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Ge-CMOSと混載可能な高性能Ge-光素子実現のための基盤技術開発

研究課題

研究課題/領域番号 26289090
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関九州大学

研究代表者

王 冬  九州大学, 総合理工学研究科(研究院), 准教授 (10419616)

研究分担者 中島 寛  九州大学, 産学連携センター, 教授 (70172301)
連携研究者 浜本 貴一  九州大学, 総合理工学研究科, 教授 (70404027)
山本 圭介  九州大学, 総合理工学研究科, 助教 (20706387)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
16,770千円 (直接経費: 12,900千円、間接経費: 3,870千円)
2016年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2015年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2014年度: 11,180千円 (直接経費: 8,600千円、間接経費: 2,580千円)
キーワードGe光素子 / 金属/半導体コンタクト / Siフォトニクス / CMOS / 電子・電気材料 / 電子密度 / GOI / Ge-光素子 / 局所歪み / 局所歪
研究成果の概要

非対称な横型の金属/Ge/金属素子を使って、直接遷移による発光スペクトルを明確に観測すると共に、効率的な少数キャリア注入を実証した。低正孔障壁のPtGe/Geコンタクトと高品質なSiO2/GeO2二層保護膜を採用し、Ge光素子の性能は研究開始当初に比べて、発光効率の10倍向上、暗電流の1桁低減を実現し、研究目標値を達成した。受光素子のon/off比は約4桁、受光感度は0.7 A/Wで、研究目標値(0.4 A/W)を上回った。SbドーピングによってGe基板の電子密度を広い範囲で制御する技術を確立し、これにより、Ge光素子の発光強度の3倍向上を達成した。

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実績報告書
  • 2014 実績報告書
  • 研究成果

    (62件)

すべて 2017 2016 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (14件) (うち査読あり 14件、 謝辞記載あり 5件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (47件) (うち国際学会 17件、 招待講演 7件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Achievement of low parasitic resistance in Ge n-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistor using embedded TiN-source/drain structure2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagatomi, T. Tateyama, S. Tanaka, K. Yamamoto, D. Wang, and H. Nakashima
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology

      巻: 32 号: 3 ページ: 035001-035001

    • DOI

      10.1088/1361-6641/32/3/035001

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Electrical properties of epitaxial Lu- or Y-doped La2O3/La2O3/Ge high-k gate-stacks2016

    • 著者名/発表者名
      T. Kanashima, R. Yamashiro, M. Zenitaka, K. Yamamoto, D. Wang, J. Tadano, S. Yamada, H. Nohira, H. Nakashima, and K. Hamaya
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: - ページ: 260-264

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.11.016

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mechanism of mobility enhancement in Ge p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistor due to introduction of Al atoms into SiO2/GeO2 gate stack2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagatomi, T. Tateyama, S. Tanaka, W.-C. Wen, T. Sakaguchi, K. Yamamoto, L. Zhao, D. Wang, and H. Nakashima
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: - ページ: 246-253

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.11.014

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Fabrication of asymmetric Ge Schottky tunneling source n-channel field-effect transistor and its characterization of tunneling conduction2016

    • 著者名/発表者名
      K. Yamamoto, H. Okamoto, D. Wang, and H. Nakashima
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: - ページ: 283-287

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.09.024

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Direct band gap light emission and detection at room temperature in bulk germanium diodes with HfGe/Ge/TiN structure2016

    • 著者名/発表者名
      D. Wang, T. Maekura, K. Yamamoto, and H. Nakashima
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 602 ページ: 43-47

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2015.09.074

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of metal/Ge contact and surface passivation on direct band gap light emission and detection for asymmetric metal/Ge/metal diodes2016

    • 著者名/発表者名
      T. Maekura, K. Yamamoto, H. Nakashima, and D. Wang
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55(4S) 号: 4S ページ: 04EH08-04EH08

    • DOI

      10.7567/jjap.55.04eh08

    • NAID

      210000146355

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical and structural properties of group-4 transition-metal nitride (TiN, ZrN, and HfN) contacts on Ge2015

    • 著者名/発表者名
      K. Yamamoto, R. Noguchi, M. Mitsuhara, M. Nishida, T. Hara, D. Wang, and H. Nakashima
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 118(11) 号: 11

    • DOI

      10.1063/1.4930573

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Electrical Properties of Group 4 Metal-Nitride/Ge Contacts and the Application to Ge Optoelectronic Devices2015

    • 著者名/発表者名
      H. Nakashima, K. Yamamoto, and D. Wang
    • 雑誌名

      The Electrochemical Society Transactions

      巻: 69(10) 号: 10 ページ: 55-66

    • DOI

      10.1149/06910.0055ecst

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Fabrication of PtGe/Ge contacts with high on/off ratio and its application to metal source/drain Ge p-channel MOSFETs2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagatomi, S. Tanaka, Y. Nagaoka, K. Yamamoto, D. Wang, and H. Nakashima
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54(7) 号: 7 ページ: 070306-070306

    • DOI

      10.7567/jjap.54.070306

    • NAID

      210000145332

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Direct band gap electroluminescence from bulk germanium at room temperature using an asymmetric fin type metal/germanium/metal structure2014

    • 著者名/発表者名
      D. Wang, T. Maekura, S. Kamezawa, K. Yamamoto, and H. Nakashima
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 106(7) 号: 7

    • DOI

      10.1063/1.4913261

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Investigation of Al-PMA Effect on Al2O3/GeOX/Ge Gate Stack2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagatomi, Y. Nagaoka, K. Yamamoto, D. Wang, H. Nakashima
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 64 号: 6 ページ: 261-266

    • DOI

      10.1149/06406.0261ecst

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-temperature fabrication of Y2O3/Ge gate stacks with ultrathin GeOx interlayer and low interface states density characterized by a reliable deep-level transient spectroscopy method2014

    • 著者名/発表者名
      D. Wang, Y. Nagatomi, S. Kojima, K. Yamamoto, H. Nakashima
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 557 ページ: 288-291

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2013.10.065

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Role of an interlayer at a TiN/Ge contact to alleviate the intrinsic Fermi-level pinning position toward the conduction band edge2014

    • 著者名/発表者名
      K. Yamamoto, M. Mitsuhara, K. Hiidome, R. Noguchi, M. Nishida, D. Wang, and H. Nakashima
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 104 号: 13 ページ: 288-291

    • DOI

      10.1063/1.4870510

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Effect of Kr/O2ECR Plasma Oxidation on Electrical Properties of Al2O3/Ge Gate Stacked Fabricated by ALD2014

    • 著者名/発表者名
      Yuta Nagatomi, Yuichi Nagaoka, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Hiroshi Nakashima
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of the 2014 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2014)

      巻: なし ページ: 10-11

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 非晶質Zr-Ge-N層上への金属堆積による低抵抗Geコンタクトの形成2017

    • 著者名/発表者名
      岡本 隼人、山本 圭介、王 冬、中島 寛
    • 学会等名
      2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] ゲートスタック中へのAl 導入によるGe p-MOSFET の移動度向上機構2017

    • 著者名/発表者名
      永冨 雄太、織田 知輝、坂口 大成、山本 圭介、王 冬、中島 寛
    • 学会等名
      2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Sbドーピング基板を用いた非対称-金属/Ge/金属構造光素子の作製・特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      前蔵 貴行、本山 千里、田中 健太郎、山本 圭介、中島 寛、王 冬
    • 学会等名
      2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Achievement of Ultralow Contact Resistivity of Metal/Ge Contacts with Zr-N-Ge Amorphous Interlayer2017

    • 著者名/発表者名
      K. Yamamoto, H. Okamoto, D. Wang, and H. Nakashima
    • 学会等名
      10th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to Core Program Joint Seminar
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai, Japan
    • 年月日
      2017-02-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Effect of n-type doping level on direct band gap light emission intensity for asymmetric metal/Ge/metal diodes2017

    • 著者名/発表者名
      T. Maekura, C. Motoyama, K. Tanaka, K. Yamamoto, H. Nakashima, and D. Wang
    • 学会等名
      10th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to Core Program Joint Seminar
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai, Japan
    • 年月日
      2017-02-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Ge 光素子における基板キャリア密度と伝導型が及ぼす発光特性への影響2016

    • 著者名/発表者名
      田中 健太郎, 前蔵 貴行, 本山 千里, 王 冬, 山本 圭介, 中島 寛
    • 学会等名
      平成28(2016)年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎県対馬市 対馬市交流センター
    • 年月日
      2016-12-04
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] ゲートスタック中へのAl 導入によるp-MOSFET の移動度向上機構2016

    • 著者名/発表者名
      坂口 大成, 建山 知輝, 永冨 雄太, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      平成28(2016)年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎県対馬市 対馬市交流センター
    • 年月日
      2016-12-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 反応性スパッタリングで形成したZrN 物性とGe とのコンタクト特性2016

    • 著者名/発表者名
      板屋 航, 岡本 隼人, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      平成28(2016)年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎県対馬市 対馬市交流センター
    • 年月日
      2016-12-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Influence of Al-PMA for fin type asymmetric metal/germanium/metal diodes2016

    • 著者名/発表者名
      C. Motoyama, T. Maekura, K. Tanaka, D. Wang, K. Yamamoto, H. Nakashima
    • 学会等名
      平成28(2016)年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎県対馬市 対馬市交流センター
    • 年月日
      2016-12-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] TOF-SIMS and XPS analyses for investigation of Al post-metallization annealing effect for Ge MOS capacitors with SiO2/GeO2 bilayer passivation2016

    • 著者名/発表者名
      W.-C. Wen, Y. Nagatomi, L. Zhao, K. Yamamoto, D. Wang, H. Nakashima
    • 学会等名
      平成28(2016)年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎県対馬市 対馬市交流センター
    • 年月日
      2016-12-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Achievement of low parasitic resistance in Ge n-MOSFET with embedded TiN-source/drain structure2016

    • 著者名/発表者名
      T. Tateyama, Y. Nagatomi, S. Tanaka, K. Yamamoto, D. Wang, H. Nakashima
    • 学会等名
      平成28(2016)年度応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      長崎県対馬市 対馬市交流センター
    • 年月日
      2016-12-03
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Electrical Properties of Metal/Ge Contacts with Zr-N-Ge Amorphous Interlayer2016

    • 著者名/発表者名
      H. Nakashima, H. Okamoto, K. Yamamoto, and D. Wang
    • 学会等名
      JSPS Core-to Core Program "Atomically Controlled Processsing for Ultralarge Scale Integration"
    • 発表場所
      Forschungszentrum Jülich, Germany
    • 年月日
      2016-11-24
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Achievement of Ultralow Contact Resistivity of Metal/Ge Contacts with Zr-N-Ge Amorphous Interlayer2016

    • 著者名/発表者名
      H. Okamoto, K. Yamamoto, D. Wang, and H. Nakashima
    • 学会等名
      2016 International Conference on Solid State Devices and Materiaals (SSDM2016)
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2016-09-29
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 非晶質Zr-Ge-N層上への金属堆積による低抵抗Geコンタクトの形成2016

    • 著者名/発表者名
      岡本 隼人、山本 圭介、王 冬、中島 寛
    • 学会等名
      2016年秋季第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ:新潟コンベンションセンター
    • 年月日
      2016-09-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Al/SiO2/GeO2/Geゲートスタックに於ける界面ダイポールの生成と消失2016

    • 著者名/発表者名
      永冨 雄太、建山 知輝、坂口 大成、山本 圭介、王 冬、中島 寛
    • 学会等名
      2016年秋季第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ:新潟コンベンションセンター
    • 年月日
      2016-09-15
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of Ge Tunnel FET with Metal/Ge Junction2016

    • 著者名/発表者名
      K. Yamamoto, H. Okamoto, D. Wang, and H. Nakashima
    • 学会等名
      7th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces and Int. SiGe Technology and Device Meeting 2016
    • 発表場所
      Noyori Conference Hall, Nagoya University, Chikusa-ku, Nagoya, Japan
    • 年月日
      2016-06-09
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Mobility enhancement in Ge p-MOSFET due to introduction of Al atoms in SiO2/GeO2gate stacks2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagatomi, S. Tanaka, T. Tateyama, K. Yamamoto, D. Wang, and H. Nakashima
    • 学会等名
      7th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces and Int. SiGe Technology and Device Meeting 2016
    • 発表場所
      Noyori Conference Hall, Nagoya University, Chikusa-ku, Nagoya, Japan
    • 年月日
      2016-06-08
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 金属/Ge接合及びn+/Ge接合を用いたGeトンネルFETの作製と評価2016

    • 著者名/発表者名
      山本 圭介、岡本 隼人、王 冬、中島 寛
    • 学会等名
      2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-20
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] ゲートスタック中へのAl導入によるGe p-MOSFETの正孔移動度向上2016

    • 著者名/発表者名
      永冨 雄太、田中 慎太郎、建山 知輝、山本 圭介、王 冬、中島 寛
    • 学会等名
      2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-20
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] メタルS/D型Ge n-MOSFETの寄生抵抗低減2016

    • 著者名/発表者名
      建山 知輝、永冨 雄太、田中 慎太郎、山本 圭介、王 冬、中島 寛
    • 学会等名
      2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Influences of metal/Ge contact and surface passivation on direct band gap light emission and detection for asymmetric metal/Ge/metal diodes2016

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Maekura, Chisato Motoyama, Keisuke Yamamoto, Hiroshi Nakashima, Dong Wang
    • 学会等名
      9th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to Core Program Joint Seminar
    • 発表場所
      Tohoku University
    • 年月日
      2016-01-12
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Mechanism of mobility enhancement in Ge p-MOSFET due to introduction of Al atoms in SiO2/GeO2 gate stacks2016

    • 著者名/発表者名
      Yuta Nagatomi, Shintaro Tanaka, Tomoki Tateyama, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      9th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to Core Program Joint Seminar
    • 発表場所
      Tohoku University
    • 年月日
      2016-01-11
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrical properties of metal-nitride/Ge contacts and the application to Ge optoelectronic devices2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Nakashima, Keisuke Yamamoto, Dong Wang
    • 学会等名
      The 2nd International Conference & Exhibition for Nanopia
    • 発表場所
      Changwon Exhibition Convention Center, Gyeongsangnam-do, Korea
    • 年月日
      2015-11-12
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Direct band gap light emission and detection in lateral HfGe/Ge/TiN diodes2015

    • 著者名/発表者名
      Dong Wang, Takayuki Maekura, Keisuke Yamamoto, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) Shanghai Thin Film Conference
    • 発表場所
      Fuxuan Hotel, Shanghai, China
    • 年月日
      2015-10-24
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Electrical characterization of SiGe-on-insulator fabricated using Ge condensation by dry oxidation2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Nakashima, Keisuke Yamamoto, Dong Wang
    • 学会等名
      American Vacuum Society (AVS) Shanghai Thin Film Conference
    • 発表場所
      Fuxuan Hotel, Shanghai, China
    • 年月日
      2015-10-24
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Electrical Properties of Group 4 Metal-Nitride/Ge Contacts and the Application to Ge Optoelectronic Devices2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Nakashima, Keisuke Yamamoto, Dong Wang
    • 学会等名
      228th ECS Meeting
    • 発表場所
      Phoenix, AZ, USA
    • 年月日
      2015-10-12
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] PtGe-Source/Drain Ge p-MOSFET with High On/Off Ratio and Low Parasitic Resistance2015

    • 著者名/発表者名
      Shintaro Tanaka, Yuta Nagatomi, Yuichi Nagaoka, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materiaals (SSDM2015)
    • 発表場所
      Sapporo Convention Center, Japan
    • 年月日
      2015-09-29
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influences of Metal/Ge Contact and Surface Passivation on Light Emission and Detection for Asymmetric Metal/Ge/Metal Diodes2015

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Maekura, Dong Wang, Keisuke Yamamoto, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      2015 International Conference on Solid State Devices and Materiaals (SSDM2015)
    • 発表場所
      Sapporo Convention Center, Japan
    • 年月日
      2015-09-29
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 低い正孔障壁を有するPtGe/Geコンタクトの作製とメタルS/D型Ge p-MOSFETへの適用2015

    • 著者名/発表者名
      永冨 雄太, 田中 慎太郎, 長岡 裕一, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      シリコン材料・デバイス研究会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2015-06-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Direct-bandgap light emission and detection at room temperature in bulk-Ge diodes with HfGe/Ge/TiN structure2015

    • 著者名/発表者名
      Dong Wang, Takayuki Maekura, Keisuke Yamamoto, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      9th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI-9)
    • 発表場所
      The University of Montreal, Quebec, Canada
    • 年月日
      2015-05-20
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Barrier Height Modulation for Metal/Ge Contacts with Nitrogen-Contained Amorphous Interlayers2015

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Yamamoto, Ryutaro Noguchi, Masatoshi Mitsuhara, Minoru Nishida, Toru Hara, Dong Wang, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      9th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI-9)
    • 発表場所
      The University of Montreal, Quebec, Canada
    • 年月日
      2015-05-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Contact Formation for Metal Source/Drain Ge-CMOS2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Nakashima, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Masatoshi Mitsuhara, Ryutaro Noguchi, Keisuke Hiidome, Minoru Nishida
    • 学会等名
      9th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI-9)
    • 発表場所
      The University of Montreal, Quebec, Canada
    • 年月日
      2015-05-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ALDとECRプラズマ酸化による酸化膜固定電荷密度の制御2015

    • 著者名/発表者名
      永冨 雄太, 長岡 裕一, 田中 慎太郎, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      2015年第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 非対称-金属/Ge/金属構造を有する光素子の試作と特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      前蔵 貴行, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      2015年第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-11
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Effect of Al Post Metallization Annealing on Al2O3/GeO2/Ge Gate Stack2015

    • 著者名/発表者名
      Yuta Nagatomi, Yuichi Nagaoka, Shintaro Tanaka, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      8th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to Core Program Joint Seminar
    • 発表場所
      Tohoku University
    • 年月日
      2015-01-30
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Electrical Properties of Metal/Ge Contacts with Nitrogen-Contained Amorphous Interlayers2015

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Yamamoto, Ryutaro Noguchi, Masatoshi Mitsuhara, Minoru Nishida, Toru Hara, Dong Wang, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      8th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to Core Program Joint Seminar
    • 発表場所
      Tohoku University
    • 年月日
      2015-01-29
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] バルクGe発光素子のデバイス構造による発光効率の変化2014

    • 著者名/発表者名
      前蔵 貴行, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      2014年応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      大分大学
    • 年月日
      2014-12-07
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 原子層堆積法により形成したAl2O3/GeゲートスタックにおけるAl堆積後熱処理の有効性2014

    • 著者名/発表者名
      田中 慎太郎, 長岡 裕一, 永冨 雄太, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      2014年応用物理学会九州支部学術講演会
    • 発表場所
      大分大学
    • 年月日
      2014-12-06
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Contact properties of group IV metal-nitrides(TiN, ZrN, HfN) on Ge2014

    • 著者名/発表者名
      Hiroshi Nakashima, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Masatoshi Mitsuhara, Ryutaro Noguchi, Keisuke Hiidome, Minoru Nishida
    • 学会等名
      JSPS Core-to-Core Program,“Atomically Controlled Processsing for Ultralarge Scale Integration”
    • 発表場所
      Leuven, Belgium
    • 年月日
      2014-11-03
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Investigation of Al-PMA Effect on Al2O3/GeOX/Ge Gate Stack2014

    • 著者名/発表者名
      Yuta Nagatomi, Yuichi Nagaoka, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      226th ECS Meeting
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 年月日
      2014-10-07
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] ALDにより形成したAl2O3/Geゲートスタックに於けるKr/O2ECRプラズマ酸化効果2014

    • 著者名/発表者名
      長岡 裕一, 永冨 雄太, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      2014年秋季第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 非晶質Ge界面層とNによるGeコンタクトの外因性準位とSファクターの変調2014

    • 著者名/発表者名
      山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      2014年秋季第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] n形3C-SiCへのゲートスタックの低温形成2014

    • 著者名/発表者名
      山本 裕介, 村山 亮介, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛, 菱木 繁臣, 川村 啓介
    • 学会等名
      2014年秋季第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Effect of Kr/O2ECR Plasma Oxidation on Electrical Properties of Al2O3/Ge Gate Stacked Fabricated by ALD2014

    • 著者名/発表者名
      Yuta Nagatomi, Yuichi Nagaoka, Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      2014 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2014)
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center
    • 年月日
      2014-09-10
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Al2O3/GeOx/Geゲートスタックに於けるAl-PMA効果の調査2014

    • 著者名/発表者名
      永冨 雄太, 長岡 裕一, 山本 圭介, 王 冬, 中島 寛
    • 学会等名
      電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会 (応用物理学会, シリコンテクノロジー分科会との合同開催)
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2014-06-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Direct band gap electroluminescence from bulk germanium at room temperature using an asymmetric metal/germanium/metal structure2014

    • 著者名/発表者名
      Dong Wang, Sho Kamezawa, Keisuke Yamamoto, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      7th International Silicon-Germanium Technology and Device Meeting
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2014-06-03
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Fermi Level Pinning Alleviation at the TiN, ZrN, and HfN/Ge Interfaces2014

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Yamamoto, Dong Wang, Hiroshi Nakashima
    • 学会等名
      7th International Silicon-Germanium Technology and Device Meeting
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2014-06-03
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [備考] 中島・王研究室

    • URL

      http://www.gic.kyushu-u.ac.jp/nakasima/index.htm

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

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