| 研究課題/領域番号 |
26289016
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
岩田 太 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (30262794)
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| 研究分担者 |
永津 雅章 静岡大学, 工学部, 教授 (20155948)
荻野 明久 静岡大学, 工学部, 准教授 (90377721)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
16,900千円 (直接経費: 13,000千円、間接経費: 3,900千円)
2016年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2015年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2014年度: 9,360千円 (直接経費: 7,200千円、間接経費: 2,160千円)
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| キーワード | 走査型プローブ顕微鏡 / ナノピペット / ナノ加工 / ナノ計測 / 大気圧プラズマ |
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| 研究成果の概要 |
大気圧プラズマジェット（APPJ）は親水化や殺菌、材料加工などへ応用されており、また真空環境を必要としない利便性から近年、活発に研究されている．我々はサブミクロンの開口を持つナノピペットプローブをAPPJのノズルとした走査型プローブ顕微鏡を用いた微細加工法を開発した．ナノピペットはシェアフォース制御することでナノスケールで表面近傍に先端を位置決め可能とし，表面に局所的に大気圧照射できる．この装置をもちいた微細加工のパフォーマンスとして，ヘリウムガスを使った大気圧プラズマを用いて，フォトレジスト表面の微細加工を実現した．
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