| 研究課題/領域番号 |
26420314
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 岡山県立大学 |
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研究代表者 |
岸原 充佳 岡山県立大学, 情報工学部, 准教授 (50336905)
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| 連携研究者 |
内海 裕一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (80326298)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2014年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | ミリ波 / 導波管 / 放射光 / 放射光エッチング / 微細加工 / スパッタ蒸着 / 集積回路 / バトラーマトリクス / 方向性結合器 / マイクロ波・ミリ波・テラヘルツ波 / X線リソグラフィ |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、放射光エッチング製作プロセスに基づき、サブミリ波領域(300 GHz～)へ直接応用できるテフロン導波管集積回路技術の確立を目的に、機能回路への発展と集積化(複数回路の一体化)を試みた。
2つのE面方形空胴方向性結合器が接続された構造、E面電力分配器とホーンアンテナ2個の一体構造、十字型カプラと横断回路を組み合わせた4×4バトラーマトリクスを周波数180 GHzで試作・評価した。測定によりこれら回路特性を確認することができ、短ミリ波帯E面およびH面導波管機能回路の集積化が可能であることを明らかにした。
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