• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

ナノマイクロ加工へ用いる時空間歪が補償された超短パルスビーム列の発生

研究課題

研究課題/領域番号 26420059
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東洋大学

研究代表者

尼子 淳  東洋大学, 理工学部, 教授 (20644628)

研究分担者 中野 秀俊  東洋大学, 理工学部, 教授 (90393793)
研究協力者 村上 拓  
上田 義人  
佐藤 慎  
竹田 州  
菅野 貴行  
小林 誠也  
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2016年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2015年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
2014年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
キーワード超短パルス / ビーム列 / 回折光学 / 光学設計 / 光線行列解析 / ビームアレイ / 色収差補正 / 分散補償 / 回折光学素子 / 自己相関計 / 非線形光学結晶 / 自己相関器 / 第二高調波 / フリンジ分解
研究成果の概要

時空間における波形歪のない超短パルスビーム列を生成するカスケード光学系を開発した。回折系の後に屈折系がカスケードに接続され、両者の間に位相差板が配置されている。パルスビームを回折光学素子で分岐すると、波形歪の主要因である色収差が生じる。この色収差を回折系と屈折系で補正し、角度分散を位相差板で補償する。系全体に残る材料由来の位相遅延分散は入力パルスへチャープを与えて補償する。光線行列解析により導出した色収差補正の条件を用いてカスケード光学系を設計した。20fsのパルスビームを用いた波形の評価から、提案したパルスビーム列生成法の有効性を検証した。この研究成果は超短パルス微細加工へ応用できる。

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて 2017 2016 2015 2014

すべて 学会発表 (5件) 産業財産権 (1件)

  • [学会発表] 20fsパルスビームアレイ生成のためのカスケード光学系の提案2017

    • 著者名/発表者名
      尼子 淳、中野 秀俊
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-15
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] カスケード光学系による20fsレーザーパルス集光特性2017

    • 著者名/発表者名
      中野 秀俊、村上 拓、植田 義人、尼子 淳
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-15
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 回折光学素子対によるフェムト秒レーザーパルスビーム配列生成ならびに集光特性の評価2016

    • 著者名/発表者名
      中野 秀俊 ,尼子 淳
    • 学会等名
      電気学会 光・量子デバイス研究会
    • 発表場所
      産業技術総合研究所(つくば市)
    • 年月日
      2016-09-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 回折光学素子対により集光されたフェムト秒レーザーパルス幅の評価2016

    • 著者名/発表者名
      中野 秀俊、佐藤 慎、竹田 州、尼子 淳
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(大岡山キャンパス)
    • 年月日
      2016-03-21
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] 回折レンズによるフェムト秒レーザーパルスのパルス幅伸張の評価2015

    • 著者名/発表者名
      中野 秀俊、菅野 貴行、小林 誠也、尼子 淳
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-14
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [産業財産権] レーザー加工方法及びレーザー加工装置2014

    • 発明者名
      尼子 淳、中野秀俊
    • 権利者名
      学校法人東洋大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2014-12-09
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi