensitivity and compact multi-beam angle sensor (2015)
  • 著者名/発表者名: Meiyun Chen, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 雑誌名: Precision Engineering 巻: 42 ページ: 276-282
  • DOI: 10.1016/j.precisioneng.2015.05.009
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究（第4報） (2015)
  • 著者名/発表者名: 工藤良太, 高橋哲, 高増潔
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 81 号: 7 ページ: 684-691
  • DOI: 10.2493/jjspe.81.684
  • NAID: 130005084685
  • ISSN: 0912-0289, 1882-675X
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] A novel dark field in-process optical inspection method for micro-openings on mirrored surfaces beyond the diffraction limit using active phase control (2014)
  • 著者名/発表者名: S. Takahashi, H. Yokozeki, D. Fujii, R. Kudo, K. Takamasu
  • 雑誌名: CIRP Annals - Manufacturing Technology 巻: 63 号: 1 ページ: 465-468
  • DOI: 10.1016/j.cirp.2014.03.035
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Profile measurement of aspheric surfaces using scanning deflectometry and rotating autocollimator with wide measuring range (2014)
  • 著者名/発表者名: Kyohei Ishikawa, Tomohiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 雑誌名: Measurement Science and Technology 25 (6) 巻: 25 (6) 号: 6 ページ: 0640081-7
  • DOI: 10.1088/0957-0233/25/6/064008
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Performance evaluation of a coordinate measuring machine’s axis using a high-frequency repetition mode of a mode-locked fiber laser (2014)
  • 著者名/発表者名: Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
  • 雑誌名: International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 15 (8) 巻: 15 (8) 号: 8 ページ: 1507-1512
  • DOI: 10.1007/s12541-014-0498-3
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Two-color absolute length measuring method based on pulse repetition interval lengths (2014)
  • 著者名/発表者名: Wei, Dong Aketagawa, Masato Takamasu, Kiyoshi Matsumoto, Hirokazu
  • 雑誌名: Optical Engineering 巻: 53 号: 12 ページ: 1224131-5
  • DOI: 10.1117/1.oe.53.12.122413
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [学会発表] Linewidth and Roughness Measurement of SAOP by Using FIB and Planer-TEM as Reference Metrology (2019)
  • 著者名/発表者名: Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Stefan Decoster, Frederic Lazzarino, Gian Lorusso
  • 学会等名: SPIE Advanced Lithography, San Jose, USA
  • 国際学会
• [学会発表] In-Process Measurement of Resin's Curing Degree in Micro-Stereolithography Using Internal Reflection at Critical Angle (2018)
  • 著者名/発表者名: D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
  • 学会等名: XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Improvement of Quantitative Depth Evaluation for Diffraction-Limited Microgroove Using LED Light Source (2018)
  • 著者名/発表者名: Ye Shiwei1, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Basic Study on Laser Additive Processing for Nanostructures Based on Optical Trapping Potential (2018)
  • 著者名/発表者名: Masahiro Hayashi, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Scattered Field Analysis for Diameter Measurement of Tapered Optical Fiber Under Counter-Propagating-Beam Illumination (2018)
  • 著者名/発表者名: Zheng Zhao, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Analysing Tapered Fiber-Microsphere Coupling for Diameter Measurement of Microsphere Using Whispering Gallery Mode Resonance (2018)
  • 著者名/発表者名: Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Investigation of Super-Resolution Microscopy by Use of a Nano-Patterned Substrate (2018)
  • 著者名/発表者名: Ryoko Sakuma, Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Absolute Measurement of Optical Path Length of the Three-Dimensional Nanoprofiler Based on the Normal Vector Tracing Method by Tandem White Light Interferometer (2018)
  • 著者名/発表者名: Jungmin Kang, Takao Kitayama, Ryo Kizaki, Yui Toyoshi, Agustinus Winarno, Kiyoshi Takamasu, Kazuya Yamamura, Katsuyoshi Endo
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] In-Situ Measurement of the Refractive Index and Geometrical Length for Determining the Location of Optical Part Using a Tandem Low-Coherence Interferometry (2018)
  • 著者名/発表者名: Agustinus Winarno, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Development of a Laser Tracker Using Absolute Length Measurement Technique by an Optical Comb Pulsed Interferometer (2018)
  • 著者名/発表者名: Shusei Masuda, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Self-Calibration Method of Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface (2018)
  • 著者名/発表者名: Tomohiko Takamura, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Non-Contact High Speed Measurements of the Processed-Product Shape Using New Optical Comb Interferometer (2018)
  • 著者名/発表者名: Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control (2018)
  • 著者名/発表者名: Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography (2018)
  • 著者名/発表者名: Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
  • 国際学会
• [学会発表] Line Width Roughness of Advanced Semiconductor Features by Using FIB and Planar-TEM as Reference Metrology (2018)
  • 著者名/発表者名: Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota
  • 学会等名: SPIE Advanced Lithography, San Jose, USA
  • 国際学会
• [学会発表] Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position (2017)
  • 著者名/発表者名: Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: CLEO2017, San Jose, USA
  • 国際学会
• [学会発表] Accuracy Improvement in Diameter Measurement of Microsphere Based on Whispering Gallery Mode (2017)
  • 著者名/発表者名: Masaki Michihata, Bohuai Chu, Zhao Zheng, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: 59th Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany
  • 国際学会
• [学会発表] Evaluation Strategy of Spheroidal Distortion for Micro-Sphere Based on Whispering Gallery Mode Resonance (2017)
  • 著者名/発表者名: K.Hayashi, B. Chu, Z. Zhao, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
  • 学会等名: 59th Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany
  • 国際学会
• [学会発表] Experimental verification of a novel in-process depth measurements of diffraction limited micro-groove based on near-field optical response (2017)
  • 著者名/発表者名: Shiwei Ye, Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
  • 国際学会
• [学会発表] Development of nanoparticle detection method based on a new principle combining volatile liquid and optical observation method: Study of highly sensitive optical detection system (2017)
  • 著者名/発表者名: Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
  • 国際学会
• [学会発表] Coordinate measuring machine verification using an optical comb probe with ball-lens targets (2017)
  • 著者名/発表者名: Shohei Hara, Winarno Agustinus, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
  • 国際学会
• [学会発表] In-process measurement on the thickness of photosensitive resin in evanescent wave-based nano-stereolithography (2017)
  • 著者名/発表者名: Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
  • 国際学会
• [学会発表] Non-contact method of an absolute length measurement between two ball-lenses using a tandem low-coherence interferometer (2017)
  • 著者名/発表者名: Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
  • 国際学会
• [学会発表] Numerical investigation on refractive index compensation performance of three-color method (2017)
  • 著者名/発表者名: Dong Wei, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
  • 学会等名: ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
  • 国際学会
• [学会発表] High sensitive and super resolution optical inspection of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave (2017)
  • 著者名/発表者名: Satoru Takahashi
  • 学会等名: ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] New Developments for Next-generation Precision Engineering Opened with Localized Light Energy Control (2017)
  • 著者名/発表者名: Satoru Takahashi
  • 学会等名: ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface (2017)
  • 著者名/発表者名: Xiang Guo, Satoru Takahashi, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
  • 国際学会
• [学会発表] The Development of an Absolute Internal Distance Measurement Between Two Ball Lenses Within Sub-Micro Accuracy (2017)
  • 著者名/発表者名: Agustinus Winarno, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
  • 国際学会
• [学会発表] Accuracy Evaluation of Optical Comb Probe for Coordinate Measuring Machines Verification (2017)
  • 著者名/発表者名: Shohei Hara, Winarno Agustinus, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
  • 国際学会
• [学会発表] Monitor Resin Curing Degree for In-process Measurement in Micro-stereolithography (2017)
  • 著者名/発表者名: Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
  • 国際学会
• [学会発表] Precision Profile Measurement for Small Aspheric Optical Surface by an Multi-beam Angle Sensor (2017)
  • 著者名/発表者名: Jumpei Miyachi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
  • 国際学会
• [学会発表] Thoretical Analysis of Multi-Beam Interference Lithography Combining Evanescent and Propagation Light (2017)
  • 著者名/発表者名: Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
  • 国際学会
• [学会発表] Double Imaging Micro-Stereolithography for One-Shot Curing of Surface Micro-Structure Unit (2017)
  • 著者名/発表者名: Yuki Matsumoto, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
  • 国際学会
• [学会発表] 3D-Profile Measurement of Advanced Semiconductor Features by Using FIB as Reference Metrology (2017)
  • 著者名/発表者名: Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota
  • 学会等名: SPIE Advanced Lithography
  • 国際学会
• [学会発表] Non-Contact Remote Measurement of Internal Distance Between Two Plane Mirrors by Using a Tandem Low-Coherence Interferometer (2017)
  • 著者名/発表者名: Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo
  • 学会等名: ASPEN/ASPE 2017, Spring Topical Meeting Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications
  • 国際学会
• [学会発表] High-Accuracy Absolute Length Measurement Using Optical-Comb Pulsed Interferometer and Its Application for Verification of Coordinate Measuring Machines (2017)
  • 著者名/発表者名: Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ASPEN/ASPE 2017, Spring Topical Meeting Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] 3D-Profile Measurement of Advanced (2016)
  • 著者名/発表者名: Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Gian F. Lorusso, Naoto Horiguchi
  • 学会等名: SPIE Advanced Lithography 2016
  • 発表場所: San Jose (USA)
  • 年月日: 2016-02-22
  • 国際学会
• [学会発表] Evanescent Light Exposing System under Nitrogen Purge for Nano-Stereolithography (2016)
  • 著者名/発表者名: Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: 18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining
  • 国際学会
• [学会発表] Precision absolute distance measurement technique onto rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb (2016)
  • 著者名/発表者名: Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
  • 学会等名: euspen2016, 16th International Conference & Exhibition
  • 国際学会
• [学会発表] Development of 3D form measurement of semiconductor structure - Measurement of FinFET profile using TEM and CD-SEM images (2016)
  • 著者名/発表者名: Yuki Iwaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: euspen2016, 16th International Conference & Exhibition
  • 国際学会
• [学会発表] High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation of Dynamic Interaction with Defects (2016)
  • 著者名/発表者名: Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: CLEO2016, Conference on Lasers and Electro-Optics
  • 国際学会
• [学会発表] Development of non-destructive optical depth measurement of sub-diffraction limit fine holes (2016)
  • 著者名/発表者名: Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: nanoMan2016, 5th International Conference on Nanomanufacturing
  • 国際学会
• [学会発表] Proposal of in-process measurement for micro-stereolithography using surface plasmon resonance (2016)
  • 著者名/発表者名: Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: LANE2016, 9th International Conference on Photonic Technologies
  • 国際学会
• [学会発表] Theoretical analysis of improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position (2016)
  • 著者名/発表者名: Shuzo Masui, Yosuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ASPE2016, 31st ASPE Annual Meeting
  • 国際学会
• [学会発表] Omnidirectional one-shot exposure micro-stereolithography for biomimetic hemisphere with micro structured surface (2016)
  • 著者名/発表者名: Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ASPE2016, 31st ASPE Annual Meeting
  • 国際学会
• [学会発表] A tunable surface-plasmon-resonance substrate for in-process measurement of micro-stereolithography (2016)
  • 著者名/発表者名: Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
  • 国際学会
• [学会発表] Improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position (2016)
  • 著者名/発表者名: Shuzou Masui, Yosuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
  • 国際学会
• [学会発表] Optical detection of fine particulate defects by autonomous searching liquid probe: Theoretical design of high sensitive phase detection system (2016)
  • 著者名/発表者名: Kazuki Tachibana, Shouhei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
  • 国際学会
• [学会発表] Calibration of refractive index in microsphere diameter measurement based on analysis of polarized whispering gallery mode (2016)
  • 著者名/発表者名: Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
  • 国際学会
• [学会発表] Precise alignment monitor by using optical frequency comb for the muon g-2/EDM experiment at J-PARC (2016)
  • 著者名/発表者名: Tatsuya Kume, Tsutomu Mibe, Shoichiro Nishimura, Mikio Sakurai, Yutaro Satoh, Wiroj Sudatham, Kiyoshi Takamasu, Hiromasa Yasuda
  • 学会等名: IWAA2016, International Workshop on Accelerator Alignment
  • 国際学会
• [学会発表] Non-Destructive Optical Depth Inspection of Sub-Diffraction Limit Fine Holes -Theoretical analysis of optical responses based on FDTD method- (2016)
  • 著者名/発表者名: Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
  • 国際学会
• [学会発表] Fabrication of Functional Microstructures by Multi-Beam Interference Lithography Using Evanescent Light (2016)
  • 著者名/発表者名: Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
  • 国際学会
• [学会発表] In-process measurement for micro-stereolithography using surface plasmon resonance (2016)
  • 著者名/発表者名: Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
  • 国際学会
• [学会発表] Optical Detection of Fine Particulate Defects with Autonomous Search-and-split Liquid Probe -Characteristics analysis of optical detection- (2016)
  • 著者名/発表者名: Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
  • 国際学会
• [学会発表] Non-contact Precision Profile Measurement to Rough Surface Objects with Optical Frequency Combs (2016)
  • 著者名/発表者名: Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
  • 学会等名: ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
  • 国際学会
• [学会発表] Development of Advanced Measurement Method of 3D Semiconductor Structure - 3D-Profile Measurement of FinFET using CD-SEM and TEM Images - (2016)
  • 著者名/発表者名: Yuki Iwaki, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
  • 国際学会
• [学会発表] High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe (2015)
  • 著者名/発表者名: Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
  • 発表場所: 京都リサーチパーク（京都府・京都市）
  • 年月日: 2015-10-18
  • 国際学会
• [学会発表] Improvement of lateral shape controlling with nitrogen purge for nano-stereolithography using evanescent light (2015)
  • 著者名/発表者名: Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
  • 発表場所: 京都リサーチパーク（京都府・京都市）
  • 年月日: 2015-10-18
  • 国際学会
• [学会発表] Fundamental study on fabrication of multi-functional micro device based on micro-beads using photocatalytic reaction (2015)
  • 著者名/発表者名: Yosuke Horita, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
  • 学会等名: 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015),
  • 発表場所: Harbin (China)
  • 年月日: 2015-09-22
  • 国際学会
• [学会発表] Non-contact precision profile measurement to rough surface objects with optical frequency combs (2015)
  • 著者名/発表者名: Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
  • 学会等名: 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
  • 発表場所: Taipei (Taiwan)
  • 年月日: 2015-09-22
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Super-Resolution Optical Measurement Method Using Standing Wave Illumination with Three-Beam Interference (2015)
  • 著者名/発表者名: Hiromasa Kume, Hiroki Yokozeki, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
  • 発表場所: Taipei (Taiwan)
  • 年月日: 2015-09-22
  • 国際学会
• [学会発表] Self Calibration Method for Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface (2015)
  • 著者名/発表者名: Yumi Iwago, Tomohiko Takamura, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: 12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
  • 発表場所: Taipei (Taiwan)
  • 年月日: 2015-09-22
  • 国際学会
• [学会発表] 知的計測技術によるナノスケール三次元形状測定 (2015)
  • 著者名/発表者名: 高増潔
  • 学会等名: 精密測定展2015，精密測定セミナー
  • 発表場所: パシフィコ横浜（神奈川県・横浜市）
  • 年月日: 2015-06-09
  • 招待講演
• [学会発表] Absolute precision measurement for space coordinates metrology using an optical-comb pulsed interferometer with a ball lens target (2015)
  • 著者名/発表者名: Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: 15th euspen International Conference (euspen2015)
  • 発表場所: Leuven (Belgium)
  • 年月日: 2015-06-01
  • 国際学会
• [学会発表] Roundness measurement machine using multi-beam angle sensor - experimental verification of multi-beam angle sensor (2015)
  • 著者名/発表者名: Chen Meiyun, Genki Miyazaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: 15th euspen International Conference (euspen2015)
  • 発表場所: Leuven (Belgium)
  • 年月日: 2015-06-01
  • 国際学会
• [学会発表] Line Profile Measurement of Advanced-FinFET Features by Reference Metrology (2015)
  • 著者名/発表者名: Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Atsuko Yamaguchi, Gian F. Lorusso, Naoto Horiguchi
  • 学会等名: SPIE Advanced Lithography
  • 発表場所: San Jose (USA)
  • 年月日: 2015-02-23
  • 国際学会
• [学会発表] Non-Contact Measurement Technique for Dimensional Metrology Using Optical Comb (2014)
  • 著者名/発表者名: Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: 11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry
  • 発表場所: つくば国際会議場（茨城県つくば市）
  • 年月日: 2014-09-02
  • 国際学会
• [学会発表] Measurement of Surface Roundness Using a Multi-Beam Angle Sensor (2014)
  • 著者名/発表者名: Meiyun Chen, Soichiro Ueda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
  • 学会等名: 11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry
  • 発表場所: つくば国際会議場（茨城県つくば市）
  • 年月日: 2014-09-02
  • 国際学会
• [学会発表] 参照計測ためのTEM画像を用いたレジストおよびFinFETの形状測定 (2014)
  • 著者名/発表者名: 高増潔
  • 学会等名: 次世代リソグラフィワークショップ2014
  • 発表場所: 東京工業大学蔵前会館（東京都目黒区）
  • 年月日: 2014-07-18
  • 招待講演
• [学会発表] Nanometer Profile Measurement of Aspheric Surface Using Scanning Deflectometry and Rotating Autocollimator: Self-Calibration Method of Autocollimator (2014)
  • 著者名/発表者名: Kiyoshi Takamasu, Kyohei Ishikawa, Tomihiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi
  • 学会等名: ASPE/ASPEN Summer Topical Meeting
  • 発表場所: Hawaii (USA)
  • 年月日: 2014-06-25
  • 国際学会
• [学会発表] トレーサビリティと精密測定の歴史，精密測定の条件，精密測定における測定不確かさ (2014)
  • 著者名/発表者名: 高増潔
  • 学会等名: 精密工学会/精密測定技術振興財団第367回講演会「“はかる”を知る，精密測定の理論と最新動向」
  • 発表場所: 東京大学本郷キャンパス（東京都文京区）
  • 年月日: 2014-06-16
  • 招待講演
• [学会発表] Precision measurement technique for rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb (2014)
  • 著者名/発表者名: Taro Onoe, Zongluo Yang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
  • 学会等名: 14th euspen International Conference
  • 発表場所: Dubrovnik (Croatia)
  • 年月日: 2014-06-02
  • 国際学会
• [学会発表] 記念講演・精密測定の今後 (2014)
  • 著者名/発表者名: 高増潔
  • 学会等名: 日本精密測定機器工業会 創立60周年記念講演会
  • 発表場所: ホテルアルジュール竹橋（東京都港区）
  • 年月日: 2014-05-21
  • 招待講演
• [学会発表] STEMによる半導体構造の形状測定 (2014)
  • 著者名/発表者名: 高増潔
  • 学会等名: 日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第167委員会第74回研究会
  • 発表場所: 産業技術総合研究所臨海f区都心センター（東京都江東区）
  • 年月日: 2014-04-24
  • 招待講演
• [備考] Takamasu - Takahashi Lab
  • URL: http://www.nanolab.t.u-tokyo.ac.jp/
• [備考] Takamasu - Takahashi Lab.
• [備考] 東京大学 高増・高橋研究室
• [備考] 東京大学 高増・高橋研究室
• [備考] www.nanolab.t.u-tokyo.ac.jp