| 研究課題/領域番号 |
26289026
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
金 俊完 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 准教授 (40401517)
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| 研究分担者 |
吉田 和弘 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (00220632)
嚴 祥仁 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (20551576)
横田 眞一 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (10092579)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
16,510千円 (直接経費: 12,700千円、間接経費: 3,810千円)
2016年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円)
2015年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
2014年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
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| キーワード | マイクロポンプ / マイクロチェックバルブ / リークレスバルブ / MEMS / マイクロ液滴 / 電界共役流体 / マイクロシリンジポンプ / マイクロ液滴生成デバイス / マイクロ液圧源 |
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| 研究成果の概要 |
安価で大量生産が可能であると同時に，マイクロポンプを内蔵したマイクロ液滴生成デバイスを実現するために，直流電圧の印加により電極間に活発な流れが発生する電界共役流体(ECF)の駆動原理とマイクロマシン(MEMS)の加工技術を融合した新たな手法を開発した．このマイクロ液滴生成デバイスは，(a) オイルを駆動するECFマイクロポンプ，(b) 水溶液を駆動するECFシリンジマイクロポンプ，(c)マイクロ分岐流路で構成され，すべてをバッチプロセスのMEMS技術によりワンチップで製作できる．このマイクロ液滴生成デバイスの構成デバイスを製作し，性能を明らかにし，その有効性を確認した．
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