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マイクロレオロジーセンサーで切り拓くインライン粘弾性モニタリングの新展開

研究課題

研究課題/領域番号 26289051
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 熱工学
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

山本 泰之  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 (00398637)

研究分担者 藪野 浩司  筑波大学, システム情報工学研究科, 教授 (60241791)
黒田 雅治  兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 (60344222)
松本 壮平  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 副研究センター長 (70358050)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
15,730千円 (直接経費: 12,100千円、間接経費: 3,630千円)
2017年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2016年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2015年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2014年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
キーワードレオロジー / 粘弾性 / 粘度 / センサー / MEMS / インライン / 熱工学 / 熱物性 / マイクロ・ナノデバイス / モニタリング
研究成果の概要

MEMS技術を応用したレオロジーセンサーを開発した.開発したレオロジーセンサーはうずまき状の振動子を有しており,チップ全体を液体に没入させて粘弾性を測定する.開発したセンサーを振動試験したところ,15Gの振動下でも壊れることなく,5Gの振動下でも測定可能であった.このことはエンジンなどの振動する機器へ,本センサーを内蔵する用途への適用性が十分に高いことを示している.

報告書

(5件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実績報告書
  • 2015 実績報告書
  • 2014 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (5件) (うち招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Self-Excited Vibrational Cantilever-Type Viscometer Driven by Piezo-Actuator2015

    • 著者名/発表者名
      東野慧一,藪野浩司,青野和彦,山本泰之,黒田雅治
    • 雑誌名

      JOURNAL OF VIBRATION AND ACOUSTICS-TRANSACTIONS OF THE ASME

      巻: 137

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Self-excited coupled-microcantilevers for mass sensing2015

    • 著者名/発表者名
      遠藤大慈,藪野浩司,東野慧一,山本泰之,松本壮平
    • 雑誌名

      APPLIED PHYSICS LETTERS

      巻: 106 ページ: 223105-223109

    • NAID

      120007136285

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-excited vibrational viscometer for high-viscosity sensing2014

    • 著者名/発表者名
      薮野浩司、東野慧一、黒田雅治、山本泰之
    • 雑誌名

      JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

      巻: 116

    • NAID

      120007136581

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 製品化まであと少し!指先にものる超小型粘度センサーの開発2016

    • 著者名/発表者名
      山本泰之
    • 学会等名
      化学工学会第48回秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学(徳島県)
    • 年月日
      2016-09-06
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MEMS粘性センサーの粘度測定性能の評価2015

    • 著者名/発表者名
      山本泰之,松本壮平,藪野浩司,黒田雅治,山本智子
    • 学会等名
      日本熱物性シンポジウム
    • 発表場所
      宮城県仙台市(東北大学)
    • 年月日
      2015-10-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] PCに直接接続して簡便に粘性測定が可能な粘性MEMSセンサーシステムの開発2014

    • 著者名/発表者名
      山本泰之、松本壮平、藪野浩司、黒田雅治、山本智子
    • 学会等名
      日本熱物性シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2014-11-21 – 2014-11-23
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 微少量サンプル用MEMS粘度センサーの開発2014

    • 著者名/発表者名
      山本泰之、松本壮平、藪野浩司、黒田雅治、山本智子
    • 学会等名
      レオロジー討論会
    • 発表場所
      福井
    • 年月日
      2014-10-15 – 2014-10-17
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 名刺サイズのMEMS粘性センサー用制御回路の開発2014

    • 著者名/発表者名
      山本泰之、松本壮平、藪野浩司、黒田雅治、山本智子、チェスンチョル
    • 学会等名
      日本伝熱シンポジウム
    • 発表場所
      浜松
    • 年月日
      2014-05-21 – 2014-05-23
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2019-03-29  

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