研究課題/領域番号 |
26289051
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 一部基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
熱工学
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研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
研究代表者 |
山本 泰之 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 (00398637)
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研究分担者 |
藪野 浩司 筑波大学, システム情報工学研究科, 教授 (60241791)
黒田 雅治 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 (60344222)
松本 壮平 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 副研究センター長 (70358050)
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研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2018-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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配分額 *注記 |
15,730千円 (直接経費: 12,100千円、間接経費: 3,630千円)
2017年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2016年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2015年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2014年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
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キーワード | レオロジー / 粘弾性 / 粘度 / センサー / MEMS / インライン / 熱工学 / 熱物性 / マイクロ・ナノデバイス / モニタリング |
研究成果の概要 |
MEMS技術を応用したレオロジーセンサーを開発した.開発したレオロジーセンサーはうずまき状の振動子を有しており,チップ全体を液体に没入させて粘弾性を測定する.開発したセンサーを振動試験したところ,15Gの振動下でも壊れることなく,5Gの振動下でも測定可能であった.このことはエンジンなどの振動する機器へ,本センサーを内蔵する用途への適用性が十分に高いことを示している.
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