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加熱金属触媒体上でのジボラン等水素化物の分解過程

研究課題

研究課題/領域番号 26410010
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 物理化学
研究機関静岡大学

研究代表者

梅本 宏信  静岡大学, 工学部, 教授 (80167288)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワードジボラン / ホウ素原子 / 触媒分解 / 不純物ドーピング / ボラザン / 単体ホウ素 / 化学反応 / 化学気相堆積過程
研究成果の概要

本研究では、タングステン等の加熱金属触媒体上でのジボラン等の水素化合物の分解過程を実験と理論の両面から追及することを目的とした。以前の研究からシランやホスフィンは、原子にまでばらばらに分解されるのに対し、アンモニアではアミノラジカルと水素原子が主生成物であることが分かっている。今回は、ジボランの分解過程を通じ、水素化物の種類によって分解過程が大きく異なる原因が、化学結合の強さに由来することを示した。また、ジボラン以外のホウ素化合物についても実験を行い、特殊高圧ガスに依らない新たなるホウ素原子ドーピング法の開発に寄与した。

報告書

(5件)
  • 2017 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2016 実施状況報告書
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (27件)

すべて 2017 2016 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件、 謝辞記載あり 5件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (16件) (うち国際学会 4件、 招待講演 4件) 備考 (2件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Hot Metal Wires as Sinks and Sources of B Atoms2017

    • 著者名/発表者名
      H. Umemoto and A. Miyata
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 印刷中 ページ: 78-81

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2016.11.054

    • NAID

      120006534757

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書 2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Decomposition processes of photoresist polymers by H atoms produced on hot wire surfaces2017

    • 著者名/発表者名
      Umemoto Hironobu、Kato Teruto、Takiguchi Masayuki、Takagi Seiji、Horibe Hideo
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 635 ページ: 27-31

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2016.12.013

    • NAID

      120006534758

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Clean Source of B Atoms without Using Explosive Boron Compounds2016

    • 著者名/発表者名
      H. Umemoto and A. Miyata
    • 雑誌名

      Bull. Chem. Soc. Jpn.

      巻: 89 号: 8 ページ: 899-901

    • DOI

      10.1246/bcsj.20160074

    • NAID

      130005464967

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Decomposition Processes of Diborane and Borazane (Ammonia-borane Complex) on Hot Wire Surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      H. Umemoto and A. Miyata
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 595 ページ: 231-234

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2015.04.084

    • NAID

      120006228209

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Decomposition Processes of H3NBH3 (borazane), (BH)3(NH)3 (borazine), and B(CH3)3 (trimethylboron) on Heated W Wire Surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      H. Umemoto, A. Miyata, and T. Nojima
    • 雑誌名

      Chem. Phys. Lett.

      巻: 639 ページ: 7-10

    • DOI

      10.1016/j.cplett.2015.08.071

    • NAID

      120006342465

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Gas-phase Diagnoses in Catalytic Chemical Vapor Deposition (Hot-Wire CVD) Processes2015

    • 著者名/発表者名
      H. Umemoto
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 575 ページ: 3-8

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2014.10.014

    • NAID

      120005538023

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Dependence of the Catalytic Decomposition of PH3 on Wire Material2015

    • 著者名/発表者名
      H. Umemoto
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 575 ページ: 9-11

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2014.10.015

    • NAID

      120005538024

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Production of B Atoms and BH Radicals from B2H6/He/H2 Mixtures Activated on Heated W Wires2014

    • 著者名/発表者名
      H. Umemoto, T. Kanemitsu, and A. Tanaka,
    • 雑誌名

      J. Phys. Chem. A

      巻: 118 号: 28 ページ: 5156-5163

    • DOI

      10.1021/jp5046063

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] B-atom release from metal wires boronized by non-explosive boron compounds2017

    • 著者名/発表者名
      Hironobu Umemoto
    • 学会等名
      82nd Annual Meeting of the Society of Chemical Engineers, Japan
    • 発表場所
      Shibaura Institute of Technology, Toyosu, Koto, Tokyo
    • 年月日
      2017-03-07
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ラジカル発生とその反応2017

    • 著者名/発表者名
      梅本宏信
    • 学会等名
      第14回Cat-CVD研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加効果2017

    • 著者名/発表者名
      滝 智洋,山本 雅史,長岡 史郎、梅本 宏信、大平 圭介、西山 聖、堀邊 英夫
    • 学会等名
      第14回Cat-CVD研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性2017

    • 著者名/発表者名
      城井 智弘,山本 雅史,長岡 史郎,梅本 宏信,大平 圭介,西山 聖,堀邊 英夫
    • 学会等名
      第14回Cat-CVD研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Hot metal wires as sinks and sources of B atoms2016

    • 著者名/発表者名
      Hironobu Umemoto and Atsushi Miyata
    • 学会等名
      9th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference
    • 発表場所
      Philadelphia, USA
    • 年月日
      2016-09-06
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ボラザンによりホウ素化したタングステンワイヤからのホウ素原子放出2016

    • 著者名/発表者名
      梅本宏信、宮田篤
    • 学会等名
      第13回Cat-CVD研究会
    • 発表場所
      北見工業大学、北見市、北海道
    • 年月日
      2016-07-08
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] A clean source of B atoms without using explosive boron compounds2016

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Miyata and Hironobu Umemoto
    • 学会等名
      32nd Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics
    • 発表場所
      Omiya Sonic City, Saitama City, Saitama
    • 年月日
      2016-06-01
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 加熱タングステン触媒体上でのホウ素化合物からのB原子生成過程2015

    • 著者名/発表者名
      梅本宏信、宮田篤、野島拓翔
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場、名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] 加熱タングステンワイヤ表面でのホウ素化合物分解過程2015

    • 著者名/発表者名
      梅本宏信、宮田篤、野島拓翔
    • 学会等名
      第12回Cat-CVD研究会
    • 発表場所
      名古屋大学、名古屋
    • 年月日
      2015-07-03
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Catalytic decomposition processes of borazane and borazine on heated W wire surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Miyata and Hironobu Umemoto
    • 学会等名
      31st Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics
    • 発表場所
      Hokkaido Univ., Sapporo
    • 年月日
      2015-06-03
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] アンモニアの加熱金属触媒による分解過程と後続気相反応過程2015

    • 著者名/発表者名
      梅本宏信
    • 学会等名
      化学工学会反応工学部会 CVD反応分科会主催第23回シンポジウム
    • 発表場所
      早稲田大学、東京
    • 年月日
      2015-05-22
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Decomposition processes of diborane and borazane (ammonia-borane complex) on hot W wire surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      H. Umemoto, T. Kanemitsu, and A. Miyata
    • 学会等名
      8th Hot-Wire Chemical Vapor Deposition Conference
    • 発表場所
      Braunschweig, Germany
    • 年月日
      2014-10-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 加熱タングステンワイヤ上でのジボランからのB原子およびBHラジカルの発生機構2014

    • 著者名/発表者名
      梅本宏信、金光泰二郎
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学、札幌、北海道
    • 年月日
      2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 加熱タングステンワイヤで活性化されたジボラン/水素混合物からのB原子およびBHラジカルの生成過程2014

    • 著者名/発表者名
      梅本宏信、金光泰二郎、田中晃人
    • 学会等名
      第11回Cat-CVD研究会
    • 発表場所
      東北大学、仙台、宮城
    • 年月日
      2014-07-11
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] アンモニア-ボラン錯体の加熱タングステンワイヤ上での触媒分解2014

    • 著者名/発表者名
      梅本宏信、宮田篤
    • 学会等名
      第11回Cat-CVD研究会
    • 発表場所
      東北大学、仙台、宮城
    • 年月日
      2014-07-11
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Production of B atoms from B2H6/He/H2 mixtures activated on heated W wires2014

    • 著者名/発表者名
      Taijiro Kanemitsu, Akihito Tanaka, and Hironobu Umemoto
    • 学会等名
      30th Symposium on Chemical Kinetics and Dynamics
    • 発表場所
      Egret Himeji, Himeji, Hyogo, Japan
    • 年月日
      2014-06-05
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [備考] 静岡大学工学部梅本研究室ホームページ

    • URL

      http://www.ipc.shizuoka.ac.jp/~thumemo/

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書 2015 実施状況報告書
  • [備考] 平成24年度科学研究費助成事業実施報告

    • URL

      http://www.ipc.shizuoka.ac.jp/~thumemo/kaken14.pdf

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [産業財産権] ホウ素を含む化学的活性種の発生方法、及び表面処理方法2015

    • 発明者名
      梅本宏信
    • 権利者名
      梅本宏信
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2015-208012
    • 出願年月日
      2015-10-22
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2014-04-04   更新日: 2019-03-29  

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