生産性と光学特性に秀でたチューナブル波長選択フィルタチップの継続開発

• 研究課題/領域番号: 26420298
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 宇都宮大学
• 研究代表者: 依田 秀彦 宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (30312862)
• 研究期間 (年度): 2014-04-01 – 2017-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2016年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2016年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
• キーワード: 光波長フィルタ / 光デバイス / 透明ヒータ膜

研究成果の概要

次世代光アクセス網の高速大容量技術方式WDM-PONにおけるキーデバイス，チューナブル波長選択フィルタの開発を行った．光学薄膜を利用した２種類のフィルタ（温度制御型TO-BPF、電圧制御型EO-BPF）の作製技術とデバイス性能向上を進め，成果は以下の9項目：①a-Si:D/SiNx TO-BPFによる耐熱性改善　②TO-BPF成膜後熱処理による波長シフト　③TO-BPFチップのファイバ実装化　④BPF成膜時の光学モニタ法改良　⑤中心波長温度係数の高精度測定　⑥EO-BPF用構成要素の検討　⑦1キャビティ型EO-BPFの試作　⑧PLZT薄膜の強誘電性評価　⑨ITiO近赤外透明導電膜の特性評価

研究成果

• [雑誌論文] Silver-film subwavelength gratings for polarizers in the terahertz and mid-infrared regions (2016)
  • 著者名/発表者名: Kazuo Shiraishi, Shogo Higuchi, Kengo Muraki, and Hidehiko Yoda
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 24 号: 18 ページ: 20177-20186
  • DOI: 10.1364/oe.24.020177
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [学会発表] TLZ法による高純度SiGe結晶育成 (2017)
  • 著者名/発表者名: 木下恭一, 荒井康智, 前田辰郎, 佐藤靖則, 依田秀彦
  • 学会等名: 応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: パシフィコ横浜
  • 年月日: 2017-03-14
• [学会発表] 光ファイバ集積型TOチューナブル波長フィルタの作製 (2017)
  • 著者名/発表者名: 北川大河, 田村拓磨, 依田秀彦
  • 学会等名: 第7回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 栃木県足利市 足利工業大学
  • 年月日: 2017-03-03
• [学会発表] 近赤外波長フィルタ用ITiO透明電極膜の特性改善 (2017)
  • 著者名/発表者名: 小池俊輔, 清水淳, 依田秀彦
  • 学会等名: 第7回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 栃木県足利市 足利工業大学
  • 年月日: 2017-03-03
• [学会発表] TOチューナブルフィルタの光学特性の温度依存性測定 (2017)
  • 著者名/発表者名: 戸賀沢舟, 田村拓磨, 依田秀彦
  • 学会等名: 第7回電気学会東京支部栃木・群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 栃木県足利市 足利工業大学
  • 年月日: 2017-03-03
• [学会発表] PLZTチューナブル波長フィルタの作製とNIR光学特性評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 山本浩輔, 清水淳, 依田秀彦
  • 学会等名: 第6回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 前橋工科大学
  • 年月日: 2016-03-02
• [学会発表] 近赤外波長フィルタ用ITiO透明電極膜の特性評価, (2016)
  • 著者名/発表者名: 清水淳, 山本浩輔, 依田秀彦
  • 学会等名: 第6回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 前橋工科大学
  • 年月日: 2016-03-01
• [学会発表] マルチキャビティ型Si/SiOx多層膜フィルタの作製と光学特性評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 田村拓磨, 依田秀彦
  • 学会等名: 第6回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 前橋工科大学
  • 年月日: 2016-03-01
• [学会発表] a-Si:D/SiNx多層膜フィルタの耐熱性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 依田秀彦, 田村拓磨
  • 学会等名: 応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場
  • 年月日: 2015-09-16
• [学会発表] 近赤外波長フィルタ用ITiO透明ヒータ膜の特性評価 (2015)
  • 著者名/発表者名: 依田秀彦, 白石和男
  • 学会等名: 応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] Si/SiNチューナブル波長フィルタの作製と評価に関する研究 (2015)
  • 著者名/発表者名: 田島正彦, 依田秀彦
  • 学会等名: 第5回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 宇都宮大学工学部
  • 年月日: 2015-03-02 – 2015-03-03
• [学会発表] EOチューナブル波長フィルタ用PLZT薄膜の電気及光学特性評価に関する研究 (2015)
  • 著者名/発表者名: 飯富真, 依田秀彦
  • 学会等名: 第5回電気学会東京支部栃木･群馬支所合同研究発表会
  • 発表場所: 宇都宮大学工学部
  • 年月日: 2015-03-02 – 2015-03-03
• [学会発表] Robust lensed fibers having high focusing effects in resin bond (2014)
  • 著者名/発表者名: K. Shiraishi, M. Horiuchi, H. Yoda, and C. S. Tsai
  • 学会等名: International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2014)
  • 発表場所: Toyama, Japan
  • 年月日: 2014-04-23 – 2014-04-25
• [学会発表] A spot-size converter with vertical down taper for the coupling between single-mode fiber and silicon-wire waveguide (2014)
  • 著者名/発表者名: K. Shiraishi, R. Takasaki, H. Yoda, H. Oshikiri, and C. S. Tsai
  • 学会等名: International Conference on Electronics Packaging (ICEP 2014)
  • 発表場所: Toyama, Japan
  • 年月日: 2014-04-23 – 2014-04-25