| 研究課題/領域番号 |
26420292
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
電子・電気材料工学
|
|---|
| 研究機関 | 公益財団法人高輝度光科学研究センター |
|---|
研究代表者 |
今井 康彦 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 副主幹研究員 (30416375)
|
|---|
| 研究協力者 |
隅谷 和嗣
木村 滋
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
|
| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2015年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2014年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
|
|---|
| キーワード | マイクロ回折 / マイクロＸ線回折 / ナノビーム回折 / ナノビームＸ線回折 / 逆格子マップ / Ｘ線 / 放射光 / アラインメント |
|---|
| 研究成果の概要 |
放射光Ｘ線を100 nm程度に集光して用いる構造評価法では、試料上の各点でＸ線回折を測定し、それを実空間でマッピングすることが求められている。測定の空間分解能を上げるには、試料を回転しても試料上でＸ線の照射位置がずれないようにしなければならない。そのためには、試料の表面を回転ステージの回転中心に精度良く合わせる必要がある。
本研究では、試料表面の形状を問わずに、試料上の任意の位置を回転ステージの回転中心に自動で精度良く合わせる技術を開発し、ナノビームＸ線回折を広い実空間スケールでマッピングすることを実現した。
|
