研究課題
基盤研究(A)
申請者らがこれまで開発した広視野レーザ干渉計では，従来は計測が難しかった広い円筒全面のナノレベル形状計測を可能とした．しかし，レーザ干渉法では複数枚の干渉縞像を必要とする位相シフト法を用いる必要が広い表面計測では不便であった．本研究では，金属薄膜付き参照板を用いることで，1枚の干渉縞画像から表面形状を求めることができる簡便な新規方法を提案した．その測定原理を理論と実験の両面から調べ，広視野レーザ干渉計の測定原理の妥当性を示すことができた．さらに，この新原理に基づいて，表面形状をナノレベルで解析するプログラムを作成した．
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すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (8件)
精密工学会誌
巻: 82 ページ: 976-982
130005277751
