• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

紫外光励起研磨によるダイヤモンドウェハおよび工具の高度化技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 26289020
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関熊本大学

研究代表者

峠 睦  熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 教授 (00107731)

研究分担者 横井 裕之  熊本大学, 自然科学研究科, 准教授 (50358305)
久保田 章亀  熊本大学, 自然科学研究科, 准教授 (80404325)
研究協力者 岩本 知広  茨城大学, 工学部, 教授 (60311635)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
16,770千円 (直接経費: 12,900千円、間接経費: 3,870千円)
2016年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2015年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2014年度: 8,710千円 (直接経費: 6,700千円、間接経費: 2,010千円)
キーワードダイヤモンド / ダイシングブレード / PCD製切削工具 / 鋭利化 / 精密ツルーイング / 作用砥粒数 / 鏡面研削 / 高能率研削加工 / 紫外光励起研磨 / ダイヤモンドウェハ / ダイヤモンド製切削工具 / PCD / ダイヤモンド砥石 / 超硬 / 超精密研磨 / 工具刃先鋭利化 / 精密研削 / ダイヤモンド基板 / 鏡面研磨 / 刃先鋭利化 / 研磨機構(メカニズム) / 切削工具 / 研削砥石
研究成果の概要

紫外線照射研磨は約15年前に熊本大学精密加工学研究室で開発された全く新しい研磨法であり,紫外線照射下で石英を用いて単結晶ダイヤモンド基板が超精密研磨される.本研究はこの研磨法の研磨メカニズムを詳細に解明すると共に,この技術をダイヤモンド製の砥石,切削工具,金型,超薄型ダイシングブレードに応用展開することを目的としたものである.その結果,ダイヤモンド基板の研磨メカニズムはほぼ解明でき,作用砥粒数の大幅な増加による超精密研削用ダイヤモンド砥石の開発や鋭利な切れ刃を有するPCD製切削工具,厚さ50ミクロンのPCD製ダイシングブレードの開発に成功した.

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実績報告書
  • 2014 実績報告書
  • 研究成果

    (17件)

すべて 2017 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件、 オープンアクセス 8件、 謝辞記載あり 3件) 学会発表 (8件) (うち国際学会 1件) 学会・シンポジウム開催 (1件)

  • [雑誌論文] 紫外線照射研磨によるPCD製切削工具の高度化と切削性能2017

    • 著者名/発表者名
      和泉康夫,後藤健太,坂本武司,久保田章亀,峠  睦
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 61 ページ: 210-215

    • NAID

      130005679549

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] UVツルーイングした電着ダイヤモンド砥石の研削性能の向上2017

    • 著者名/発表者名
      柴元翔太郎,坂本武司,久保田章亀,峠  睦
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 61 ページ: 204-209

    • NAID

      130005679550

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 石英ツルーイングした小径軸付CBN砥石の研削性能2017

    • 著者名/発表者名
      宮本竜成,峠 直樹,坂本武司,久保田章亀,峠  睦
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 61

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] SiC半導体基板用PCDダイシングブレードの開発2016

    • 著者名/発表者名
      和泉康夫,藤田 隆,南 久,渡邉純二,峠  睦
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 60 ページ: 597-602

    • NAID

      130005679509

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Abrasive-Free Polishing of Single-Crystal 4H-SiC with Silica Glass Plates2015

    • 著者名/発表者名
      Akihisa Kubota, Yuta Hatasako, Takahiro Takita and Mutsumi Touge
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 4 ページ: 468-475

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Two-step polishing technique for single crystal diamond (100) substrate utilizing a chemical reaction with iron plate2015

    • 著者名/発表者名
      Akihisa Kubota, Shin Nagae, Shuya Motoyama and Mutsumi Touge
    • 雑誌名

      Diamond & Related Materials

      巻: 60 ページ: 75-80

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] デバイス用ダイヤモンドウェハのUVアシスト研磨に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      田川智彦,峠  睦,坂本武司,鹿田真一,山田英明,加藤有香子
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 80 ページ: 587-591

    • NAID

      130004745482

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 4インチSiC基板のUVアシスト研磨に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      坂本武司,稲木 匠,小田和明,峠  睦,藤田 隆
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌

      巻: 58 ページ: 235-240

    • NAID

      130004835707

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Development of Ductile mode grooving with PCD(Poly-Crystalline Diamond) Blade2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Izumi, M. Touge
    • 学会等名
      16th International Conference on Precision Engineering (ICPE2016)
    • 発表場所
      浜松市
    • 年月日
      2016-11-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Cutting Performance of PCD Tools Improved by Ultraviolet-ray Irradiation Polishing2016

    • 著者名/発表者名
      K. Goto, Y. Izumi, T. Sakamoto, A. Kubota, M. Touge
    • 学会等名
      International Committee for Abrasive Technology,ISAAT 2016
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 年月日
      2016-10-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 紫外線照射研磨を用いたPCD製工具の切削性能の改善2016

    • 著者名/発表者名
      後藤健太,和泉康夫,坂本武司,久保田章亀,峠 睦
    • 学会等名
      2016年度砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      兵庫県立大学
    • 年月日
      2016-08-31
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 石英ツルーイングしたCBN軸付砥石の研削性能評価とツルーイングメカニズムの解明2016

    • 著者名/発表者名
      宮本竜成,峠 直樹,坂本武司,久保田章亀,峠 睦
    • 学会等名
      2016年度砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      兵庫県立大学
    • 年月日
      2016-08-31
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] UVツルーイングによるダイヤモンド砥石の研削性能の向上と寿命評価2016

    • 著者名/発表者名
      柴元翔太郎,坂本武司,久保田章亀,峠 睦
    • 学会等名
      2016年度砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      兵庫県立大学
    • 年月日
      2016-08-31
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 石英を用いたCBN砥石の精密ツルーイングと研削性能2015

    • 著者名/発表者名
      藤林太郎,坂本武司,峠 直樹,峠  睦
    • 学会等名
      2015年度砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      慶應義塾大学
    • 年月日
      2015-09-11
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 紫外線照射研磨によるダイヤモンドホイール研削性能の高度化2014

    • 著者名/発表者名
      峠  睦,坂本武司,久保田章亀,川下智幸,峠 直樹
    • 学会等名
      砥粒加工学会
    • 発表場所
      岩手大学工学部
    • 年月日
      2014-09-11 – 2014-09-13
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 超砥粒軸付砥石の UV ツルーイングに関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      坂本武司,三角真彦,久保田章亀,峠  睦
    • 学会等名
      砥粒加工学会
    • 発表場所
      岩手大学工学部
    • 年月日
      2014-09-11 – 2014-09-13
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会・シンポジウム開催] International Committee for Abrasive Technology2016

    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 年月日
      2016-10-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

URL: 

公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi