研究課題/領域番号 |
26289020
|
研究種目 |
基盤研究(B)
|
配分区分 | 一部基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
生産工学・加工学
|
研究機関 | 熊本大学 |
研究代表者 |
峠 睦 熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 教授 (00107731)
|
研究分担者 |
横井 裕之 熊本大学, 自然科学研究科, 准教授 (50358305)
久保田 章亀 熊本大学, 自然科学研究科, 准教授 (80404325)
|
研究協力者 |
岩本 知広 茨城大学, 工学部, 教授 (60311635)
|
研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
|
研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
|
配分額 *注記 |
16,770千円 (直接経費: 12,900千円、間接経費: 3,870千円)
2016年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2015年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2014年度: 8,710千円 (直接経費: 6,700千円、間接経費: 2,010千円)
|
キーワード | ダイヤモンド / ダイシングブレード / PCD製切削工具 / 鋭利化 / 精密ツルーイング / 作用砥粒数 / 鏡面研削 / 高能率研削加工 / 紫外光励起研磨 / ダイヤモンドウェハ / ダイヤモンド製切削工具 / PCD / ダイヤモンド砥石 / 超硬 / 超精密研磨 / 工具刃先鋭利化 / 精密研削 / ダイヤモンド基板 / 鏡面研磨 / 刃先鋭利化 / 研磨機構(メカニズム) / 切削工具 / 研削砥石 |
研究成果の概要 |
紫外線照射研磨は約15年前に熊本大学精密加工学研究室で開発された全く新しい研磨法であり,紫外線照射下で石英を用いて単結晶ダイヤモンド基板が超精密研磨される.本研究はこの研磨法の研磨メカニズムを詳細に解明すると共に,この技術をダイヤモンド製の砥石,切削工具,金型,超薄型ダイシングブレードに応用展開することを目的としたものである.その結果,ダイヤモンド基板の研磨メカニズムはほぼ解明でき,作用砥粒数の大幅な増加による超精密研削用ダイヤモンド砥石の開発や鋭利な切れ刃を有するPCD製切削工具,厚さ50ミクロンのPCD製ダイシングブレードの開発に成功した.
|