研究課題
基盤研究(C)
高濃度硫酸浴を用いた二層陽極酸化プロセスにより,高規則性ポーラスアルミナスルーホールメンブレンの高スループット形成が可能であった.作製条件を変化させることにより,得られるスルーホールメンブレンの細孔周期の制御も可能であることが分かった.テクスチャリングプロセスと組み合わせることによって,細孔が理想配列したポーラスアルミナスルーホールメンブレンの繰り返し形成も可能であることを示した.本手法によって得られた高規則性スルーホールメンブレンは,様々な機能性デバイスへの応用が期待できる.
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