研究課題/領域番号 |
26420065
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
生産工学・加工学
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研究機関 | 関西大学 |
研究代表者 |
山口 智実 関西大学, システム理工学部, 教授 (10268310)
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研究分担者 |
古城 直道 関西大学, システム理工学部, 准教授 (80511716)
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研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2016年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2015年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2014年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
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キーワード | 超平滑化加工 / 超仕上げ / ダイヤモンド超砥粒砥石 / サファイア / 光学ガラス / メカノケミカル / 複合砥粒砥石 / シリコン / 超平滑加工 / 超砥粒砥石 / ダイヤモンド砥粒 |
研究成果の概要 |
ガラスやサファイアなど硬脆基板材料の超平滑加工に対して,新たに開発したメカノケミカル(MC)砥粒用ビトリファイド結合剤を用いて,硬質砥粒砥石並みの結合力をもつMC砥粒砥石,およびMC砥粒に硬質超微細砥粒を複合した複合砥粒砥石(MC複合砥粒砥石)による超仕上げを適用した.その結果,ガラスに対しては,従来の研磨加工に比べ1/5に加工時間を短縮できた.また,超硬であるサファイアに対しては,ダイヤモンド砥石による多段工程から成る超上げにより,従来ラッピングの1/4程度の加工時間で2.0 nmRaの超平滑面が得られた.
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