| 研究課題/領域番号 |
26287066
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
物性Ⅰ
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| 研究機関 | 埼玉工業大学 |
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研究代表者 |
内田 正哉 埼玉工業大学, 付置研究所, 教授 (80462662)
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| 研究分担者 |
齋藤 晃 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 教授 (50292280)
下条 雅幸 芝浦工業大学, 工学部, 教授 (00242313)
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| 研究協力者 |
平川 和馬
南部 裕紀
野口 雄紀
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
17,160千円 (直接経費: 13,200千円、間接経費: 3,960千円)
2017年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2016年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2015年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2014年度: 10,790千円 (直接経費: 8,300千円、間接経費: 2,490千円)
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| キーワード | 電子ビーム / 量子ビーム / 電子顕微鏡 / 波動関数 / 位相 / 軌道角運動量 / 位相特異点 / 微細加工 / 粒子線 / ボルテックス（特異点） / 回折格子 / スピン / ベッセルビーム / 特異点 |
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| 研究成果の概要 |
本研究の最終目標は、電子ビームの波動関数（位相）を操作することにより従来の電子ビームにはない特性をもつ電子ビームを生成し、その制御技術を確立することであった。本研究では、円環スリットをもちいて電子ベッセルビームの生成に世界で初めて成功した。生成した電子ベッセルビームが、非回折性や自己修復性等の従来の電子ビームにはない特性をもつことも実験的に明らかにした。その特性ゆえ、「新規電子顕微鏡」「原子操作」等のための新規プローブとなることが期待される。さらに、本研究で示した電子ビーム用光学素子の開発を含めた革新的ビーム制御技術により、今後、様々な特性をもつ新規電子ビームが生成されることも期待される。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究の学術的意義は従来の電子ビームにない特性をもつ電子ビーム、すなわち電子ベッセルビームをスリットをもちいて世界で初めて実現したことにある。そのユニークなビーム特性を生かしての製品や研究が今後大いに期待される。さらに本研究で開発した電子ビーム波動関数を操作して行うビーム制御技術、超微細加工技術をもちいる電子ビーム用光学素子等の作製方法は、今後の後発研究の役に立つと思われる。
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