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高品位結晶育成のための融液流動制御と流れの直接測定

研究課題

研究課題/領域番号 26420151
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 熱工学
研究機関大分大学

研究代表者

岩本 光生  大分大学, 工学部, 准教授 (80232718)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2016年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2015年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード対流伝熱 / チョクラルスキー法 / 液体金属 / 回転磁場 / 電流-磁場印加 / 超音波ドップラー法 / 数値シミュレーション / 対流 / 回転磁場印加 / 導電性流体 / 数値解析 / 垂直磁場-電流印加 / 流れの測定 / 超音波パドップラー法
研究成果の概要

チョクラルスキー法で作成する半導体用シリコン単結晶の高品位化を目的とし、ルツボ内の導電性融液の流れを精密に制御するため、回転磁場印加や、垂直磁場印加下で融液に電流をながす電流-磁場印加による流れの制御効果について、モデル実験と数値解析により検討を行った。この結果従来の静磁場印加に対し、回転磁場による磁束密度や磁場回転数の変化は、電流-磁場印加での場磁束密度や印加電流の変化は、数mT~数十mTの弱い磁束密度でも、結晶回転方向の流れを逆転できる強い流れの制御効果があり、またこれによる周方向流れにより、軸方向流れの制御も可能なことがわかった。

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2016 2015 2014

すべて 学会発表 (14件) (うち国際学会 4件)

  • [学会発表] Numerical study of Czochralski melt flow in the electric conductive crucible under the rotational magnetic field.2016

    • 著者名/発表者名
      林田真治, 尾﨑大地, 岩本 光生, 齋藤 晋一, 赤松 正人, 尾添 紘之
    • 学会等名
      The 29th International Symposium on Chemical Engineering,PG-05
    • 発表場所
      宮崎市 シーガイアコンベンションセンター
    • 年月日
      2016-12-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] UVP measurement of the Czochralski melt flow in the electric conductive crucible under the rotational magnetic field.2016

    • 著者名/発表者名
      尾﨑大地, 林田真治,岩本 光生, 齋藤 晋一, 赤松 正人, 尾添 紘之
    • 学会等名
      The 29th International Symposium on Chemical Engineering,PG-01
    • 発表場所
      宮崎市 シーガイアコンベンションセンター
    • 年月日
      2016-12-02
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 導電性ルツボにおけるRMCZ 法融液対流のUVP 法による測定2016

    • 著者名/発表者名
      尾崎大地, 林田真治, 岩本光生, 齋藤晋一
    • 学会等名
      化学工学会九州支部 第27 回九州地区若手ケミカルエンジニア討論会
    • 発表場所
      福岡市 休暇村志賀島
    • 年月日
      2016-07-22
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 導電性ルツボにおけるRMCZ法融液対流の数値解析的研究2016

    • 著者名/発表者名
      林田真治, 尾崎大地, 岩本光生, 齋藤晋一
    • 学会等名
      化学工学会九州支部 第27 回九州地区若手ケミカルエンジニア討論会
    • 発表場所
      福岡市 休暇村志賀島
    • 年月日
      2016-07-22
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] UVP measurement of the non-axisymmetric Czochralski melt flow under the electromagnetic field2015

    • 著者名/発表者名
      朝比奈愛美, 本田美由紀, 利根凌太郎 , 岩本 光生, 齋藤 晋一, 赤松 正人, 尾添 紘之
    • 学会等名
      The 28th International Symposium on Chemical Engineering, OE-01
    • 発表場所
      RAMADA PLAZA JEJU HOTEL, Jeju, Korea(韓国済州島ラマダプラザホテル)
    • 年月日
      2015-12-04
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical study of Czochralski melt flow under the rotational magnetic field and the electromagnetic field2015

    • 著者名/発表者名
      本田 美由紀, 朝比奈 愛美, 岩本 光生, 齋藤 晋一, 赤松 正人, 尾添 紘之
    • 学会等名
      The 28th International Symposium on Chemical Engineering, OE-17
    • 発表場所
      RAMADA PLAZA JEJU HOTEL, Jeju, Korea(韓国済州島ラマダプラザホテル)
    • 年月日
      2015-12-04
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MCZ法流動におよばす電流・磁場の影響の測定2015

    • 著者名/発表者名
      朝比奈愛美、利根凌太郎、岩本光生、齋藤晋一
    • 学会等名
      化学工学会九州支部 第 26 回九州地区若手ケミカエルンジニア討論会,No.27 pp.42
    • 発表場所
      佐賀県伊万里市 伊万里グランドホテル
    • 年月日
      2015-07-17
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] RMCZ法における流れと温度分布の数値解析的研究2015

    • 著者名/発表者名
      本田美由紀,朝比奈愛美,岩本光生,齋藤晋一
    • 学会等名
      化学工学会九州支部 第 26 回九州地区若手ケミカエルンジニア討論会,No.28 pp.43
    • 発表場所
      佐賀県伊万里市 伊万里グランドホテル
    • 年月日
      2015-07-17
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Study on UVP measurement of transient CZ melt flow under the rotational magnetic field2014

    • 著者名/発表者名
      朝比奈愛美, 本田美由紀, 岩本光生,齋藤晋一,赤松正人,尾添紘之
    • 学会等名
      The 27th International Symposium on Chemical Engineering
    • 発表場所
      マレーシア クアラルンプール,ペトラワールドトレードセンター
    • 年月日
      2014-12-05 – 2014-12-07
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] The effect of Lorentz force in the CZ melt flow under the rotational magnetic field2014

    • 著者名/発表者名
      本田美由紀, 朝比奈愛美, 岩本光生,齋藤晋一,赤松正人,尾添紘之
    • 学会等名
      The 27th International Symposium on Chemical Engineering
    • 発表場所
      マレーシア クアラルンプール,ペトラワールドトレードセンター
    • 年月日
      2014-12-05 – 2014-12-07
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Lorentz force distribution in the Czochralski melt flow under the Electromagnetic field2014

    • 著者名/発表者名
      吉兼憲一,岩本光生,齋藤晋一,赤松正人,尾添紘之
    • 学会等名
      The 27th International Symposium on Chemical Engineering
    • 発表場所
      マレーシア クアラルンプール,ペトラワールドトレードセンター
    • 年月日
      2014-12-05 – 2014-12-07
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] UVP法による回転磁場下におけるCZ法融液流動の過渡変化の測定2014

    • 著者名/発表者名
      朝比奈 愛美, 本田 美由紀, 齋藤 晋一, 岩本 光生
    • 学会等名
      日本機械学会九州支部 大分講演会
    • 発表場所
      大分市,ホルトホール大分
    • 年月日
      2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 回転磁場印加CZ 法における磁束密度や磁場回転数が融液流内流れ構造の過渡変化に及ぼす影響の実験的検討2014

    • 著者名/発表者名
      朝比奈愛美, 本田美由紀, 齋藤晋一, 岩本光生
    • 学会等名
      化学工学会九州支部 第25回九州地区若手ケミカルエンジニア討論会
    • 発表場所
      宮崎市,ANAホリデーインリゾート宮崎
    • 年月日
      2014-07-25 – 2014-07-26
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] UVP法による回転磁場印加チョクラルスキー法融液内速度分布の測定2014

    • 著者名/発表者名
      朝比奈愛美,佐藤大樹, 齋藤晋一,岩本光生
    • 学会等名
      可視化情報学会 第42回可視化情報シンポジウム
    • 発表場所
      東京都,工学院大学新宿キャンパス
    • 年月日
      2014-07-21 – 2014-07-22
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

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