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三次元網目状ジルコニウム多孔体を用いた非蒸発ゲッターポンプの開発

研究課題

研究課題/領域番号 26390070
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構

研究代表者

菊地 貴司  大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 物質構造科学研究所, 技師 (30592927)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2016年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2015年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2014年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
キーワード真空 / 真空排気 / 非蒸発ゲッターポンプ / 排気速度測定
研究成果の概要

St707合金ピル60個をヒーター周りに放射状に配列したピル積層型NEGポンプを開発し、排気速度を測定した結果、H2、N2、CO、CO2に対して130-110、35-15、170-1120、200-80 L/sという値を得た。この性能は市販のNEGポンプと比較しても遜色ない。さらに、ステンレス表面に清浄なチタン(Ti)を真空蒸着し、さらに清浄なパラジウム(Pd)を真空蒸着すると、最高温度185℃、6時間の活性化により、Pd/Ti薄膜が真空排気作用を示すこと、大気導入と活性化を繰り返しても真空排気機能が保たれることを見出した。本Pd/Ti薄膜は新しいNEGポンプとして幅広い応用が期待される。

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 2件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 3件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Low-cost, high-performance nonevaporable getter pumps using nonevaporable getter pills2016

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Kodama, Shinya Ohno, Masatoshi Tanaka, Masato Tanaka, Koji K. Okudaira, Kazuhiko Mase, and Takashi Kikuchi
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. Technol.A

      巻: 34 号: 5

    • DOI

      10.1116/1.4961050

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Development of Low-Cost, High-Performance Non-Evaporable Getter (NEG) Pumps2016

    • 著者名/発表者名
      K. Mase, M. Tanaka, N. Ida, H. Kodama, and T. Kikuchi
    • 雑誌名

      AIP Conf. Proc.

      巻: 1741 ページ: 030015-030015

    • DOI

      10.1063/1.4952838

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 非蒸発ゲッタポンプ用合金膜のスパッタ製膜2016

    • 著者名/発表者名
      三嶋東、桑島理樹、中野武雄、大家渓、間瀬一彦、菊地貴司
    • 学会等名
      2016年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2016-11-29
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 新しい非蒸発ゲッター(NEG)コーティングの開発2016

    • 著者名/発表者名
      宮澤徹也、間瀬一彦、飛嶋健佑、菊地貴司
    • 学会等名
      2016年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2016-11-29
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Low-Cost, High-Performance Non-Evaporable Getter (NEG) Pumps Using NEG Pills2016

    • 著者名/発表者名
      K. Mase, T. Kikuchi, H. Kodama, S. Ohno, M. Tanaka, K. K. Okudaira, M. Tanaka
    • 学会等名
      the 9th edition of the Mechanical Engineering Design of Synchrotron Radiation Equipment and Instrumentation (MEDSI) conference
    • 発表場所
      Cosmocaixa, Barcelona(Spain)
    • 年月日
      2016-09-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of Low-Cost, High-Performance Non-Evaporable Getter (NEG) Pumps for Synchrotron Light Facilities2016

    • 著者名/発表者名
      H. Kodama, S. Ohno, M. Tanaka, M. Tanaka, K. K. Okudaira, K. Mase, T. Kikuchi
    • 学会等名
      80th IUVSTA Workshop on the Ultra Low Emittance Light Source Vacuum Systems
    • 発表場所
      NSRRC, Hsinchu, Taiwan
    • 年月日
      2016-08-27
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputter deposition of Zr-V-Fe (St707) alloy films for NEG applications2016

    • 著者名/発表者名
      Azuma Mishima, Naoyuki Hayasaka, Kei Oya, Takeo Nakano, Kazuhiko Mase, Takashi Kikuchi
    • 学会等名
      20th International Vacuum Congress (IVC-20)
    • 発表場所
      Busan Exhibition & Convention Center (BEXCO), Busan(Koria)
    • 年月日
      2016-08-24
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 非蒸発ゲッタポンプ用合金膜のスパッタ製膜2016

    • 著者名/発表者名
      三嶋東
    • 学会等名
      表面技術協会第133回講演大会
    • 発表場所
      早稲田大学 西早稲田キャンパス(東京都新宿区大久保3-4-1)
    • 年月日
      2016-03-22
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] 高性能ピル積層型NEGポンプの開発と排気速度測定2016

    • 著者名/発表者名
      菊地貴司
    • 学会等名
      第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      三井ガーデンホテル柏の葉(千葉県柏市 若柴178-4 柏の葉キャンパス148街区2)
    • 年月日
      2016-01-10
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] NEG ピルを用いた低コスト高性能NEG ポンプの開発2015

    • 著者名/発表者名
      菊地貴司
    • 学会等名
      2015年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県つくば市竹園2-20-3)
    • 年月日
      2015-12-03
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] ビームライン、エンドステーションのための低コスト高性能非蒸発ゲッター(NEG)ポンプの開発と排気速度測定2015

    • 著者名/発表者名
      菊地貴司
    • 学会等名
      第3回物構研サイエンスフェスタ
    • 発表場所
      つくば国際会議場(エポカルつくば)
    • 年月日
      2015-03-17
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 加速器,ビームライン,エンドステーションのための低コスト高性能非蒸発ゲッター(NEG)ポンプの開発と排気速度測定2015

    • 著者名/発表者名
      田中正人,伊田直也,小玉開,菊地貴司,間瀬一彦
    • 学会等名
      第28回日本放射光学会年会放射光科学合同シンポジウム
    • 発表場所
      立命館大学びわこ・くさつキャンパス
    • 年月日
      2015-01-12
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 'In situ removal of carbon contamination from optics, suppression of higher harmonics in the carbon K-edge region, and development of low-cost and high-performance non-evaporable getter (NEG) pumps2014

    • 著者名/発表者名
      Kazuhiko Mase, Akio Toyoshima, Takashi Kikuchi, Hirokazu Tanaka, and Kenta Amemiya
    • 学会等名
      Mechanical Engineering Design of Synchrotron Radiation Equipment and Instrumentation 2014, 20th - 24th October 2014
    • 発表場所
      Hilton on the Park(メルボルン、オーストラリア)
    • 年月日
      2014-10-21
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [産業財産権] 非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置2016

    • 発明者名
      間瀬一彦、菊地貴司
    • 権利者名
      間瀬一彦、菊地貴司
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-230510
    • 出願年月日
      2016-11-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] 非蒸発型ゲッターポンプ2015

    • 発明者名
      間瀬一彦、菊地貴司
    • 権利者名
      間瀬一彦、菊地貴司
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-233674
    • 出願年月日
      2015-11-30
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

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