| 研究課題/領域番号 |
26420204
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
神田 健介 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 (20446735)
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| 研究分担者 |
前中 一介 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 (70173721)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2015年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | MEMS / 圧電薄膜 / 多層成膜 / マイクロ・ナノシステム / マイクロマシン / アクチュエータ / センサ / 多層積層 / チタン酸ジルコン酸鉛 / 薄膜 |
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| 研究成果の概要 |
PZT（チタン酸ジルコン酸鉛）薄膜と電極薄膜をシリコン基板上において交互に超多層積層させ、MEMS（微小電気機械システム）プロセス技術と組み合わせることによって、ハイスループット・高機能なアクチュエータを創出することを目的とした。成膜最適条件を見出し、良好な特性の4層以上の積層構造が得られることが確認できた。一方、応用デバイスについても検討を行い、例として積層PZT薄膜による超音波トランスデューサが、低電圧で強い超音波を送信可能であることを確認した。さらに、人に触覚刺激を与える触覚デバイスが圧電MEMSで実現可能であることを示した。
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