| 研究課題/領域番号 |
26390070
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 |
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研究代表者 |
菊地 貴司 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 物質構造科学研究所, 技師 (30592927)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2016年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2015年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2014年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
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| キーワード | 真空 / 真空排気 / 非蒸発ゲッターポンプ / 排気速度測定 |
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| 研究成果の概要 |
St707合金ピル60個をヒーター周りに放射状に配列したピル積層型NEGポンプを開発し、排気速度を測定した結果、H2、N2、CO、CO2に対して130-110、35-15、170-1120、200-80 L/sという値を得た。この性能は市販のNEGポンプと比較しても遜色ない。さらに、ステンレス表面に清浄なチタン（Ti）を真空蒸着し、さらに清浄なパラジウム（Pd）を真空蒸着すると、最高温度185℃、6時間の活性化により、Pd/Ti薄膜が真空排気作用を示すこと、大気導入と活性化を繰り返しても真空排気機能が保たれることを見出した。本Pd/Ti薄膜は新しいNEGポンプとして幅広い応用が期待される。
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