| 研究課題/領域番号 |
26390041
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 立命館大学 |
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研究代表者 |
谷川 紘 立命館大学, 総合科学技術研究機構, 教授 (00469199)
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| 研究分担者 |
肥後 矢吉 立命館大学, 総合科学技術研究機構, 教授 (30016802)
鈴木 健一郎 立命館大学, 理工学部, 教授 (70388122)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2014年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 共振器 / エネルギ損失 / Q値 / 静電気力 / 高周波 / ナノ結晶 / 金属 / シリコン / MEMS / メッキ / 狭ギャップ / ニッケルメッキ / 電気機械変換効率 / リング共振器 / エクステンショナルモード / ラメモード / フィードスルー電流 / 寄生容量 / ネットワークアナライザ |
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| 研究成果の概要 |
ニッケルMEMS共振器を利用してナノ結晶が及ぼす機械的エネルギ損失機構の評価を行うため、ニッケル共振器の試作を行った。しかし、試作したデバイスは、電極間の短絡によって十分に動作しなかった。一方、この研究と並行して、空間ギャップ形成を必要としないpnダイオード構造を利用した新規共振器の研究開発を進めた。試作した20 MHzリング型共振器を評価した結果、pnダイオードを利用したアクチュエータの面内駆動の原理実証に世界で初めて成功した。このpnダイオード共振器はシリコンのみからなっているため、ICと集積化することが容易である。現在、この共振器を用いてエネルギ損失の評価を進めている。
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