| 研究課題/領域番号 |
26420329
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 大島商船高等専門学校 |
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研究代表者 |
高橋 主人 大島商船高等専門学校, その他部局等, 客員教授 (80517095)
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| 研究分担者 |
中村 翼 大島商船高等専門学校, その他部局等, 准教授 (10390501)
古瀬 宗雄 大島商船高等専門学校, その他部局等, 教授 (50633228)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2014年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 微粒子除去 / 異物低減 / ドライ洗浄 / ファン・デル・ワールス力 / 高分子フィルム / 微粒子分散 / 微粒子付着 / 異物除去 / van der Waals力 / 静電気力 / 大気圧利用 / 付着力 / 表面洗浄 |
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| 研究成果の概要 |
これまでに2μm以上の微粒子を静電気力を利用してフィルムに付着させて除去してきた。微粒子の除去過程を分析した結果，フィルムを微粒子に接触させることが本質的に重要であり，フィルムを試料に押し付ける手段は静電気力によらないことを明らかにした。さらに，0.3～1.5μmの微粒子を除去するため，フィルム押圧手段として，大気圧及び加圧空気を利用する装置を試作した。ポリエチレン（PE）とポリウレタンゴム（PU）で除去試験を実施した結果，PEではフィルムの押付力2.5気圧以上，PUでは0.5気圧で微粒子除去率80％を得ることができた。また，PUにより0.1μm以下の微粒子も除去することができた。
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