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成長様式を制御したZnOナノロッドから創る高感度ピエゾセンサーに関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 26390102
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 応用物理学一般
研究機関名古屋工業大学

研究代表者

市川 洋  名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10314072)

研究分担者 市村 正也  名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (30203110)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2016年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワードZnOナノロッド / ピエゾ効果 / フォースセンサー / X字状成長 / グラフェン / 直接成長 / 低温成長 / X字状成長
研究成果の概要

本研究の目的は、酸化亜鉛(ZnO)ナノロッドを、ロッドどうしが交差した”X字状“になるように成長させ、X字状ナノロッドを電極で挟み込んで、フォース印加に対してピエゾ抵抗の変化を持って高感度に応答するフォースセンサーの創成にある。そのためには、ZnOナノロッドX字状成長メカニズム解明とその条件最適化、ナノロッド両端を挟み込む電極の形成技術の確立にある。
本研究で得られた主要な成果は、1)室温での配向性ZnOナノロッドの水熱合成、2)X字状ナノロッドのフォースセンシングの高感度性の実証、3)ZnOナノロッドが直接成長するグラフェン作製の熱CVD条件を確認できたことにある。

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて 2017 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 3件、 謝辞記載あり 3件) 学会発表 (21件) (うち国際学会 5件、 招待講演 1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Direct growth of densely aligned ZnO nanorods on graphene2016

    • 著者名/発表者名
      M. Honda, R. Okumura and Y. Ichikawa
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55 号: 8 ページ: 080301-080301

    • DOI

      10.7567/jjap.55.080301

    • NAID

      210000146912

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Size controlled ZnO nanoparticles synthesized by liquid phase deposition and polymer hybridization2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Tabata, T. Sakai, N. Hiroshiba and Y. Ichikawa
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: 39 ページ: 313-315

    • NAID

      130005004350

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] サファイア基板上に成長したZnOナノロッド成長機構の面方位依存性2014

    • 著者名/発表者名
      奥村竜二,廣芝伸哉,市川洋
    • 雑誌名

      真空

      巻: 57 ページ: 1-3

    • NAID

      130004512919

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [学会発表] ZnOシード層の形態によるZnOナノロッドの成長2017

    • 著者名/発表者名
      張栖岩, 本田光裕,市川洋
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] The effect of annealing graphene in O2 and N2 flow2017

    • 著者名/発表者名
      F. Tokuda, M. Honda and Y. Ichikawa
    • 学会等名
      International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2017
    • 発表場所
      マラ工科大学(マレーシア国セラゴール州シャーアラーム)
    • 年月日
      2017-02-25
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Room temperature growth of ZnO nanorods in aueous solution2017

    • 著者名/発表者名
      H. Tateyama, Q.-Y Zhang and Y. Ichikawa
    • 学会等名
      International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2017
    • 発表場所
      マラ工科大学(マレーシア国セラゴール州シャーアラーム)
    • 年月日
      2017-02-25
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of ZnO seed layers on ZnO Nanorod growth2016

    • 著者名/発表者名
      Q.-Y Zhang, M. Honda and Y. Ichikawa
    • 学会等名
      The 9th International symposium on photonics and optoelectronics (SOPO2016)
    • 発表場所
      ラマダ西安ベルタワー(中国西安)
    • 年月日
      2016-08-28
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ZnOナノロッドを用いた分散型無機ELの発光強度の向上2016

    • 著者名/発表者名
      張栖岩,市川洋,本田光裕,佐藤利文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] グラフェン上への配向性ZnOナノロッドの直接合成2016

    • 著者名/発表者名
      德田冬樹,本田光裕,奥村竜二,市川洋
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Powder electroluminescent device using graphene as a transparent electrode2015

    • 著者名/発表者名
      Q. -Y. Zhang, Y. Kondo, Y. Ichikawa and T. Satoh
    • 学会等名
      第25回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市波止場会館
    • 年月日
      2015-12-08
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Auger and Secondary Electron Emissions fron Single Layer of Graphene2015

    • 著者名/発表者名
      K. Goto, Y. Ichikawa and W. Kanematsu
    • 学会等名
      Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices '15
    • 発表場所
      島根県松江市くにびきメッセ
    • 年月日
      2015-10-25
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] グラフェン上へのZnOナノロッドの直接成長2015

    • 著者名/発表者名
      奥村竜二、高田直也、大久保貴雅、近藤祐太、市川洋
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      平塚市東海大学
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ZnO/grapheneナノ複合体の作製とその電気的特性2015

    • 著者名/発表者名
      奥村竜二、高田直也、大久保貴雅、近藤祐太、市川洋
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      平塚市東海大学
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Experiments for Fabrication of Various Structures using ZnO Nanorods2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Ichikawa
    • 学会等名
      International Conference on Nano-Electronic Technology Devices and Materials
    • 発表場所
      マレーシア国シャーアラーム市,マラ工科大学
    • 年月日
      2015-02-27 – 2015-03-02
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] グラフェン転写によるZnOナノロッド上への電極形成2014

    • 著者名/発表者名
      奥村竜二,市川洋 他
    • 学会等名
      第24回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ナノ構造ZnOへのグラフェン転写2014

    • 著者名/発表者名
      奥村竜二,大久保貴雅,カリタゴラップ,酒井智啓,矢野航,種村眞幸,市川洋
    • 学会等名
      第34回表面科学学術講演会
    • 発表場所
      島根県松江市
    • 年月日
      2014-11-06 – 2014-11-08
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] シード層の状態が水熱合成ZnOナノロッドの成長に及ぼす影響2014

    • 著者名/発表者名
      酒井智啓,近藤祐太,奥村竜二,矢野航,市川洋
    • 学会等名
      第34回表面科学学術講演会
    • 発表場所
      島根県松江市
    • 年月日
      2014-11-06 – 2014-11-08
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Graphene transfer onto functional materials2014

    • 著者名/発表者名
      R. Okumura, T. Okubo and Y. Ichikawa
    • 学会等名
      Asian Symposium on Printing Technology 2014
    • 発表場所
      フィリピン国マニラ市
    • 年月日
      2014-10-08
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Growth of aligned ZnO nanorods on soft material using physical and chemical processing2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Kondo, R. T. Sakai, Q.-Y.R. Yasuhara, N. Hiroshiba and Y. Ichikawa
    • 学会等名
      Asian Symposium on Printing Technology 2014
    • 発表場所
      フィリピン国マニラ市
    • 年月日
      2014-10-08
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Direct growth of ZnO nanorods on graphene sheet2014

    • 著者名/発表者名
      R. Okumura, T. Okubo and Y. Ichikawa
    • 学会等名
      Asian Symposium on Printing Technology 2014
    • 発表場所
      フィリピン国マニラ市
    • 年月日
      2014-10-08
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 酸化亜鉛ナノロッド上へのグラフェンの転写2014

    • 著者名/発表者名
      奥村竜二,大久保貴雅,ゴラップカリタ,種村眞幸,市川洋
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      札幌市北海道大学
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Synthesis of Size-Controlled ZnO Nanoparticles by Liquid Phase Deposition and Dispersion Method of Polymer Hybridization2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Tabata, T. Sakai, Y. Kondo, N. Hiroshiba, K. Iwao and Y. Ichikawa
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies-The 15th IUMRS International Conference in Asia 2014
    • 発表場所
      福岡市
    • 年月日
      2014-08-24 – 2014-08-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Exploration of Growth Direction Cntrollability of ZnO Nanorods2014

    • 著者名/発表者名
      R. Okumura, T. Sakai, Y. Kondo, N. Hiroshiba and Y. Ichikawa
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies-The 15th IUMRS International Conference in Asia 2014
    • 発表場所
      福岡市
    • 年月日
      2014-08-24 – 2014-08-30
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Orientation Dependence of Growth Direction of ZnO Nanorods Grown on Sapphire Substrate2014

    • 著者名/発表者名
      R. Okumura, W. Yano, N. Hiroshiba and Y. Ichikawa
    • 学会等名
      International Union of Materials Research Societies-International Conference on Electronic Materials 2014
    • 発表場所
      台湾国台北市
    • 年月日
      2014-06-10 – 2014-06-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [産業財産権] グラフェンシートとの一体化ZnOナノロッド、およびグラフェンシート上へのZnOナノロッドの製造方法2014

    • 発明者名
      市川洋、廣芝伸哉、奥村竜二
    • 権利者名
      市川洋、廣芝伸哉、奥村竜二
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-096012
    • 出願年月日
      2014-05-07
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

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