| 研究課題/領域番号 |
26286033
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 東洋大学 (2016)
東京大学 (2014-2015) |
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研究代表者 |
松本 潔 東洋大学, 理工学部, 教授 (10282675)
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| 研究分担者 |
野田 堅太郎 東京大学, 情報理工学(系)研究科, 特任助教 (00547482)
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| 連携研究者 |
藤川 久喜 株式会社豊田中央研究所, 戦略研究企画推進室, 主任研究員 (60394665)
大門 真 株式会社豊田中央研究所, 電波応用研究室, 副研究員 (70443819)
野村 壮史 株式会社豊田中央研究所, マルチフィジックスプログラム, 主任研究員 (80394823)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
15,730千円 (直接経費: 12,100千円、間接経費: 3,630千円)
2016年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2015年度: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2014年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
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| キーワード | 波面制御 / 誘電率分布 / 液体アクチュエータ / MEMS / マイクロ・ナノデバイス / NEMS |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、テラヘルツ波やミリ波の波面を制御するため、誘電体材料として液体を使用し、その形状を動的に変形させることで誘電体の厚みを変えて誘電率分布を制御するデバイスの研究開発を行った。MEMS技術を用いて、液体の厚みを大変形することができる流路付き液体アクチュエータデバイスを考案し、特性評価を行った。また、誘電率分布による電磁波の波面変形の解析を行い、波面の偏向、収束が行えることを確認した。さらに機能性デバイスとして、MEMS液体デバイスを応用した可変超音波レンズや、微細構造による波面制御デバイス等の研究開発を行った。
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