| 研究課題/領域番号 |
26420247
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
電力工学・電力変換・電気機器
|
|---|
| 研究機関 | 千葉工業大学 |
|---|
研究代表者 |
小田 昭紀 千葉工業大学, 工学部, 教授 (70335090)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
|
| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
|
|---|
| キーワード | ダイヤモンドライクカーボン膜 / プラズマ支援ＣＶＤ / 大気圧プラズマ / プラズマ診断 / プラズマシミュレーション / 炭化水素プラズマ / ハイドロカーボンプラズマ / 非平衡大気圧プラズマ / 炭化水素ガス / プラズマＣＶＤ |
|---|
| 研究成果の概要 |
ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）膜は，高高度，低摩擦，耐摩耗などの優れた機械的特性を有しているため，自動車業界を中心とした産業界において超高速成膜が強く望まれ，精力的に研究開発がなされている．本応募課題では，そのための方策の１つとして大気圧炭化水素プラズマ支援ＣＶＤ法に着目し，プラズマシミュレーションおよび計測の両面から研究を実施した．その結果，プラズマ計測からは，ＤＬＣ成膜に寄与する基板へ入射する炭化水素イオン種やラジカル種の同定ならびに入射量の比が明らかになり，プラズマシミュレーションからは大気圧プラズマ制御のためには電離増倍の適切な抑制が必要であることが明らかとなった．
|
