研究課題/領域番号 |
26390102
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
応用物理学一般
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研究機関 | 名古屋工業大学 |
研究代表者 |
市川 洋 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10314072)
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研究分担者 |
市村 正也 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30203110)
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研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2016年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
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キーワード | ZnOナノロッド / ピエゾ効果 / フォースセンサー / X字状成長 / グラフェン / 直接成長 / 低温成長 / X字状成長 |
研究成果の概要 |
本研究の目的は、酸化亜鉛(ZnO)ナノロッドを、ロッドどうしが交差した”X字状“になるように成長させ、X字状ナノロッドを電極で挟み込んで、フォース印加に対してピエゾ抵抗の変化を持って高感度に応答するフォースセンサーの創成にある。そのためには、ZnOナノロッドX字状成長メカニズム解明とその条件最適化、ナノロッド両端を挟み込む電極の形成技術の確立にある。 本研究で得られた主要な成果は、1)室温での配向性ZnOナノロッドの水熱合成、2)X字状ナノロッドのフォースセンシングの高感度性の実証、3)ZnOナノロッドが直接成長するグラフェン作製の熱CVD条件を確認できたことにある。
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