| 研究課題/領域番号 |
26420093
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 宇部工業高等専門学校 |
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研究代表者 |
後藤 実 宇部工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (00435455)
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| 連携研究者 |
梅原 徳次 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70203586)
野老山 貴行 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (20432247)
加納 眞 神奈川県産業技術センター, 機械・材料技術部, 副部長 (50443403)
三木 寛之 東北大学大, 学術フロンティア研究所, 准教授 (80325943)
竹野 貴法 東北大学大, 大学院工学研究科, 助教 (00451617)
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| 研究協力者 |
FONTAINE Julien Ecole Centrale de Lyon, Laboratoire de Tribologie et Dynamique des Systèmes
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2014年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| キーワード | トライボロジー / 薄膜 / ナノコンポジット / 銀 / 銅 / 複合ターゲット / スパッタ / 国際情報交換 |
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| 研究成果の概要 |
銀/ダイヤモンドライクカーボンナノコンポジット膜（Ag-DLC）と銅/ダイヤモンドライクカーボンナノコンポジット膜（Cu-DLC）について炭素ターゲットと銀または銅タブレットで構成される同心円複合ターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタ法で膜中金属濃度を10at.%以下から50at.%以上の広範囲に変化させる手法を開発し、成膜方法の異なるAg-DLCおよびCu-DLCの物性とトライボロジー特性について比較を行った。その結果、膜の構造と硬さは両成膜法で有意差は無く、摩擦・摩耗特性は膜中金属含有量で変化するしゅう動相手材摩擦面に生成するトライボフィルムの組成に依存して変化することを明らかにした。
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