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原子からミクロンレベルまで観察可能な電子回折顕微法という新規結像分野の確立

研究課題

研究課題/領域番号 26286049
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関大阪大学

研究代表者

山崎 順  大阪大学, 超高圧電子顕微鏡センター, 准教授 (40335071)

研究分担者 佐々木 宏和  古河電気工業株式会社研究開発本部横浜研究所, その他部局等, 主席 (70649821)
連携研究者 田中 信夫  名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 特任教授 (40126876)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
15,990千円 (直接経費: 12,300千円、間接経費: 3,690千円)
2016年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2015年度: 7,800千円 (直接経費: 6,000千円、間接経費: 1,800千円)
2014年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
キーワード電子回折 / 位相イメージング / 回折顕微法 / 電子線 / 電子回折顕微法 / 制限視野回折 / 原子分解能 / ナノ電磁場
研究成果の概要

物質からの電子回折図形を用いた全く新しい位相イメージング法を開発した。これまで定量的な位相計測の妨げとなっていた様々な要素を洗い出して対処法を考案し、物質を透過した電子波動関数の位相分布を約0.1ラジアンの精度で結像する手法の確立に成功した。既存の位相計測手法(電子線ホログラフィー法)と比べての優位性と有効性、汎用性を明確に示す結果を得ることに成功した。また原子分解能での波動場再構成とそのフレネル伝播解析からナノスケールでの新たな三次元観察法の可能性を示すことに成功し, 原子レベルからミクロンレベルまでの様々な対象を観察可能な結像法開発を達成した。

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実績報告書
  • 2014 実績報告書
  • 研究成果

    (28件)

すべて 2016 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (23件) (うち国際学会 7件、 招待講演 6件) 図書 (1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] 電子回折位相イメージング法の開発とナノ電場の可視化2016

    • 著者名/発表者名
      山﨑 順, 島岡勇記, 佐々木宏和
    • 雑誌名

      まてりあ

      巻: 55 号: 12 ページ: 581-581

    • DOI

      10.2320/materia.55.581

    • NAID

      130005170196

    • ISSN
      1340-2625, 1884-5843
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Depth-resolution imaging of crystalline nanoclusters attached on and embedded in amorphous films using aberration-corrected TEM2015

    • 著者名/発表者名
      J. Yamasaki, M. Mori, Masayuki, A. Hirata, Y. Hirotsu, N. Tanaka
    • 雑誌名

      Ultramicroscopy

      巻: 151 ページ: 224-231

    • DOI

      10.1016/j.ultramic.2014.11.005

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 収差補正TEM像における高さ分解能と三次元ナノ構造情報の検出2014

    • 著者名/発表者名
      山崎 順
    • 雑誌名

      顕微鏡

      巻: 49 ページ: 216-221

    • NAID

      130007701743

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 電子回折図形に基づく位相イメージング法2016

    • 著者名/発表者名
      山﨑 順
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第59回シンポジウム
    • 発表場所
      帝京平成大学池袋キャンパス
    • 年月日
      2016-11-18
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Refined Phase Imaging by Electron Diffractive Imaging2016

    • 著者名/発表者名
      Jun Yamasaki, Yuki Shimaoka, and Hirokazu Sasaki
    • 学会等名
      Microscopy and Microanalysis 2016 Meeting
    • 発表場所
      Columbus, Ohio, USA
    • 年月日
      2016-07-24
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 電子線回折を用いた定量的位相イメージング法2016

    • 著者名/発表者名
      山﨑 順, 島岡 勇記, 佐々木 宏和
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第72回学術講演会
    • 発表場所
      仙台国際センター
    • 年月日
      2016-06-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 電子線回折位相イメージング法の高精度化2016

    • 著者名/発表者名
      島岡 勇記, 山﨑 順
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第72回学術講演会
    • 発表場所
      仙台国際センター
    • 年月日
      2016-06-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Developing Quantitative Phase Imaging by Electron Diffractive Imaging2016

    • 著者名/発表者名
      Jun Yamasaki, Yuki Shimaoka, and Hirokazu Sasaki
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Advanced Microscopy and Theoretical Calculations
    • 発表場所
      WINC Aichi, Nagoya, Japan
    • 年月日
      2016-05-11
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Analysis of GaAs compound semiconductors and the semiconductor laser diode using electron holography, Lorentz microscopy, electron diffraction microscopy and differential phase contrast STEM2016

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Sasaki, Shinya Otomo, Ryuichiro Minato, Junji Yoshida, Kazuo Yamamoto, Tsukasa Hirayama Jun Yamasaki and Naoya Shibata
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Advanced Microscopy and Theoretical Calculations
    • 発表場所
      WINC Aichi, Nagoya, Japan
    • 年月日
      2016-05-11
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Depth-Resolution Imaging of Crystalline Nano Clusters Using Aberration-Corrected TEM2015

    • 著者名/発表者名
      Jun Yamasaki, Akihiko Hirata, Yoshihiko Hirotsu, Kaori Hirahara and Nobuo Tanaka
    • 学会等名
      The 2nd East-Asia Microscopy Conference (EAMC2)
    • 発表場所
      姫路商工会議所、兵庫県姫路市
    • 年月日
      2015-11-24
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 電子線小角散乱を用いた回折位相イメージングの高精度化2015

    • 著者名/発表者名
      島岡 勇記, 山﨑 順
    • 学会等名
      日本物理学会 2015年秋季大会
    • 発表場所
      関西大学千里山キャンパス、大阪府吹田市
    • 年月日
      2015-09-16
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Analysis of GaAs compound semiconductors and the semiconductor laser diode using off-axis electron holography, Lorentz microscopy, electron diffraction microscopy and differential phase contrast2015

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Sasaki, Shinya Otomo, Ryuichiro Minato, Kazuo Yamamoto, Tsukasa Hirayama, Jun Yamasaki and Naoya Shibata
    • 学会等名
      Microscopy and Microanalysis 2015 Meeting
    • 発表場所
      Portland, USA
    • 年月日
      2015-08-02
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Reconstruction of Atomic Structures and Electric Fields of Nano Materials Using Electron Diffractive Imaging2015

    • 著者名/発表者名
      Jun Yamasaki
    • 学会等名
      International Conference on Electron Microscopy and XXXVI Annual Meeting of the Electron Microscope Society of India (EMSI-2015)
    • 発表場所
      Mumbai, India
    • 年月日
      2015-07-08
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Airyディスクを用いた電子線空間干渉性の計測と回折顕微法2015

    • 著者名/発表者名
      島岡 勇記, 山﨑 順
    • 学会等名
      科研費新学術領域研究「3D活性サイト科学」 春の学校
    • 発表場所
      奈良春日野国際フォーラム、奈良県奈良市
    • 年月日
      2015-05-30
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 収差補正TEMによる結晶性ナノクラスターの深さ分解能結像2015

    • 著者名/発表者名
      山﨑 順,平田 秋彦,弘津 禎彦,平原 佳織,田中信夫
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第71回記念学術講演会
    • 発表場所
      京都国際会館、京都府京都市
    • 年月日
      2015-05-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Airyディスクを用いた電子線空間干渉性の計測と回折顕微法2015

    • 著者名/発表者名
      島岡 勇記, 山﨑 順
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第71回記念学術講演会
    • 発表場所
      京都国際会館、京都府京都市
    • 年月日
      2015-05-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 各種電子顕微鏡法による半導体中の電位分布解析2015

    • 著者名/発表者名
      佐々木宏和、大友晋哉、山本和生、平山司、山﨑 順、柴田直哉
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第71回記念学術講演会
    • 発表場所
      京都国際会館、京都府京都市
    • 年月日
      2015-05-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Depth-resolution Imaging of Crystalline Nano Clusters on/in Amorphous Films Using Aberration-corrected TEM2015

    • 著者名/発表者名
      Jun Yamasaki, Masayuki Mori, Akihiko Hirata, Yoshihiko Hirotsu, Kaori Hirahara, and Nobuo Tanaka
    • 学会等名
      Third Conference on Frontiers of Aberration Corrected Electron Microscopy (PICO 2015)
    • 発表場所
      Kasteel Vaalsbroek, the Netherlands
    • 年月日
      2015-04-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 収差補正TEMによる深さ分解能結像2015

    • 著者名/発表者名
      山崎 順
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 超高分解能顕微法分科会 2014年度研究会
    • 発表場所
      マホロバ・マインズ三浦 (神奈川県)
    • 年月日
      2015-02-20 – 2015-02-21
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Electron Diffractive Imaging of Crystalline Structures and Electric Fields in/around Nano Materials2014

    • 著者名/発表者名
      Jun Yamasaki
    • 学会等名
      the 18th SANKEN International Symposium
    • 発表場所
      Knowledge Capital Congres Convention Center (大阪府)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-11
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 電子回折図形に基づくナノイメージング2014

    • 著者名/発表者名
      山崎 順
    • 学会等名
      第1回「3D活性サイト科学」公開ワークショップ
    • 発表場所
      CIVI研修センター新大阪東 (大阪府)
    • 年月日
      2014-11-21 – 2014-11-22
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Observation of electric field using electron diffractive imaging2014

    • 著者名/発表者名
      J. Yamasaki, K. Ohta, H. Sasaki, and N. Tanaka
    • 学会等名
      18th International Microscopy Congress (IMC 2014)
    • 発表場所
      Prague (チェコ)
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-12
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Electron Diffractive Imaging of Crystalline Structures and Electric Fields of Nano Materials2014

    • 著者名/発表者名
      Jun Yamasaki
    • 学会等名
      The 15th International Union of Materials Research Society - International Conference in Asia (IUMRS-ICA)
    • 発表場所
      Fukuoka University (福岡県)
    • 年月日
      2014-08-24 – 2014-08-30
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 電子線の空間コヒーレンス測定と電子線回折イメージング2014

    • 著者名/発表者名
      山崎 順
    • 学会等名
      日本放射光学会第6回若手研究会
    • 発表場所
      理研播磨SPring-8 (兵庫県)
    • 年月日
      2014-08-21 – 2014-08-22
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Phase Imaging by Electron Diffractive Imaging2014

    • 著者名/発表者名
      Jun Yamasaki
    • 学会等名
      Holo Workshop
    • 発表場所
      Dresden (ドイツ)
    • 年月日
      2014-06-10 – 2014-06-12
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 位相回復法を用いた半導体解析2014

    • 著者名/発表者名
      佐々木宏和、大友晋哉、山本和生、平山司、山崎 順、谷垣俊明、明石哲也
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第70回学術講演会
    • 発表場所
      幕張メッセ国際会議場 (千葉県)
    • 年月日
      2014-05-11 – 2014-05-13
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [図書] 機能構造科学入門 3D活性サイトと物質デザイン、4章1節「回折イメージング」2016

    • 著者名/発表者名
      郷原一寿, 山﨑 順, 塩谷浩之
    • 総ページ数
      19
    • 出版者
      丸善出版
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [備考] 電子回折顕微法の開発

    • URL

      http://www.uhvem.osaka-u.ac.jp/ele/custom2.html

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書 2015 実績報告書

URL: 

公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

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