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大気圧CVD法酸化物半導体ナノワイヤーの形状及び表面制御と高感度ガスセンシング

研究課題

研究課題/領域番号 26390029
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 ナノ材料工学
研究機関愛媛大学

研究代表者

寺迫 智昭  愛媛大学, 理工学研究科(工学系), 准教授 (70294783)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2015年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2014年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
キーワードガスセンサ / SnO2 / β-Ga2O3 / CuO / Cu2O / 化学気相堆積法 / 気相-液相-固相っ成長 / 化学溶液析出法 / 酸化スズ / 酸化ガリウム / ナノワイヤー / VLS成長 / 交互原料供給法 / フォトルミネッセンス / 酸化銅 / 酸化スズナノワイヤー / 酸化ガリウムナノワイヤー / 気相-液相-固相成長 / 気相-固相成長 / 大気圧CVD法 / 溶液成長 / 透過電子顕微鏡
研究成果の概要

大気圧CVD法による交互原料供給(ASS)下での気相-液相-固相成長によるSnO2及びβ-Ga2O3ナノワイヤー(NWs)の成長に成功した.SnO2 NWs平均直径は成長温度に対してわずかに増加したが,原料供給のサイクル数には依存しなかった.後者の結果は気相-固相成長によるNWs平均直径の増大がASSの導入によって抑制されていることを示唆している.β-Ga2O3NWs平均直径も成長温度に伴いわずかに増加した.両NWsのフォトルミネッセンスでは欠陥に関係したブロードな可視発光が支配的であった.また化学溶液析出法による同一原料から増感剤として使用するCuOとCu2Oの選択成長にも成功した.

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (26件)

すべて 2017 2016 2015

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 2件、 謝辞記載あり 4件) 学会発表 (22件) (うち国際学会 8件)

  • [雑誌論文] Growth and morphology control of β-Ga2O3 nanostructures by atmospheric-pressure CVD2016

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Yuki Kawasaki, Masakazu Yagi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 620 ページ: 23-29

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2016.07.074

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Growth of β-gallium oxide films and nanostructures by atmospheric-pressure CVD using gallium and water as source materials2015

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Hikaru Ichinotani, Masakazu Yagi
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (c)

      巻: 12 号: 7 ページ: 985-988

    • DOI

      10.1002/pssc.201510012

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 大気圧CVD法による酸化スズ及び酸化ガリウムナノワイヤーの成長2015

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、倉重利規、矢木正和
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告 CPM2015-21-CPM2015-30

      巻: 115 ページ: 17-22

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 気相-液相-固相成長機構による酸化ガリウムナノ構造の成長と形態制御2015

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、大森裕也、河﨑雄樹、佐伯拓哉、門田直己、矢木正和
    • 雑誌名

      電子情報通信学会技術研究報告 R2015-22-R2015-51

      巻: 115 ページ: 63-68

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 謝辞記載あり
  • [学会発表] Possibility of Selective and Morphology-Controlled Growth of CuO and Cu2O Films2017

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Kohki Ohnishi, Hideyuki Okada, Shohei Obara, Masakazu Yagi
    • 学会等名
      44th International Conference on Metallurgical Coatings & Thin Films
    • 発表場所
      Town & Country Resort Hotel (San Diego, USA)
    • 年月日
      2017-04-27
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Vapor-Liquid-Solid Growth of SnO2 Nanowires Utilizing Alternate Source Supply and Their Photoluminescence Properties2017

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Kohki Kohno, Masakazu Yagi
    • 学会等名
      44th International Conference on Metallurgical Coatings & Thin Films
    • 発表場所
      Town & Country Resort Hotel (San Diego, USA)
    • 年月日
      2017-04-24
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 原料交互供給によるSnO2ナノワイヤーのVLS成長とフォトルミネッセンス特性2017

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、河野幸輝、矢木正和
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Cu(NO3)2・3H2OをCu原料に用いたFe支援CBD法によるCuO薄膜とCu2O薄膜の選択成長2017

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、大西航暉、岡田英之、小原翔平
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Vapor-Liquid-Solid Growth of SnO2and Ga2O3 Nanowires by Atmospheric-pressure CVD Utilizing Alternate Source Supply2016

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Teraako, Kohki Kohno, MasakazuYagi
    • 学会等名
      第26回日本MRS年次大会 A-3 先進機能性酸化物マテリアル
    • 発表場所
      横浜情報文化センター(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2016-12-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Selective Growth of CuO and Cu2O Films and Fabrication of Their Heterojunctions with ZnO Nanorods by Chemical Bath Deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Kohki Ohnishi, Hideyuki Okada, Shohei Obara, Masakazu Yagi
    • 学会等名
      第26回日本MRS年次大会 A-3 先進機能性酸化物マテリアル
    • 発表場所
      横浜情報文化センター(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2016-12-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Vapor-Liquid-Solid Growth of Metal Oxide Nanowires Utilizing Alternate Source Supply2016

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako1, Kohki Kohno, Masakazu Yagi
    • 学会等名
      The 9th International Workshop on Zinc Oxide and Related Materials
    • 発表場所
      National Taiwan University (Taipei, Taiwan)
    • 年月日
      2016-11-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 原料交互供給によるSnO2ナノワイヤーの気相-液相-固相成長2016

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、大西航輝、岡田英之、小原翔平、河野幸輝、矢木正和
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Cu(NO3)23H2OをCu原料に用いたCBD法によるCuO薄膜とCu2O薄膜の選択成長と表面モフォロジー2016

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、大西航輝、岡田英之、小原翔平、河野幸輝
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 原料交互供給法による酸化スズナノワイヤーの成長と形状制御2016

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、矢木正和
    • 学会等名
      電子情報通信学会CPM研究会
    • 発表場所
      愛媛大学工学部 (愛媛県松山市)
    • 年月日
      2016-07-23
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Selective preparations of CuO and Cu2O and formations of their heterojunctions with ZnO nanorods by chemical bath deposition2016

    • 著者名/発表者名
      Terasako, Yuya Ohmori, Takuya Saeki, Naoki Monden, Masakazu Yagi
    • 学会等名
      Thin Films 2016
    • 発表場所
      Holiday Inn Atrium (Singapore)
    • 年月日
      2016-07-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 溶液成長法によるCuO及びCu2O薄膜の成長と表面モフォロジー2016

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、門田直己、大森裕也、佐伯拓哉
    • 学会等名
      電子情報通信学会 材料デバイスサマーミーティング
    • 発表場所
      機械振興会館(東京都港区)
    • 年月日
      2016-06-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Preparation of Cu2O Films by Fe-assisted Chemical Bath Deposition Technique2016

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Yuya Ohmori, Takuya Saeki, Naoki Monden, Masakazu Yagi
    • 学会等名
      43rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
    • 発表場所
      Town & Country Resort Hotel (San Diego, USA)
    • 年月日
      2016-04-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Growth and Morphology Control of β-Ga2O3Nanostructures by Atmospheric-pressure CVD2016

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Yuki Kawasaki, Masakazu Yagi
    • 学会等名
      43rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
    • 発表場所
      Town & Country Resort Hotel (San Diego, USA)
    • 年月日
      2016-04-25
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fe支援CBD法によるCu2O薄膜の成長2016

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、大森裕也、佐伯拓哉、門田直己、宮田晃
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都目黒区大岡山)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] β-Ga2O3ナノワイヤーの形状制御とフォトルミネッセンス特性2016

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、河﨑雄樹、矢木正和
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都目黒区大岡山)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Shape-Controllability of β-Ga2O3 Nanostructures Grown by Atmospheric-pressure CVD2015

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Yuya Ohmori, Yuki Kawasaki, Takuya Saeki, Naoki Monden, Masakazu Ygai
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会 Symposium A-1 Functional Oxide Materials (国際セッション)
    • 発表場所
      横浜情報文化センター (神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2015-12-06
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Atmospheric-pressure CVD Growth of SnO2 and Ga2O3 Nanostructures2015

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Toshiki Kurashige, Yuya Ohmori, Yuki Kawasaki, Takuya Saeki, Naoki Monden, Masakazu Yagi
    • 学会等名
      International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials 2015 (IWGO 2015)
    • 発表場所
      京都大学桂キャンパス (京都府京都市左京区)
    • 年月日
      2015-11-04
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 大気圧CVD法によるβ-Ga2O3ナノ構造の成長とフォトルミネッセンス特性2015

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、大森裕也、河﨑雄樹、佐伯拓哉、門田直己、宮田晃、矢木正和
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋熱田区)
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] 気相-液相-固相成長機構による酸化ガリウムナノ構造の成長と形態制御2015

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、大森裕也、河﨑雄樹、佐伯拓哉、門田直己、矢木正和
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子部品・材料(CPM)研究会
    • 発表場所
      青森県観光物産館アスパム(青森県青森市)
    • 年月日
      2015-08-27
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] 大気圧CVD法による酸化スズ及び酸化ガリウムナノワイヤーの成長2015

    • 著者名/発表者名
      寺迫智昭、倉重利規、矢木正和
    • 学会等名
      電子情報通信学会・材料デバイスサマーミーティング
    • 発表場所
      機械振興会館(東京都港区)
    • 年月日
      2015-06-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Growth of β-gallium oxide films and nanostructures by atmospheric-pressure CVD using gallium and water as source materials2015

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Terasako, Hikaru Ichinotani, Masakazu Yagi
    • 学会等名
      EuroCVD20
    • 発表場所
      Sempach (Switzerland)
    • 年月日
      2015-06-15
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

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