| 研究課題/領域番号 |
26390040
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 東京電機大学 |
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研究代表者 |
堀内 敏行 東京電機大学, 工学部, 教授 (00297582)
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| 研究協力者 |
伊藤 海樹
高橋 宏志
木村 のぞみ
鈴木 佑汰
古旗 貴大
室 秀幸
相良 友也
藤井 勇人
安永 かほり
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2016年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2014年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 光リソグラフィ / 同期走査回転投影露光 / レーザ走査露光 / ステンレス管 / ウェットエッチング / マイクロ部品 / ステント / マルチスリット管 / リソグラフィ / 同期走査投影露光装置 / レーザ走査露光装置 / 金属管 / SUS304 / 円柱面露光 / 円柱面投影露光装置 / 円柱面へのリソグラフィ / 偏心補正 / 電解エッチング |
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| 研究成果の概要 |
小径のステンレス管をリソグラフィとエッチングの組み合わせにより微細加工し、医用・バイオ用のマイクロ部品を製作する技術を開発した。リソグラフィとは感光性樹脂(レジスト)を塗布して所定の形状に光を当て、現像して感光部または未感光部に相当するレジストの模様(パターン)を形成する技術である。また、エッチングはレジストパターンがない部分の金属を薬液で溶かして加工する技術である。直径2mmおよび100μmのステンレス管を用い、閉塞寸前の血管を内側から補助する医用部品、バイオ流体内の物質や細胞をふるい分ける多孔管・網目管等を高精度に製作する新技術、歯科用等高速スピンドル空気軸受溝の観察技術を開発した。
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