研究課題
基盤研究(C)
φ10μmのタングステン線の周囲に亜鉛をφ100μm以上になるまでめっきした工具電極を作製し、このような同軸円筒状の工具を、ピーリング工具と名付けている。作製した工具の表面粗さは2μm以下であり、ワイヤと工具外径の中心位置のずれは約2μmと精度よい。この工具を用いて、50μm厚の銅板に放電穴あけを試みると、工具外径に対応する浅い凹みと、その中心にワイヤ径に対応する貫通穴があいた。被覆部除去と微細穴の同時加工が実現しており、1穴加工後はワイヤを数十μm露出できた。引き続き同じ工具で複数の連続穴加工も可能であった。同一機上で微細軸形成から加工までの一連の作業が実現できることが実証された。
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