| 研究課題/領域番号 |
26289067
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 群馬大学 (2015-2016)
香川大学 (2014) |
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研究代表者 |
鈴木 孝明 群馬大学, 理工学研究科, 准教授 (10378797)
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| 連携研究者 |
大平 文和 香川大学, 社会連携・知的財産センター, 教授 (80325315)
下川 房男 香川大学, 工学部, 教授 (90580598)
生津 資大 愛知工業大学, 工学部, 教授 (90347526)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
16,640千円 (直接経費: 12,800千円、間接経費: 3,840千円)
2016年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2015年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2014年度: 7,280千円 (直接経費: 5,600千円、間接経費: 1,680千円)
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| キーワード | ナノマイクロメカトロニクス / MEMS / ミラー / 異種材料 / マイクロ・ナノデバイス / マイクロファブリケーション / フォトリソグラフィ |
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| 研究成果の概要 |
様々な分野への応用が期待されるラスタスキャン方式MEMSミラーの大偏向角駆動、小型化、低消費電力、高耐衝撃性を目指し、シリコン／ポリマーの異種材料をヒンジに組み合わせた新しいミラー構成を提案、検討した。具体的には、①異種材料を組み合わせたハイブリット構成の新構造ローレンツ駆動型MEMSミラー、②磁気誘導起電力型のセンサコイルを集積化したMEMSミラーについて、試作・評価した。
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